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秦雪雪
作品数:
7
被引量:3
H指数:1
供职机构:
西安电子科技大学
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
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合作作者
郝跃
西安电子科技大学微电子学院宽禁...
郑鹏天
西安电子科技大学微电子学院宽禁...
张进城
西安电子科技大学微电子学院宽禁...
董作典
西安电子科技大学微电子学院宽禁...
王冲
西安电子科技大学
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作者
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秦雪雪
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GaN基毫米波异质结构器件研究
GaN基毫米波器件技术已成为目前最具前景的毫米波大功率器件和功率放大器的理想制造技术。AlGaN//GaN HEMT具有出色的微波功率特性,它在军用和民用领域具有广阔的应用前景。通过缩小栅长提高器件高频率工作时的功率和增...
秦雪雪
关键词:
HEMT
毫米波
文献传递
一种A1GaN/GaN HEMT器件的隔离方法
本发明公开了一种AlGaN/GaN HEMT器件的隔离方法,它属于微电子技术领域。其目的在于采用该方法,可以避免传统器件隔离工艺中对材料的损伤。该方法是这样实现的:以选择性外延生长GaN基材料为核心,在蓝宝石衬底或SiC...
张进城
董作典
郝跃
郑鹏天
秦雪雪
刘林杰
王冲
冯倩
文献传递
基于紧耦合的多极化宽带宽角扫描天线
一种基于紧耦合的多极化宽带宽角扫描天线,包括多个周期性排布的多极化天线阵元;每个多极化天线阵元包括辐射单元和馈电单元;辐射单元包括介质板、频率选择表面、高阻抗表面、紧耦合对称振子辐射片和弯折线;馈电单元包括馈电巴伦和地板...
刘能武
云宇
万继响
孙胜
秦雪雪
李岩
傅光
一种增强型A1GaN/GaN HEMT器件的实现方法
本发明公开了一种增强型AlGaN/GaN HEMT器件的实现方法,它涉及微电子技术领域。该实现方法成本低,工艺简单,重复性好,可靠性高,对材料损伤小,可以获得高阈值电压以及纳米级有效沟道长度的增强型HEMT器件。本发明通...
张进城
郑鹏天
郝跃
董作典
王冲
张金风
吕玲
秦雪雪
文献传递
一种新型增强型A1GaN/GaN HEMT器件的实现方法
本发明公开了一种新型增强型AlGaN/GaN HEMT器件的实现方法,它涉及微电子技术领域。该实现方法成本低,工艺简单,重复性好,可靠性高,对材料损伤小。可以获得高阈值电压以及纳米级有效沟道长度的增强型HEMT器件。本发...
张进城
郑鹏天
郝跃
董作典
王冲
张金风
吕玲
秦雪雪
文献传递
一种A1GaN/GaN HEMT器件的隔离方法
本发明公开了一种AlGaN/GaN HEMT器件的隔离方法,它属于微电子技术领域。其目的在于采用该方法,可以避免传统器件隔离工艺中对材料的损伤。该方法是这样实现的:以选择性外延生长GaN基材料为核心,在蓝宝石衬底或SiC...
张进城
董作典
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郑鹏天
秦雪雪
刘林杰
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文献传递
GaN基异质结缓冲层漏电分析
被引量:3
2009年
通过对GaN基异质结材料C-V特性中耗尽电容的比较,得出AlGaN/GaN异质结缓冲层漏电与成核层的关系.实验结果表明,基于蓝宝石衬底低温GaN成核层和SiC衬底高温AlN成核层的异质结材料比基于蓝宝石衬底低温AlN成核层异质结材料漏电小、背景载流子浓度低.深入分析发现,基于薄成核层的异质结材料在近衬底的GaN缓冲层中具有高浓度的n型GaN导电层,而基于厚成核层的异质结材料的GaN缓冲层则呈高阻特性.GaN缓冲层中的n型导电层是导致器件漏电主要因素之一,适当提高成核层的质量和厚度可有效降低GaN缓冲层的背景载流子浓度,提高GaN缓冲层的高阻特性,抑制缓冲层漏电.
张进城
董作典
秦雪雪
郑鹏天
刘林杰
郝跃
关键词:
ALGAN/GAN异质结
GAN缓冲层
漏电
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