王培利
- 作品数：5 被引量：12H指数：2
- 供职机构：电子科技大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信一般工业技术更多>>
- ZnO基紫外探测器的研究进展与关键技术被引量：8
- 2007年
- 近年来,ZnO基紫外探测器由于其优异的光电特性,已成为紫外探测领域研究中的新热点之一。介绍了近年来国内外不同结构类型的ZnO基紫外探测器的研究状况,并对影响探测器性能的ZnO的光电导特性、薄膜微结构、掺杂、金半接触等关键技术进行了探讨,指出推动ZnO紫外探测器实用化进程的关键在于制备高质量的掺杂薄膜以及进一步提高器件的量子效率。
- 韦敏邓宏王培利李阳
- 关键词：ZNO紫外探测器MSM光响应度量子效率
- ZnO紫外探测器的研究
- 紫外光探测器无论军用还是民用上都有重要的应用价值,所以引起人们的极大关注。近年来随着材料制备技术的发展,半导体固态紫外探测器得到广泛应用。宽禁带半导体材料ZnO由于具有优良的光电性能,使其成为紫外探测方面研究的热点。在过...
- 王培利
- 关键词：AZO薄膜射频溅射法紫外探测器响应度
- 文献传递
- 掺Al对ZnO紫外探测器性能影响的研究
- 采用射频溅射工艺在石英基片上制备了未掺杂和掺Al 5at％,10at％及20at％的ZnO薄膜。研究了薄膜的透过率,结果表明随着Al浓度的增加,薄膜光学吸收边蓝移,掺Al 20at％薄膜的禁带宽度展宽到3.93eV。在薄...
- 王培利邓宏韦敏李燕姚友谊
- 关键词：紫外探测器射频溅射光谱响应
- 文献传递
- Al浓度对AZO紫外探测器性能的影响被引量：3
- 2008年
- 采用射频溅射工艺,在石英基片上制备了未掺和掺Al浓度分别为5%、10%、15%及20%(原子分数)的氧化锌(AZO)薄膜。研究了薄膜的结构和光学性质,结果表明,所制备的薄膜具有c轴择优取向,随着Al浓度的增加,薄膜光学吸收边蓝移。在薄膜上真空蒸发沉积金叉指电极制备了MSM结构光电导紫外探测器,光谱响应测试表明,在5 V偏压下掺Al浓度为5%的探测器在375 nm紫外光照下响应度为37 A/W,对400 nm以上可见光响应度减小了1个数量级。
- 王培利邓宏韦敏李燕
- 关键词：AZO薄膜响应度
- 射频磁控溅射掺Al<'3+>ZnO薄膜的光致场发射研究
- 氧化锌(ZnO)具有较宽的带隙(3.3eV)和较低的亲和势(3.0eV),有可能用作薄膜场发射中的阴极材料。本文主要研究了采用射频溅射法制备不同掺杂(Al<'3+>)浓度ZnO薄膜时,掺杂浓度对光致场发射的影响。通过SE...
- 姚友谊邓宏韦敏王培利
- 关键词：氧化锌射频溅射
- 文献传递
