王永清
- 作品数:45 被引量:83H指数:5
- 供职机构:河北大学电子信息工程学院更多>>
- 发文基金:河北省自然科学基金国家自然科学基金河北省科技厅科技攻关项目更多>>
- 相关领域:理学机械工程金属学及工艺动力工程及工程热物理更多>>
- 立体螺旋线圈微型电感耦合等离子体激发源激发测试研究
- 2019年
- 介绍了一种电感耦合等离子体(Inductively Coupled Plasma,ICP)光谱激发源,该激发源采用微结构立体螺旋线圈。实验以氩气作为实验气体,采用以立体螺旋线圈作为微电路组件主体的微型ICP激发源研究了立体螺旋线圈激发氩气的最佳结构参数:匝数为4.5匝,线圈直径为5mm,铜线直径为1mm;测得了激发源在激发氩气时的工作条件:最佳射频功率为15~20W,最佳工作气压为50~100Pa,并分析了射频功率和工作气压对于氩气谱线强度的影响。采用射频功率为15W、氩气工作气压为60Pa对空气样品进行激发,检测到氮离子、氦离子等,由此表明立体螺旋线圈微型ICP激发源对空气样品具有激发能力,并且立体螺旋线圈微型ICP激发源比平面微型ICP激发源的激发能力更强。
- 王永清杨永旺万真真申玉民刘庆学
- 关键词:微型光谱仪电感耦合等离子体
- GaN和ZnO材料和器件特性的Monte Carlo模拟研究
- 郭宝增宫娜师建英王志宇王永清孙荣霞
- 作为继第一代Ge、Si半导体材料、第二代GaAs、InP化合物半导体材料之后的第三代半导体材料,ZnO和GaN具有压电、气敏、光电和透明导电等多种特性, 对它们的研究有望开发出声、光、电、热等多功能集成化的器件,因此对于...
- 关键词:
- 关键词:GANZNO
- 基于高能粒子溅射的表面深度剖析方法现状及应用被引量:4
- 2018年
- 近年来国内外对于材料表面问题的研究非常活跃。材料表面深度剖面分析方法不仅能像均质材料的分析方法那样获得表面元素含量的信息,而且能够用来表征从表面到基体各元素成份的纵深分布情况。为了解当前材料表面深度剖面分析技术及发展状况,文章从各类高能粒子入射样品表面的分析机理入手,介绍了二次离子质谱法、俄歇电子能谱法、X射线光电子能谱法、辉光放电光谱法、激光诱导击穿光谱法这5种可用于深度剖析的分析方法,它们通常使用高能入射粒子轰击样品表面,将待测样品逐层原子化或离子化后,再通过光谱、质谱或电子检测装置测得元素含量的纵深分布信息。在详细阐明了这5种深度剖析方法的分析原理、分析特点、溅射坑型及其在材料表面分析中的典型应用后,分析和探讨了这几类深度剖析方法在入射粒子、适合样品、可测试元素、是否可定量分析、应用领域等方面的对比情况,明确了它们在深度剖面分析领域的各自优势和不足,指出了对几种分析技术的综合运用,有时可改进单一方法的适用性和准确度。
- 万真真付新新王永清施宁
- 关键词:高能粒子二次离子质谱俄歇电子能谱X射线光电子能谱等离子体
- 太阳能臭氧发生系统用于城市污水处理的研究
- 董丽梅王永清周颖昌王飞孙荣霞王庆军万真真高征王占友韩泽池王丹丹张朋超
- 该项目对太阳能臭氧发生系统用于污水处理进行了深入的研究,其创新性为:(1)太阳能臭氧发生装置样机的设计和制作。设计制作了太阳能臭氧发生装置的样机,并对污水处理厂二期出水、城市河道水和印染废水进行了处理测试。技术路线合理,...
- 关键词:
- 关键词:城市污水处理
- 基于PVI与运放的IGBT串联均压电路研究被引量:2
- 2009年
- 介绍了一种采用PVI和运算放大器控制高压绝缘栅双极晶体管(IGBT)串联均压的方法。简述了基于光压隔离器(PVI)的串联IGBT隔离驱动电路和基于PMOSFET的均压串联反馈电路,详述了采用运算放大器反馈控制实现高压IGBT串联均压的方法。最后,将PMOSFET均压和运算放大器反馈控制均压电路分别运用到高压恒流源中,通过对实验数据的分析比较,运用运算放大器反馈控制均压误差小于0.6%,优于PMOSFET均压效果。
- 王永清李雷李小佳王海舟
- 关键词:绝缘栅双极晶体管
- 载人六自由度并联机器人与虚拟环境的智能交互控制研究
- 王洪瑞刘秀玲肖金壮王永清高征董斌王立玲杨建利陈栋董亚龙
- 课题研究设计了新型六自由度的并联机器人,并将其应用于保健康复领域。通过分析得到了机构的运动学模型、运动空间及其奇异情况,并对机构的动力学模型进行了建立;设计了新型混合P2P结构的分布式虚拟现实系统框架,完成了网络服务平台...
- 关键词:
- 关键词:碰撞检测算法
- 脉冲熔融质谱元素分析方法
- 一种脉冲熔融质谱元素分析方法,属于材料化学成分定量分析技术领域。步骤为:脉冲熔融脱气:在惰气保护下,利用脉冲炉加热熔融样品,在石墨坩锅中将金属、陶瓷等无机材料中的氧、氮、氢和氩气体元素,分别转化成气态组分一氧化碳和二氧化...
- 王海舟沈学静王蓬杨植岗胡少成王永清贾云海李小佳
- 文献传递
- 基于开放实验平台的传感器实验课程改革
- 2020年
- 针对目前传感器实验课程,在现有仪器设备基础上开发了一种基于Arduino的开放实验平台.该平台可开展各种新型传感器的相关实验,并可以进行二次开发及实现多传感器信息融合等,可作为传感器实验教学的有效补充.通过开放实验平台的建设,可以丰富实验教学内容、优化实验教学模式,提高学生的创新思维,还可以服务和提升现有课程的教学水平.
- 梅建宏王硕南万真真王永清
- 关键词:传感器实验信息融合
- 大口径辅助阳极型辉光放电溅射源的设计与研究
- 2024年
- 辉光放电原子发射光谱分析技术可对金属样品表面进行沿深度方向的逐层分析与表征,具有溅射速率快、分析效率高、可大面积溅射的优点。另外,辉光放电等离子体能量较低,材料逐层溅射激发过程中不易引起材料本身组织结构的变化,能够实现沿样品深度方向逐层剥蚀制样。将辉光放电溅射源与扫描电镜、光谱分析检测仪器等联用,可作为金属材料高通量定量表征的有效手段。为了高通量地获取材料表面的成分分布信息,需要对材料表面在多尺寸、大面积溅射条件下进行辉光放电等离子体溅射。因此在传统辉光溅射源的基础上,改进了阳极筒结构,设计了4种直径为cm级的(15、20、30和40 mm)大口径阳极筒,并对其进行COMSOL数值模拟仿真和实际溅射效果研究。大尺寸溅射面可获得材料表面更为丰富的信息,但在相同溅射条件下,阳极口径增大也带来溅射速率下降、溅射面中心区域离子化率降低、影响溅射均匀性和坑型平整度等问题。为解决这些问题,设计了可应用于大口径直流辉光放电溅射源的辅助阳极结构,通过改变放电空间的电场分布情况调控等离子体分布,增强了阳极中心区域离子化率。详细阐述了辅助阳极结构的设计原理,并对传统阳极和辅助阳极进行了数值模拟仿真研究和实际溅射效果对比实验。结果表明增设辅助阳极对大口径溅射源溅射速率的提升效果明显,对阳极口径30 mm溅射源的溅射速率提升33%~48%,对阳极口径40 mm溅射源的溅射速率提升34%~57%。采用大口径辅助阳极型溅射源对紫铜样品进行了溅射激发,并用光学相干断层扫描仪(OCT)测试了溅射坑形貌,结果表明增设辅助阳极可有效改善溅射均匀性和坑型平整度。
- 万真真武佳施宁王永清刘少锋沈懿璇王海云
- 关键词:辉光放电辅助阳极
- 基于微电子机械系统微型光谱仪的研究与进展被引量:14
- 2006年
- 结合已报道的微型光谱仪,介绍了微电子机械系统技术在多种微型光谱仪中的应用,详细阐述了这些微型光谱仪的原理和相应的制作工艺,并展望了随着微电子机械系统技术的发展,微型光谱仪的应用前景和发展趋势。
- 王永清马雯王海舟李小佳娄建中
- 关键词:微型光谱仪