马志波
- 作品数：58 被引量：34H指数：4
- 供职机构：西北工业大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金西北工业大学基础研究基金四川省非金属复合与功能材料重点实验室一省部共建国家重点实验室培育基地开放基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信航空宇航科学技术轻工技术与工程更多>>
- 柔性微纳结构制造技术及其应用
- 姜澄宇苑伟政邓进军马炳和马志波何洋叶芳朱鹏飞王云龙郝日鹏庄成乾肖同新侯辉王文庆高洁
- “柔性微纳结构制造技术及其应用”是在国家自然科学基金、863课题等项目支持下的微机电系统(MEMS)器件加工技术的最新研究成果，属于先进制造技术领域。半导体制造技术是微纳结构的主要加工手段之一。特别是MEMS器件，继承了...
- 关键词：
- 关键词：半导体制造技术集成电路制造工艺
- 一种硅深刻蚀中抑制Lag效应的新方法被引量：3
- 2010年
- 在MEMS器件加工过程中,采用ICP刻蚀不同深宽比的三维结构时,由于Lag效应的影响,使较大尺寸的线条有较快的刻蚀速率,导致刻蚀深度的差异。为了抑制Lag效应,本文以S.L.Lai的三阶段模型为基础,提出一种可以对Lag效应进行补偿的刻蚀模型。
- 张洪海苑伟政马志波
- 关键词：MEMS刻蚀速率
- 一种微夹持式双频磁电天线及其制备方法和应用
- 本发明公开了一种微夹持式双频磁电天线及其制备方法和应用，涉及低频段通信技术领域。该磁电天线从上往下依次包括上层磁致伸缩层、压电层和下层磁致伸缩层，压电层的顶部和底部还分别设有上层PCB板和下层PCB板，上层PCB板与上层...
- 马志波宋恩重王熠楠赵山林字国浩
- 一种新型CCD图像采集系统设计被引量：8
- 2006年
- 结合电荷耦合器件和外围设备,介绍了一种CCD图像数据采集系统设计。采用74HC04逻辑非芯片将模数转换芯片和数据缓存芯片之间的CLK信号适当延迟,解决了图像数据模数转换后输出到FIFO缓存的时序控制问题。通过电路设计解决了微控制器难以直接应用于高速数据采集的难题,实现连续图像数据采集和处理,具有较好的通用性。
- 马志波乔大勇虞益挺苑伟政姜澄宇
- 关键词：驱动电路电荷耦合器件FIFO
- 一种微型平板静电驱动器及其制作方法
- 一种微型平板静电驱动器及其制作方法，为了克服现有技术中所需驱动电压高的缺陷，本发明提出了一种具有非线性弹性系数的支撑梁结构，将锚梁5的一端固定于锚点12上，锚点12固定在绝缘层上。锚梁5和内弹性梁7通过横梁9平行连接，触...
- 苑伟政乔大勇虞益挺饶伏波马志波李晓莹
- 文献传递
- 基于光纤F-P腔的三轴高温振动传感器及其制备方法
- 本发明公开了一种基于光纤F‑P腔的三轴高温振动传感器及其制备方法，属于微机电系统技术领域。基于光纤F‑P腔的三轴高温振动传感器具体包括顶层硅和基底硅，所述顶层硅和基底硅之间设有三轴振动敏感结构，将三个固支梁‑质量块系统集...
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- 基于SOI的超高深宽比纳米结构阵列的制作方法
- 本发明为基于SOI的超高深宽比纳米结构阵列的制作方法，属于微机电系统(MEMS)工艺领域，尤其涉及一种MEMS工艺中的超高深宽比纳米阵列的制备工艺。该方法通过多晶硅和氮化硅交替沉积和刻蚀的方法实现不同阵列数目的超高深宽比...
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- 文献传递
- 基于SOI的硅微谐振式压力传感器芯片制作被引量：5
- 2012年
- 采用SOI硅片,基于MEMS技术,设计并加工了一种新型三明治结构的硅微谐振式压力传感器,根据传感器敏感单元的结构设计,制定了相应的制备工艺步骤,并且针对湿法深刻蚀过程中谐振子的刻蚀保护等问题,提出了一种基于氮化硅、氧化硅和氮化硅三层薄膜的保护工艺,实验表明,在采用三层薄膜保护工艺下进行湿法刻蚀10 h后,谐振子被完全释放,三层薄膜保护工艺对要求采用湿法刻蚀镂空释放可动结构具有较高的实用价值。最后对加工完成的谐振式压力传感器进行了初步的性能测试,结果表明,在标准大气压力下谐振子的固有频率为9.932 kHz,品质因数为34。
- 马志波姜澄宇任森苑伟政
- 关键词：谐振式压力传感器MEMSSOI
- 一种高深宽比柔性纳米柱阵列的制造方法
- 本发明是属于集成电路和微纳电子机械系统制造领域，特别是一种高深宽比纳米结构阵列的制造方法。该方法需要制备高深宽比柔性纳米纤毛结构的软模板，软膜版以PDMS为浇注材料；复制高深宽比柔性纳米纤毛阵列的模板。以压印过的PDMS...
- 马志波苑伟政姜澄宇乔大勇孟海莎
- 文献传递
- 一种基于光纤F-P腔的MEMS传感器及其封装方法
- 本发明公开了一种基于光纤F‑P腔的MEMS传感器及其封装方法，属于光纤传感器技术领域，MEMS传感器包括用于封装敏感芯片的封装外壳，封装外壳远离敏感芯片的一端螺纹连接有螺纹准直器，螺纹准直器位于封装外壳外的一端固设有准直...
- 马志波李若飞王嘉言喜奇苑伟政任森
