黄碧龙
- 作品数：7 被引量：11H指数：3
- 供职机构：上海交通大学材料科学与工程学院金属基复合材料国家重点实验室更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学一般工业技术更多>>
- 含AlN纳米多层膜的生长结构和超硬机制研究
- 以TiN为代表的硬质陶瓷薄膜作为刀具涂层取得了巨大的成功,有力地推动了制造业的发展。高速、干式切削等加工技术的进步对刀具涂层提出了更高的要求。纳米多层膜的高硬度以及能够通过材料组合获得其它优异性能的可裁剪性,使其成为一类...
- 黄碧龙
- 关键词：硬质薄膜非晶晶化超硬效应
- 文献传递
- AlN/SiO_2纳米多层膜的超硬效应与高温抗氧化性被引量：4
- 2008年
- 采用反应磁控溅射法制备了一系列不同SiO_2层厚的AlN/SiO_2纳米多层膜,利用X射线衍射仪、高分辨透射电子显微镜、扫描电子显微镜和微力学探针表征了多层膜的微结构和力学性能,研究了多层膜微结构与力学性能随SiO_2层厚的变化,考察了AlN/SiO_2纳米多层膜的高温抗氧化性.结果表明,受AlN层晶体结构的模板作用,溅射条件下以非晶态存在的SiO_2层在厚度<0.6nm时被强制晶化为与AlN相同的六方结构赝晶体,并与AlN形成共格外延生长结构,多层膜相应产生硬度升高的超硬效应.SiO_2随自身层厚的进一步增加又转变为以非晶态生长,致使多层膜的外延生长结构受到破坏,其硬度也随之降低.高温退火研究表明,高硬度的AlN/SiO_2纳米多层膜的抗氧化温度为800℃,与AlN单层膜相当.SiO_2层的加入尽管能使多层膜获得较高硬度,但是并不能提高其抗氧化温度.
- 吴莹赵文济孔明黄碧龙李戈扬
- 关键词：超硬效应抗氧化性
- SiO_2的赝晶化及AlN/SiO_2纳米多层膜的超硬效应被引量：3
- 2007年
- 采用反应磁控溅射法制备了一系列不同SiO2层厚度的AlN/SiO2纳米多层膜,利用X射线衍射仪、高分辨透射电子显微镜和微力学探针表征了多层膜的微结构和力学性能,研究了SiO2层在多层膜中的晶化现象及其对多层膜生长方式及力学性能的影响.结果表明,由于受AlN六方晶体结构的模板作用,溅射条件下以非晶态存在的SiO2层在其厚度小于0.6nm时被强制晶化为与AlN相同的六方结构赝晶体并与AlN形成共格外延生长.由于不同模量的两调制层存在晶格错配度,多层膜中产生了拉、压交变的应力场,使得多层膜产生硬度升高的超硬效应.SiO2随层厚的进一步增加又转变为以非晶态生长,多层膜的外延生长结构受到破坏,其硬度也随之降低.
- 赵文济孔明黄碧龙李戈扬
- 关键词：应力场超硬效应
- 反应磁控溅射TiN/AlON纳米多层膜的微结构与显微硬度被引量：4
- 2008年
- 采用Ti靶和Al_2O_3靶在Ar、N_2混合气氛中进行反应磁控溅射的方法,制备了一系列不同AlON层厚度的TiN/AlON纳米多层膜,利用EDS、XRD、HRTEM和微力学探针研究了AlON的形成条件以及AlON调制层厚的改变对多层膜生长方式和显微硬度的影响.结果表明,在Ar、N_2混合气氛中对Al_2O_3进行溅射,N原子会部分取代Al_2O_3中的O原子,形成非晶态的AlON化合物.在TiN/AlON纳米多层膜中,由于TiN晶体层的模板效应,AlON层在厚度小于0.6 nm时被强制晶化并与TiN形成共格外延生长结构,多层膜显示出最高硬吱达40.5 GPa的超硬效应;进一步增加AlON的层厚,其生长模式由晶态向非晶态转变,破坏了多层膜的共格外延生长结构,多层膜的硬度随之降低.
- 黄碧龙吴昕蔚孔明李戈扬
- 关键词：非晶晶化显微硬度反应磁控溅射
- 金属基体上硬质薄膜内应力的释放测量法
- 2007年
- 提出了一种基于Stoney公式测量金属基体上硬质薄膜内应力的应力释放法,并研究了不同基底温度对磁控溅射TiN薄膜内应力的影响。
- 黄碧龙吴莹戴嘉维李戈扬
- 关键词：硬质薄膜内应力
- 用于切削工具的TiN/AlON纳米多层涂层反应磁控溅射制备方法
- 本发明涉及的是一种用于切削工具技术领域的TiN/AlON纳米多层涂层反应磁控溅射制备方法。分别采用直流阴极控制的Ti靶和射频阴极控制的Al<Sub>2</Sub>O<Sub>3</Sub>靶，通过在Ar气和N<Sub>2...
- 孔明李戈扬戴嘉维黄碧龙吴莹
- 文献传递
- 用于切削工具的TiN/AlON纳米多层涂层
- 本发明涉及的是一种用于切削工具技术领域的用于切削工具的TiN/AlON纳米多层涂层。由TiN层和AlON层交替沉积在硬质合金、陶瓷或金属基体上形成，TiN层的厚度为3～5nm，AlON层厚为0.3～0.8nm，涂层总厚度...
- 孔明李戈扬戴嘉维黄碧龙吴莹
- 文献传递
