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田耘

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：东南大学更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇直接键合
  • 1篇湿敏
  • 1篇外延层
  • 1篇埋层
  • 1篇膜厚
  • 1篇晶体管
  • 1篇键合
  • 1篇硅膜
  • 1篇薄膜厚度
  • 1篇SOI材料
  • 1篇场效应
  • 1篇场效应晶体管

机构

  • 2篇东南大学

作者

  • 2篇田耘
  • 1篇张佐兰

传媒

  • 1篇传感器与微系...

年份

  • 2篇1989
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
传感器硅膜制备技术的研究
1989年
一、引言固态传感器的微结构通常用化学腐蚀法获得,如,薄膜、埋层和悬板等。传感器输出电讯号的灵敏度与机械应力或信号源的变化有关,而这种变化又依赖于薄膜厚度。所以厚度的精确控制对器件性能的影响是十分重要的。
张佐兰田耘简耀光
关键词：硅膜埋层薄膜厚度外延层湿敏场效应晶体管
直接键合SOI材料减薄技术的研究
田耘
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共1页<1>
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