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韩长玉
作品数:
2
被引量:3
H指数:1
供职机构:
郑州大学力学与工程科学学院
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相关领域:
化学工程
电子电信
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合作作者
马会中
郑州大学力学与工程科学学院
许觅婷
郑州大学力学与工程科学学院
张兰
郑州大学力学与工程科学学院
海滢滢
郑州大学力学与工程科学学院
车丽玮
郑州大学力学与工程科学学院
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张兰
2篇
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马会中
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韩长玉
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王瑞洁
1篇
海滢滢
1篇
车丽玮
传媒
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河南科技
年份
2篇
2009
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电镀金刚石超薄切割片切割单晶硅实验研究
被引量:1
2009年
电镀金刚石超薄切割片可用于半导体、集成线路、电路板(PCB)行业进行质量监控、失效分析以及基础材料研究,同时还可应用于光电、生物领域中精密模具的加工。电镀金刚石超薄切割片具有优异的硬度以及平滑、锋利的切削刃,能够最大限度地发挥材料特性,与超精加工划片机相匹配实现超精加工。
韩长玉
王瑞洁
许觅婷
车丽玮
张兰
马会中
关键词:
电镀金刚石
单晶硅
超精加工
电镀金刚石——镍复合膜沉积率研究
被引量:2
2009年
随着电子行业的迅速发展,由于陶瓷、半导体材料、水晶、玻璃等材料的切割和开槽等高精度微加工技术日益增多,因此,要求用于这种加工的切割工具必须具有高硬度,磨削效率高,形状误差小且容易保持,高化学惰性,高热导率,低热膨张系数等优异性能,而金刚石——镍复合镀层正是具有上述的综合优点,于是成为这种切割工具的最佳材料。
韩长玉
海滢滢
许觅婷
张兰
马会中
关键词:
电镀金刚石
复合膜
半导体材料
微加工技术
镍
电子行业
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