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陈有鹏
作品数:
3
被引量:5
H指数:1
供职机构:
山东大学
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发文基金:
山东省自然科学基金
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相关领域:
理学
电子电信
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合作作者
许炳章
山东大学物理学院物理系
李淑英
山东大学物理学院光电材料与器件...
刘向东
山东大学物理学院物理系
夏曰源
山东大学物理学院物理系
刘吉田
山东大学物理学院物理系
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薄膜厚度
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机构
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山东大学
作者
3篇
陈有鹏
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谭春雨
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刘吉田
2篇
夏曰源
2篇
刘向东
2篇
李淑英
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许炳章
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张淑芝
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李淑英
1篇
马瑾
1篇
张汝贞
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马洪磊
传媒
1篇
核技术
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山东大学学报...
年份
1篇
1994
2篇
1993
共
3
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掺氟二氧化锡透明导电膜的核技术分析
1993年
运用卢瑟福背散射(RBS)和二次离子质谱(SIMS)技术相结合测量了SnO_2透明导电膜的密度和膜厚,对于常压CVD法制备的SnO_2薄膜密度约为6.20g/cm^3,接近相应块状材料的密度。采用^(19)F(p,αγ)^(16)O共振核反应技术测量了用于非晶硅太阳能电池电极的大面积掺氟SnO_2(FTO)中氟的含量和深度分布以及50—180keV的^(19)F^+离子注入SnO_2膜中氟离子的射程分布参数。结果表明,FTO膜中氟元素的含量和深度分布并不是均匀的,而是在0.6×10^(20)—6.O×10^(20)/cm^3间波动;50—180keV的^(19)F^+离子注入SnO_2膜中氟离子的平均投影射程(R_P)值与理论计算结果符合得很好,而平均投影射程标准偏差(ΔR_P)值则比理论值偏大。
谭春雨
夏曰源
许炳章
刘向东
刘吉田
陈有鹏
李淑英
马洪磊
李金华
关键词:
厚度
氟
导电薄膜
二氧化锡
SnO_2(F)、Fe_2O_3和ZnSe(Fe)薄膜厚度的测量
被引量:5
1993年
用RBS技术、椭偏法和微量天平称重法测量了掺氟SnO_2(FTO)透明导电膜、掺铁ZnSe磁性半导体膜和Fe_2O_3气敏元件膜的薄膜厚度.实验结果表明,RBS技术的测量数值与椭偏法以及微量天平称重法测得的结果符合得较好。
谭春雨
夏曰源
张汝贞
刘吉田
刘向东
许炳章
李淑英
陈有鹏
张淑芝
关键词:
FTO
硒化锌
玻璃透明隔热膜的制备方法及专用喷头
一种玻璃透明隔热膜——氧化锡薄膜的制备方法及其专用喷头。该方法采用常压化学汽相沉积工艺,在平板玻璃生产线上,利用新生玻璃的高温,以四氯化锡为源,氟里昂为渗杂剂,甲醇为辅助剂加氧气,并以纯化氮气为携带气体,将各成分气体携带...
陈有鹏
马瑾
李淑英
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