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孙小东

作品数：9 被引量：12H指数：2
供职机构：西北工业大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 6篇专利
  • 2篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 2篇电子电信
  • 2篇自动化与计算...

主题

  • 4篇压力传感器
  • 4篇谐振
  • 4篇力传感器
  • 4篇感器
  • 4篇传感
  • 4篇传感器
  • 3篇信号
  • 3篇微机电系统
  • 3篇谐振式压力传...
  • 3篇机电系统
  • 3篇电系统
  • 2篇淀积
  • 2篇调制
  • 2篇调制信号
  • 2篇真空度检测
  • 2篇驱动信号
  • 2篇锚点
  • 2篇接口
  • 2篇接口电路
  • 2篇回路

机构

  • 9篇西北工业大学

作者

  • 9篇孙小东
  • 8篇苑伟政
  • 8篇任森
  • 7篇王伟康
  • 4篇陈旭辉
  • 2篇乔大勇
  • 2篇程波
  • 2篇邓进军

传媒

  • 2篇传感器与微系...

年份

  • 2篇2017
  • 1篇2016
  • 2篇2015
  • 4篇2014
共 9 条 记 录，以下是 1-9
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排序方式：
一种高精度硅微谐振式压力传感器接口电路
本发明涉及一种高精度硅微谐振式压力传感器接口电路，属于微机械传感器领域。该电路的跨阻放大器6输出高频调制信号u(t)包含了有用信号，经过高通滤波器7，低频耦合信号被消除，再经过解调器8、低通滤波器9、仪表放大器10得到的...
苑伟政孙小东任森王伟康
文献传递
Pyrex 7740玻璃深刻蚀掩模研究被引量：2
2014年
玻璃湿法深刻蚀掩模常采用低压化学气相沉积(LPCVD)多晶硅、Cr/Au金属层+光刻胶等,但往往会在玻璃中引入应力,影响后期应用(如阳极键合),而且Cr/Au金属层价格昂贵。为避免以上缺点,引入了SX AR—PC 5000/40保护胶+WBR2075干膜作为玻璃的刻蚀掩模,在HF︰NH4F,HF︰HCl,HF︰HCl︰NH4F刻蚀溶液中进行了大量实验。实验结果表明:SX AR—PC 5000/40抗腐蚀能力强,且成功实现了对Pyrex 7740玻璃131μm的深刻蚀。整个工艺过程与IC工艺兼容,可以进行圆片级批量加工。实验结果对圆片级封装和其他MEMS器件的制作有一定参考作用。
王伟康苑伟政任森邓进军孙小东
关键词：湿法腐蚀微机电系统
一种硅谐振压力传感器闭环控制电路及实现方法
本发明提出了一种硅谐振压力传感器闭环控制电路及实现方法，谐振器1的振动产生变化电容信号后分为两路，一路经过第一数字模块4、第二数字模块5、减法器模块6、参考数字信号7、数字比例控制器8形成放大的负反馈误差控制量；另一路经...
苑伟政陈旭辉任森孙小东乔大勇王伟康程波
一种SOI微型皮拉尼计及其制作方法
本发明公开了一种微型皮拉尼计，属于微机电系统封装的真空度检测领域。该皮拉尼计的硅结构在器件层8上制作，主要包括加热和散热两部分结构；加热结构由两根呈周期梯形弯曲的加热体5组成；所述散热结构由三部分组成：侧面两个相互对称的...
苑伟政王伟康任森孙小东陈旭辉
文献传递
硅微谐振式压力传感器系统特性研究\
硅微谐振式压力传感器作为目前精度最高、稳定性最好的压力传感器之一，被广泛应用于航空航天和工业控制领域。本文以基于静电驱动电容检测的硅微谐振式压力传感器为研究对象，深入研究了传感器的系统模型、结构设计和接口电路设计等关键技...
孙小东
关键词：系统模型专用集成电路
文献传递
静电激励硅微机械谐振压力传感器设计被引量：10
2014年
设计了一种静电激励／电容检测的硅微机械谐振压力传感器，采用改进的侧向动平衡双端固支音叉谐振器，利用基于绝缘体上硅的加工工艺制作。为了抑制压力敏感膜片受压变形时谐振器的高度变化，在谐振器固定端设计了全新的桁架结构。针对传感器检测信号微弱和同频干扰严重的特点，在芯体和接口电路设计中采取添加屏蔽电极、降低交流驱动电压幅值、差动电容检测和高频载波调制解调方案等多项措施。同时基于该接口电路设计了开环测试系统，并在常压封装条件下对传感器进行了初步性能测试。实验结果表明：其基础谐振频率为33．886kHz，振动品质因数为1222；测量范围为表压0-280kPa，非线性为0．018％FS，迟滞为0．176％FS，重复性为0．213％FS；在--20-60℃的温度范围内，谐振器的平均温度漂移为-0．037％／℃。
任森苑伟政邓进军孙小东
关键词：谐振压力传感器电容检测绝缘体上硅
一种硅谐振压力传感器闭环控制电路及实现方法
本发明提出了一种硅谐振压力传感器闭环控制电路及实现方法，谐振器1的振动产生变化电容信号后分为两路，一路经过第一数字模块4、第二数字模块5、减法器模块6、参考数字信号7、数字比例控制器8形成放大的负反馈误差控制量；另一路经...
苑伟政陈旭辉任森孙小东乔大勇王伟康程波
文献传递
一种SOI微型皮拉尼计及其制作方法
本发明公开了一种微型皮拉尼计，属于微机电系统封装的真空度检测领域。该皮拉尼计的硅结构在器件层8上制作，主要包括加热和散热两部分结构；加热结构由两根呈周期梯形弯曲的加热体5组成；所述散热结构由三部分组成：侧面两个相互对称的...
苑伟政王伟康任森孙小东陈旭辉
文献传递
一种高精度硅微谐振式压力传感器接口电路
本发明涉及一种高精度硅微谐振式压力传感器接口电路，属于微机械传感器领域。该电路的跨阻放大器6输出高频调制信号u(t)包含了有用信号，经过高通滤波器7，低频耦合信号被消除，再经过解调器8、低通滤波器9、仪表放大器10得到的...
苑伟政孙小东任森王伟康
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