王荣新
- 作品数：31 被引量：1H指数：1
- 供职机构：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金江苏省自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信理学自然科学总论一般工业技术更多>>
- p型欧姆接触电极结构及其制备方法
- 本发明公开了一种p型欧姆接触电极结构及其制备方法。所述p型欧姆接触电极结构的制备方法包括：在半导体生长设备中生长半导体结构，所述半导体结构包括p型半导体层；之后，在真空环境中将所述半导体结构从所述半导体生长设备中转移到薄...
- 张帆王荣新杨辉刘建平
- 用于超高真空系统的样品拾放装置
- 本发明公开了一种用于超高真空系统的样品直接拾放装置，包括：共圆周设置的复数卡盘片；以及，螺旋伸缩机构，用以在驱动机构的驱动下驱使该复数卡盘片沿共圆周的径向收缩或张开。其中所述螺旋伸缩机构包括：一字槽限位盘，包含复数一字限...
- 刘德利张宝顺张永红王荣新李智
- 文献传递
- 磁控溅射掺镓氧化锌薄膜的光电性能研究
- 本文开展了利用磁控溅射的方法，采用不同溅射条件将GZO制备在K9玻璃上，对其各项性能如透光性、导电性进行较全面地研究。结果表明，溅射条件强烈影响GZO薄膜结晶状态，从而导致薄膜的光学和电学性能呈现出较大的差别。比较不同条...
- 王荣新
- 关键词：磁控溅射光电性能透射率
- GaN基光电器件
- 本发明公开了一种GaN基光电器件。GaN基光电器件包括沿选定方向依次层叠设置的第一光限制层、第一波导层、有源层、第二波导层、电子阻挡层、第二光限制层、欧姆接触层和掺杂ZnO层，所述掺杂ZnO层沿所述选定方向层叠设置在所述...
- 张帆王荣新杨辉刘建平张珽
- 低温ICP-CVD氮化硅薄膜沉积技术及其应用
- 随着集成电路和半导体微纳加工技术的不断发展，半导体器件钝化问题已经成为半导体物理的一个重要的研究领域，因而制备优质的钝化薄膜成为研究焦点。氮化硅薄膜具有高介电常数、高化学稳定性、致密性好、抗氧化、抗腐蚀、抗杂质扩散和水汽...
- 张晓东张学敏时文华李海军王荣新张宝顺
- 电压调制的紫外双色光电响应的探测器的制备方法
- 本发明揭示了一种电压调制的紫外双色光电响应的探测器的制备方法，其特征在于包括如下步骤：1)采用耐高温材料作为衬底片；2)在所述衬底片上沉积一层掺杂氧化锌薄膜以作为光的探测材料；3)在所述掺杂氧化锌薄膜上沉积金属接触材料，...
- 王荣新杨乐臣张晓东
- 文献传递
- 平面TEM样品制备方法
- 本发明公开了一种平面TEM样品制备方法，包括：S1、在半导体外延结构上表面的待测区域上依次沉积第一保护层和第二保护层，半导体外延结构包括衬底及位于衬底上的半导体外延层，第一保护层和第二保护层于电子束下具有暗或明的亮度；S...
- 刘通孔亚萍王荣新沈阳王虎荣毅靳红艳胡楠袁敏张珽
- 紫外增强的UV探测器
- 随着社会的发展，紫外探测器的应用已经遍及工作与生活的各个角落。其中，由于臭氧层的吸收波长是在220～280 nm 的范围，导致太阳辐射在12 km 以下的低空极其微弱，被称为太阳辐射盲区或日盲区。在背景相对洁净的日盲区，...
- 王荣新杨乐臣付凯杨辉
- 基于氧化物-金属多层膜固态化合方法制备MCNO薄膜
- 2024年
- 红外热成像技术具有高度实用性、灵敏性和可靠性等优点,在航空、医疗等多个领域发挥着重要作用。相较于其他类型的非制冷红外探测器,测微辐射热计(Microbolometer)具有工作范围宽、响应速率快且器件结构简单等优点。相较于非晶硅和氧化钒等常见热敏层材料,立方尖晶石结构的过渡金属氧化物锰钴镍氧化物(Mn-Co-Ni-O,MCNO)具有更高的TCR系数。使用磁控溅射法-电子束蒸发复合法在蓝宝石(Al_(2)O_(3))衬底上制备MCNO薄膜,结合XRD、SEM和电学性能测试,分析和探讨了工艺条件对其性能的影响。研究结果表明,在450℃沉积5 h得到厚度为450 nm的MCNO薄膜样品,随后在真空腔内原位退火1 h,再使用管式退火炉在空气氛围中进行60 min 850℃后退火,MCNO薄膜呈现出良好性能,(111)晶相的XRD半峰宽为0.48,晶格常数为8.71A(1A=10^(-10) m),晶粒平均大小为81.7±24 nm。使用四探针法测试MCNO薄膜室温下电阻率为642.19Ω·cm,室温下(295 K)电阻温度系数(Temperature Coefficient of Resistance,TCR)系数为-4.20%/K。在6~8.5μm波长范围内,最高吸光度为1.50。研究结果验证了所提出的多层复合方法用于制备MCNO薄膜的可行性,为进一步优化MCNO薄膜组份与掺杂配比以及结构-性能关系提供了新思路。
- 赵媛媛王园园王荣新王志鹏朱煜宋贺伦向阳
- 关键词：磁控溅射电子束蒸发退火温度固相合成
- 应用于超高真空环境的样品传输系统及方法
- 本发明公开了一种应用于超高真空环境的样品传输系统及方法。该传输系统包括分布于真空互联系统内对样品小车有转向要求的选定位置处的换向中转室，所述换向中转室内部设有用于承载样品小车的可旋转轨道，并且所述可旋转轨道可在驱动机构驱...
- 刘德利张宝顺张永红王荣新李智
- 文献传递
