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佘玄

作品数：84 被引量：8H指数：2
供职机构：浙江大学更多>>
发文基金：浙江省自然科学基金国家自然科学基金中央高校基本科研业务费专项资金更多>>
相关领域：电子电信理学交通运输工程机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 75篇专利
  • 8篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 33篇电子电信
  • 2篇交通运输工程
  • 2篇理学
  • 1篇机械工程
  • 1篇自动化与计算...
  • 1篇航空宇航科学...
  • 1篇文化科学

主题

  • 42篇光纤
  • 28篇陀螺
  • 21篇光子
  • 20篇波导
  • 19篇光纤陀螺
  • 19篇光子晶体
  • 16篇模斑转换器
  • 16篇加速度
  • 15篇晶体光纤
  • 13篇单片
  • 13篇单片集成
  • 13篇偏振
  • 13篇空芯光子晶体...
  • 13篇光子晶体光纤
  • 12篇加速度计
  • 12篇光学
  • 11篇铌酸锂
  • 10篇弹簧振子
  • 10篇振子
  • 10篇谐振腔

机构

  • 84篇浙江大学
  • 1篇浙江科技学院
  • 1篇浙江大学医学...
  • 1篇之江实验室

作者

  • 84篇佘玄
  • 76篇舒晓武
  • 57篇陈侃
  • 32篇毕然
  • 24篇刘承
  • 14篇黄腾超
  • 9篇车双良
  • 9篇张登伟
  • 9篇王冬云
  • 8篇杨哲
  • 7篇王磊
  • 6篇王晨歌
  • 6篇李珂
  • 6篇李贝
  • 5篇胡慧珠
  • 5篇周一览
  • 4篇张彩妮
  • 4篇黄飞
  • 4篇杨建华
  • 3篇缪立军

传媒

  • 4篇中国惯性技术...
  • 1篇光学学报
  • 1篇光子学报
  • 1篇实验室研究与...
  • 1篇传感器与微系...

年份

  • 3篇2024
  • 6篇2023
  • 19篇2022
  • 14篇2021
  • 11篇2020
  • 8篇2019
  • 3篇2018
  • 5篇2017
  • 1篇2016
  • 3篇2015
  • 1篇2013
  • 2篇2012
  • 3篇2011
  • 2篇2010
  • 3篇2009
共 84 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种单片集成光学加速度计
本发明公开了一种单片集成光学加速度计。本发明包括宽谱光源、加速度敏感单元、光电探测器、基底、制冷片、封装外壳，加速度敏感单元集成了模斑转换器、1:2型Y波导、2:1型Y波导调制器、金属电极；宽谱光源的光经过模斑转换器耦合...
佘玄姚俊杰杨哲王晨歌陈侃舒晓武
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一种铌酸锂和SU-8混合集成空芯光子晶体光纤陀螺
本发明公开了一种铌酸锂和SU‑8混合集成空芯光子晶体光纤陀螺。本发明包括第一芯片和第二芯片，第一芯片的一侧和第二芯片一侧拼接形成光纤陀螺；第一芯片包括从下到上依次层叠布置的硅衬底、二氧化硅缓冲层和铌酸锂单晶薄膜，所述铌酸...
佘玄范文张彩妮陈侃毕然舒晓武
文献传递
基于迈克尔逊干涉的混合集成光学加速度计
本发明公开了一种基于迈克尔逊干涉的混合集成光学加速度计。本发明的窄线宽光源的光经过模斑转换器后耦合进入输入波导，沿着第一横向条形槽在2:1型Y波导上实现分光，第一光束先沿着第二横向条形槽通过第三球透镜、第一F‑P腔输入镜...
佘玄孙培基姚俊杰陈侃毕然黄腾超舒晓武
文献传递
一种基于狭缝波导和光子晶体光纤的全空气芯谐振陀螺
本发明公开了一种基于狭缝波导和光子晶体光纤的全空气芯谐振陀螺，包括光源、第一分束器、第二分束器、第三分束器、第一信号探测器、第二信号探测器、狭缝波导分束器、空芯光子晶体光纤环；狭缝波导分束器，包括硅衬底、二氧化硅缓冲层、...
佘玄杨哲王晨歌陈侃刘承舒晓武
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基于腔长可调F-P腔的差分检测型光学加速度计
本发明公开了一种基于腔长可调F‑P腔的差分检测型光学加速度计。本发明的宽谱光源的光经过模斑转换器耦合进入光波导，并通过1:2型Y波导实现50:50分光。Y波导的上下两路分支等长且均由电极调制区，布拉格光栅区和MMI波导反...
佘玄孙培基张奕群毕然陈侃舒晓武
基于推挽式光子晶体拉链腔的单片集成三轴光学加速度计
本发明公开了一种基于推挽式光子晶体拉链腔的单片集成三轴光学加速度计，本发明在铌酸锂单晶薄膜上集成入射单元，用于产生入射光；相位调制反馈单元，用于对入射光波进行调制得到调制光波并进行调频反馈；X轴加速度敏感单元，用于探测X...
佘玄刘红硕毕然陈侃舒晓武
一种基于自由曲面透镜耦合的空芯光子晶体光纤谐振陀螺
本发明公开了一种基于自由曲面透镜耦合的空芯光子晶体光纤谐振陀螺。本发明中窄线宽激光光源出射的光经第一保偏光纤后再经相位调制器调制后到达Y波导，Y波导将光分为两束等光强的光，两束光分别经过两个环形器后从对应的第二保偏光纤出...
佘玄范文申何良陈侃毕然舒晓武
文献传递
一种与光纤陀螺兼容的反射式光纤加速度计
本发明公开了一种与光纤陀螺兼容的反射式光纤加速度计。该系统主要由宽谱光源、Y波导调制器、五个2×2光纤耦合器、四个光纤隔离器、柔性盘、光纤环、探测器、第一干涉臂、第二干涉臂、两个高反膜组成，第一干涉臂和第二干涉臂的长度严...
王冬云佘玄刘承舒晓武
文献传递
基于铌酸锂波导耦合器的空芯光子晶体光纤谐振腔
本发明公开了一种基于铌酸锂波导耦合器的空芯光子晶体光纤谐振腔，包括第一保偏光纤、第二保偏光纤、倒装键合铌酸锂波导耦合器和空芯光子晶体光纤环，其中：所述的第一保偏光纤和第二保偏光纤，用于传输光波并稳定其偏振态，所述第一保偏...
佘玄申河良毕然范文陈侃舒晓武
提高石英表面聚焦离子束微纳直写精度的方法被引量：1
2021年
针对聚焦离子束在绝缘材料表面直写微纳图形时因电荷积聚原因导致加工效果差的情况,将单晶硅湿法各向异性腐蚀工艺应用于单晶硅片表面制备倒金字塔形通孔,作为微窗硅基盖板覆盖于绝缘衬底表面。当聚焦离子束穿过通孔在非导电衬底表面进行溅射刻蚀时,微窗硅基盖板的导电特性可提高溅射出的带电粒子的迁移率,降低电荷积聚-放电的频率,从而有助于聚焦离子束在绝缘衬底表面进行微纳加工。试验在具备高分辨率扫描电子显微镜成像和聚焦离子束微纳加工功能的双束系统中进行。试验结果显示被微窗硅基盖板的通孔环绕的石英表面的刻蚀结果与未被环绕的对比,刻蚀效果有显著改善,甚至部分刻蚀结果与单晶硅表面的刻蚀结果一致。
王伟庞陈雷杨青佘玄佘玄吴兰
关键词：微纳加工聚焦离子束
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