2024年11月27日
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朱建军
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44
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供职机构:
上海集成电路研发中心
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相关领域:
电子电信
一般工业技术
轻工技术与工程
经济管理
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合作作者
胡少坚
上海集成电路研发中心
陈寿面
上海集成电路研发中心
王勇
上海集成电路研发中心
赵宇航
上海集成电路研发中心
周伟
上海集成电路研发中心
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作者
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朱建军
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胡少坚
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赵宇航
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王勇
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陈寿面
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周伟
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半导体结构及其形成方法
本发明提供了一种半导体结构及其形成方法,当所述半导体结构受热或者受到光照射时,由于所述酯类材料层的热膨胀系数大于所述柔性基底的热膨胀系数,使得所述酯类材料层与所述碳纳米管促使所述柔性基底弯曲,进一步,所述酯类材料层填充在...
武青青
胡少坚
朱建军
文献传递
光电探测器及其制作方法、光电探测器织物
本发明提供一种光电探测器及其制作方法、光电探测器织物,所述光电探测器的制作方法包括:制备石墨烯薄膜,将所述石墨烯薄膜设置在基底上,所述基底为透光的且具有柔性的材料;在所述石墨烯薄膜上形成第一电极和第二电极;在所述第一电极...
武青青
胡少坚
朱建军
文献传递
金属钴互连层和接触孔层的形成方法
一种金属钴互连层和接触孔层的形成方法,包括提供一含有互连线层结构的衬底,在衬底上形成介质层;对介质层进行光刻刻蚀工艺,形成通孔层;采用选择性钨沉积工艺对所述通孔层进行钨沉积,以使金属钨填充通孔层中的通孔,以形成通孔的第一...
张文广
朱建军
文献传递
锡合金电镀浴液的形成方法和焊锡凸点镀层的制备方法
本发明提供一种锡合金电镀浴液的形成方法、焊锡凸点镀层的制备方法以及焊锡凸点镀层,所述锡合金电镀浴液的形成方法包括:采用聚乙二醇聚合物修饰纳米材料;将修饰后的纳米材料加入到锡合金电镀浴液中,采用超声波处理所述锡合金电镀浴液...
武青青
胡少坚
朱建军
一种金属扩散阻挡层结构及其形成方法
本发明公开了一种金属扩散阻挡层结构,包括由外而内依次形成于槽或孔内的粘附层、二硫化钼阻挡层、籽晶层和导线层;其中,二硫化钼阻挡层由向铜钼合金籽晶层中渗入硫,并与其中的钼反应而形成。本发明通过以三维二硫化钼层取代传统的氮化...
林威豪
武青青
朱建军
文献传递
半导体器件中互连层和接触孔层的形成方法
一种半导体器件中互连层和接触孔层的形成方法,包括提供一含有互连线层结构的衬底,在衬底上形成介质层;对介质层进行标准光刻刻蚀工艺,形成图形化后的通孔层;采用选择性钨沉积工艺对通孔层进行钨沉积,在通孔层中形成通孔钨塞;对通孔...
张文广
朱建军
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具有发光研磨颗粒的抛光液及其流体力学研究系统和方法
本发明公开了一种具有发光研磨颗粒的抛光液,其含有研磨颗粒,其包括由一个或多个量子点形成的颗粒核以及包覆该颗粒核的颗粒壳层,该量子点为发光材料,该颗粒壳层为二氧化硅、氧化铝或氧化铈。本发明还提供抛光液流体力学研究系统和方法...
朱建军
戚继鸣
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光电探测器及其制作方法
本发明提供了一种光电探测器及其制作方法,通过在基底上自下而上依次设置第一电极、空穴传输层、包含有钙钛矿的光敏活性层、电子传输层和第二电极制作出具有垂直结构的光电探测器。所述光敏活性层中的钙钛矿与电子传输层之间形成PN结,...
武青青
朱建军
胡少坚
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鳍式场效应晶体管及其制备方法
本发明提供一种鳍式场效应晶体管,包括衬底,所述衬底具有鳍部;位于所述衬底上的隔离区,所述隔离区覆盖所述鳍部的部分侧壁,且所述隔离区的顶部低于所述鳍部的顶部;源极/漏极区,所述源极/漏极区位于隔离区上方所述鳍部的凹槽内,且...
罗鑫
朱建军
刘洋
胡少坚
一种金属扩散阻挡层结构及其形成方法
本发明公开了一种金属扩散阻挡层结构,依次包括覆盖于槽或孔的内壁表面上的第一金属层、第一石墨烯层、第二金属层和第二石墨烯层;其中,第一石墨烯层和第二石墨烯层通过向第二金属层中注入碳进行掺杂,并进行热处理而分别形成于第一金属...
朱建军
林威豪
武青青
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