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张保军

作品数：1 被引量：4H指数：1
供职机构：中国建筑材料科学研究院更多>>
相关领域：一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇气相
  • 1篇气相沉积
  • 1篇气相沉积法
  • 1篇气相合成
  • 1篇金刚石
  • 1篇金刚石薄膜
  • 1篇刚石

机构

  • 1篇中国建筑材料...

作者

  • 1篇黄穗阳
  • 1篇常静宜
  • 1篇张保军

传媒

  • 1篇材料科学进展

年份

  • 1篇1990
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
低压气相生长金刚石薄膜被引量：4
1990年
在低压下,以甲烷和氢的混和气为原料,应用热丝 CVD 法,在 Si 基片上生长出了金刚石薄膜。经 X 射线衍射、激光刺曼光谱和扫描电子显微镜分析,生长产物呈多晶金刚石结构。探讨了金刚石薄膜的生长机理。
张保军黄穗阳苍风波常静宜
关键词：金刚石气相合成气相沉积法
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共1页<1>
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