宛克敬
- 作品数：12 被引量：48H指数：4
- 供职机构：中北大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国际科技合作与交流专项项目国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术电气工程机械工程更多>>
- 单片集成MEMS压阻超声传感器
- 本发明为一种单片集成MEMS压阻超声传感器，解决了现有超声传感器灵敏度低的问题。本发明包括质量块边框，质量块边框的两相对短边之间固定有振动膜，振动膜两侧边的中间位置与质量块边框的两相对长边之间分别对称固定有侧梁，振动膜位...
- 薛晨阳何常德张国军于佳琪王红亮张文栋宛克敬廉德钦苗静杜春晖张永平
- 文献传递
- MEMS压阻超声传感器的设计与优化被引量：6
- 2012年
- 提出了一种新的压阻式超声传感器结构,该结构由主振梁和微传感梁组成,在声压的作用下,主振梁振动从而带动微传感梁的振动。通过有限元软件Ansys仿真分析该结构的灵敏度,并与悬臂梁结构压阻式声传感器相比,结果表明灵敏度有了一定的提高。为了实现结构的优化,仿真了结构的尺寸与共振频率的关系,对相同共振频率的结构进行了静力分析,计算并对比了不同尺寸结构的灵敏度,从而得到灵敏度最高的结构,实现了结构的优化。
- 宛克敬何常德廉德钦薛晨阳
- 关键词：压阻超声传感器ANSYS
- 单片集成八梁臂三轴加速度计
- 本发明涉及MEMS传感器领域中的加速度传感器，具体是一种单片集成八梁臂三轴加速度计，解决了现有加速度计灵敏度低、轴间耦合度大、封装结构复杂、安装测试不方便、耐高温性差的问题。该加速度计包括八根弹性梁臂、中心固支块和质量块...
- 张文栋何常德薛晨阳熊继军刘俊张国军杜春晖宛克敬葛晓洋苗静廉德钦于佳琪张永平
- 文献传递
- 单片集成八梁臂三轴加速度计
- 本发明涉及MEMS传感器领域中的加速度传感器，具体是一种单片集成八梁臂三轴加速度计，解决了现有加速度计灵敏度低、轴间耦合度大、封装结构复杂、安装测试不方便、耐高温性差的问题。该加速度计包括八根弹性梁臂、中心固支块和质量块...
- 张文栋何常德薛晨阳熊继军刘俊张国军杜春晖宛克敬葛晓洋苗静廉德钦于佳琪张永平
- 垂直纳米光栅耦合器耦合效率分析与测试被引量：5
- 2011年
- 介绍了基于SOI纳米光栅耦合器的理论研究及测试方法,系统研究了光栅参数对光栅耦合效率的影响,在占空比为1∶1的基础上,对不同光栅槽深作了相应的理论分析,同时,还对不同角度的入射光作了相应的研究,经过仿真在入射角为10°时,对于波长为1 550 nm的入射光其耦合效率最高。除此之外,通过在光栅表面添加增透膜使其耦合效率在理论上提高至76%以上,并实验验证了增透膜可以有效的降低输入光场的端面反射及波导表面散射,增强了输出光效率。采用聚焦离子束方法(FIB)在10μm宽的硅波导上加工了纳米光栅结构,利用单模NewFocus可调谐激光器(1 520～1 570 nm)作为激发光源,对单模光纤与硅波导光栅进行垂直耦合,得到1 dB带宽近似为30 nm,耦合效率约为32%。
- 崔丹凤薛晨阳仝小刚晋玉剑宛克敬张文栋
- 关键词：增透膜单模光纤绝缘体上硅
- 基于硅晶圆键合工艺的MEMS电容式超声传感器设计被引量：18
- 2012年
- 针对目前电容超声传感器多采用表面工艺制备,存在振膜应力大、厚度均匀性控制差且表面需要沉积分立电极而造成传感器灵敏度低、归一化位移小、频率易偏差的缺点,提出基于硅晶圆键合工艺的MEMS电容超声传感器。采用应力小、厚度均匀的SOI顶层硅作为敏感单元的一体化全振微传感薄膜,无需沉积分立电极,易于加工且频率偏差小。通过下电极的区域化定义及巧妙互联,避免了非活跃区的寄生电容。通过ANSYS及MATLAB对所设计的5种工作频率在124 kHz～484 kHz之间、满足水下成像需求的传感器结构进行性能分析,表明传感器的电容变化量为650.62 fF/Pa～10.827 fF/Pa,满足现有条件的信号检测,输出电压灵敏度可达1.700 mV/Pa。与同频率指标的传统基于牺牲工艺而制备的金属-氮化膜堆栈结构对比表明,本结构频率可预测性高,偏差仅为0.0535%;振膜变形更均匀,归一化位移提高0.0432%以上;灵敏度平均提高11.9249 dB。
- 苗静何常德廉德钦张慧于佳琪宛克敬薛晨阳张文栋
- 关键词：超声传感器电容
- 单片集成MEMS压阻超声传感器
- 本发明为一种单片集成MEMS压阻超声传感器，解决了现有超声传感器灵敏度低的问题。本发明包括质量块边框，质量块边框的两相对短边之间固定有振动膜，振动膜两侧边的中间位置与质量块边框的两相对长边之间分别对称固定有侧梁，振动膜位...
- 薛晨阳何常德张国军于佳琪王红亮张文栋宛克敬廉德钦苗静杜春晖张永平
- 线性调频脉冲发声系统的设计被引量：3
- 2013年
- 介绍了线性调频脉冲压缩原理及一种基于脉冲压缩技术的线性调频信号发声系统,该系统包括电路系统,计算机控制程序和发射装置。电路系统使用信号发生器件、单片机及模拟开关来产生周期性线性调频信号。计算机控制程序采用微软基础类库(MFC)窗口程序,通过串口控制单片机。使用压电声音发射器发声,并做了线性调频声音发射、接收实验,对接收的信号进行了脉冲压缩。
- 廉德钦何常德苗静杜春晖宛克敬薛晨阳
- 关键词：脉冲压缩线性调频模拟开关
- 基于水下超声成像分时复用数据采集系统的设计被引量：3
- 2012年
- 利用压阻式水声传感器采集超声回波信号,通过行共用电源线,列共用信号线的方式将水声传感器组成成像阵列。使用MAX4617八选一高速模拟开关控制每个传感器与采集电路的通断,从而实现采集电路的分时复用功能。利用AD6655采集数据,FPGA作为模拟开关和采集电路的时序控制器,异步FIFO作为采集数据传送给EZ-USB的缓冲器,EZ-USB单片机负责任务的协调,并把数据打包上传给计算机。初步测试了传感器与采集通道的开关时延特性,以及分时采集样本与原始声信号吻合程度,实验结果证明系统能够完成水声传感阵列的实时数据采集任务。
- 宛克敬薛晨阳廉德钦苗静何常德
- 关键词：水声传感器高速模拟开关分时复用FIFO
- 集成超声传感器阵列的设计与测试
- 超声成像已经在医学上、无损检测、海底地形勘探、水下沉船打捞等领域有较为广泛的应用。但是传统的超声成像系统体积大、成本高，使用起来极其不方便，限制了它的应用范围。现在提高成像系统的集成度、降低成本、提高性能、缩小体积、提高...
- 宛克敬
- 关键词：超声传感器阵列信号电路设计有限元分析
- 文献传递
