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邢懋腾

作品数:1 被引量:2H指数:1
供职机构:北京理工大学更多>>
相关领域:理学电子电信更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇理学

主题

  • 1篇纳米
  • 1篇纳米晶
  • 1篇溅射
  • 1篇SEM
  • 1篇SNO2薄膜
  • 1篇FE
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射

机构

  • 1篇北京理工大学

作者

  • 1篇蒋煜婧
  • 1篇吴海霞
  • 1篇王占和
  • 1篇邢懋腾
  • 1篇詹杰

传媒

  • 1篇Journa...

年份

  • 1篇2003
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
纳米晶SnO2薄膜的结晶特性被引量:2
2003年
采用磁控溅射技术,使用混合气体Ar和O2,在衬底温度为150-400℃的耐热玻璃基片上制备了纳米晶SnO2:Sb透明导电薄膜,通过测定X射线衍射谱,表明薄膜择优取向为[110]和[211]方向,测量了SnO2:Sb薄膜的结晶特性随衬底温度变化以及纳米晶SnO2薄膜FE—SEM表面及断面形貌。
王占和吴海霞蒋煜婧邢懋腾詹杰
关键词:磁控溅射纳米晶SNO2薄膜
共1页<1>
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