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付绍军

作品数：3 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院合肥物质科学研究院更多>>
相关领域：一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇中文专利

领域

  • 1篇一般工业技术

主题

  • 3篇纳米
  • 3篇纳米流体
  • 2篇电子束曝光
  • 2篇掩模
  • 2篇掩模板
  • 2篇流体
  • 2篇纳米压印
  • 2篇SU-8
  • 1篇压印
  • 1篇硬质
  • 1篇制作方法
  • 1篇脱模
  • 1篇模版

机构

  • 3篇中国科学院合...

作者

  • 3篇孔德义
  • 3篇李小军
  • 3篇唐敏
  • 3篇朱利凯
  • 3篇尤晖
  • 3篇蒋锐
  • 3篇高钧
  • 3篇王旭迪
  • 3篇付绍军

年份

  • 1篇2015
  • 2篇2013
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
集成标尺的SU-8纳米流体通道制作方法
本发明涉及一种集成标尺的SU-8纳米流体通道的制作方法，其特征是利用电子束曝光制作含有标尺及通道线条结构的光刻掩模板，并将上述掩模板应用于SU-8纳米流体系统的加工中，利用纳米压印并结合键合技术实现集成标尺的纳米流体通道...
李小军尤晖王旭迪付绍军高钧蒋锐朱利凯唐敏孔德义
集成标尺的SU-8纳米流体通道制作方法
本发明涉及一种集成标尺的SU-8纳米流体通道的制作方法，其特征是利用电子束曝光制作含有标尺及通道线条结构的光刻掩模板，并将上述掩模板应用于SU-8纳米流体系统的加工中，利用纳米压印并结合键合技术实现集成标尺的纳米流体通道...
李小军尤晖王旭迪付绍军高钧蒋锐朱利凯唐敏孔德义
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基于柔性模板的集成标尺的纳米流体通道的制作方法
本发明涉及一种基于柔性模板的集成标尺的纳米流体通道的制作方法，本方法利用柔性模板代替硬质模板，具有成本低、表面能低、制作效率高等优点。在压印前，无需进行表面处理；在压印过程中，柔性模板可以较好地贴合聚合物表面，需要转移的...
李小军尤晖孔德义高钧蒋锐朱利凯唐敏王旭迪付绍军
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