赵国利
- 作品数：6 被引量：29H指数：4
- 供职机构：大连理工大学等离子体物理化学实验室更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划北京印刷学院印刷包装材料与技术北京市重点实验室开放课题基金更多>>
- 相关领域：理学机械工程更多>>
- 介质阻挡放电等离子体中HO_2自由基的红外光腔衰荡光谱原位诊断被引量：6
- 2007年
- 建立了一套以可调谐半导体激光器做光源的连续波光腔衰荡光谱装置,简单介绍了连续波光腔衰荡光谱技术与脉冲光腔衰荡光谱技术的区别。将连续波光腔衰荡光谱技术与介质阻挡放电等离子体技术相结合,对等离子体中的HO2自由基进行了原位定量测量,同时考察了HO2自由基数密度随放电电压和体系中氧气含量变化情况。实验结果表明:随着放电电压和体系中氧气含量的增加而增加的HO2自由基数密度分别出现极大值。
- 刘忠伟徐勇杨学锋赵国利王卫国朱爱民
- 关键词：红外光谱HO2
- 介质阻挡放电等离子体中OH自由基的光腔衰荡光谱原位诊断被引量：7
- 2008年
- 研制了一套等效噪声吸收可达3×10^-9 cm^-1的连续波光腔衰荡光谱装置。用该装置对介质阻挡放电等离子体中的OH自由基和水进行了原位定量测量，考察了OH自由基数密度随气压和放电电压以及放电频率的变化情浣。实验结果表明，在（2．13～22．0）×10^3Pa范围内，随着气压增加，OH自由基数密度在气压较低时增加；而在较高气压时由于H2O的解离吸附作用使得体系中电子密度减小，OH自由基数密度随之减小。随放电电压和放电频率增加介质阻挡放电等离子体中电子密度和电子能量增加而导致OH数密度增加。
- 刘忠伟赵国利王健朱爱民杨学锋徐勇
- 关键词：光腔衰荡光谱红外光谱OH介质阻挡放电
- 双频容性耦合等离子体的光谱诊断研究
- 双频容性耦合等离子体(Dual-frequency capacitively coupled plasma, DF-CCP)源是半导体工业中重要的刻蚀设备。双频容性耦合等离子体源由两个不同频率的射频源共同驱动,其中高频源...
- 赵国利
- 关键词：发射光谱吸收光谱
- 文献传递
- DBD等离子体中OH自由基数值模拟研究被引量：2
- 2010年
- 在介质阻挡放电H2O/He体系中通过解Boltzmann方程,得到电子能量分布函数,利用得到的电子能量分布函数计算电子-分子碰撞反应速率常数.建立了应用于介质阻挡放电的空间平均的化学动力学模型,研究了H2O/He体系在介质阻挡放电中,OH(X2Π)、OH(A2∑+)和电子的浓度随时间的演变以及不同气体组分对电子、OH(X2Π)和OH(A2∑+)的产生及其时间演变的影响.结果表明OH(X2Π)、OH(A2∑+)的浓度随H2O、O2含量的增加先增大后减小,其规律与部分实验结果能够较好地符合.讨论并分析了产生上述结果的主要物理化学反应过程和机理.
- 徐勇王丽娜刘忠伟朱爱民赵国利
- 关键词：介质阻挡放电OH化学动力学
- 微波等离子体中OH自由基的光腔衰荡光谱诊断被引量：3
- 2009年
- 搭建了一套以可调谐半导体激光器为光源的连续波光腔衰荡光谱装置，将其与微波等离子体装置结合，对等离子体中的OH自由基进行了原位定量测量，同时考察了OH自由基数密度随气压和微波功率的变化情况。实验结果表明：以氮气为工作气体，在（O．66～3．99）×10^3Pa范围内，随着气压的升高，OH自由基数密度先增加后降低，在1．995×10^3Pa时达到最大值；随着微波功率的升高OH自由基数密度逐渐增加。
- 王健赵国利朱爱民刘忠伟徐勇
- 关键词：微波等离子体
- 介质阻挡放电等离子体中·OH和HO2·自由基的数值模拟计算被引量：10
- 2008年
- 在介质阻挡放电等离子体N2/O2/H2O/HCHO体系中通过解Boltzmann方程,得到电子能量分布函数,利用得到的电子能量分布函数计算电子-分子碰撞反应速率常数.然后把有关的反应速率常数带入速率方程,计算得到该体系在介质阻挡放电时,·OH、HO2·和电子的浓度随时间的演变以及·OH、HO2·浓度随H2O、O2摩尔分数的变化,并将模拟结果与实验值进行了对比,两者符合得较好.
- 王丽娜刘忠伟朱爱民赵国利徐勇
- 关键词：介质阻挡放电化学动力学
