孙侠菲
- 作品数：7 被引量：57H指数：6
- 供职机构：苏州大学现代光学技术研究所更多>>
- 相关领域：机械工程化学工程自动化与计算机技术更多>>
- 光学玻璃光学均匀性高精度测量技术被引量：12
- 2001年
- 高质量的透射光学系统对光学材料的光学均匀性要求非常高 ,材料局部折射率 10 -6 量级的变化就可能破坏整个系统的性能。详细介绍了三种用于测量光学玻璃光学均匀性的干涉法 ,研制了一台高精度光学玻璃材料光学均匀性测量仪。实验结果表明 :40mm左右厚的光学玻璃材料的光学均匀性检测精度可达 1× 10 -6 。
- 郭培基余景池丁泽钊孙侠菲
- 关键词：光学材料光学均匀性光学玻璃
- 高精度光学玻璃光学均匀性测量仪研制被引量：8
- 2004年
- 围绕研制大口径高精度光学玻璃材料光学均匀性测量仪 ,简要介绍一种光学玻璃光学均匀性的绝对测量原理及其优点 ,介绍了系统组成、数据处理方法与流程 ,给出了与Zygo干涉仪的对比测量结果 ,结果表明其对大于 3 0mm厚光学玻璃材料的光学均匀性检测精度可达 1×10 - 6 。
- 郭培基余景池丁泽钊孙侠菲
- 关键词：光学玻璃光学均匀性测量仪
- 一种大数值孔径小非球面检测用补偿器设计被引量：12
- 2002年
- 利用补偿器的补偿法是检测高精度非球面的一种非常重要的方法 ,它可以利用已广泛实用的Zygo等高精度的数字干涉仪 ,用补偿法的关键是补偿器的设计。本文介绍了补偿法检测非球面的原理 ,针对要检测一种大数值孔径小非球面模芯 ,设计了一种由 4片薄球面透镜组成的补偿器 ,该补偿器由前后两部分组成 ,前面两片组成一个数值孔径很小的系统 ,主要用于产生适量的球差 ,后组两片组成一个数值孔径较大的系统 ,并与前面的一起满足被测非球面检测的需要。文中对制造、检测及装调等主要误差源引起误差进行了全面分析。用这种补偿器检测相应的非球面 ,检测精度可达 0 .0 5λ ,可满足光盘物镜非球面模芯的检测需要。
- 郭培基余景池孙侠菲
- 关键词：补偿法补偿器
- 超光滑硅柱面反射镜的加工和检测被引量：8
- 2001年
- 介绍了超光滑硅柱面反射镜的加工过程、工艺控制及检测方法。给出了由超光滑硅柱面反射镜组成的准直扩束系统的出射波面的检测结果。
- 孙侠菲余景池丁泽钊郭培基
- 关键词：超光滑
- 波差与表面斜率误差评价方法的讨论被引量：2
- 2001年
- 对用波差与表面斜率误差评价光学元件面形误差的方法进行了比较和讨论。以具有不同面形精度的光学元件 ,在不同的数据处理方法下得到的结果为例 ,说明此两种面形评价方法在数据处理方法不同时在数值上的联系。
- 余景池郭培基孙侠菲丁泽钊
- 关键词：光学元件
- 光学玻璃光学均匀性的绝对测量技术被引量：15
- 2003年
- 光学玻璃的光学均匀性的测量是制造高质量光学玻璃的保证 ,本文详细介绍了三种用于测量光学玻璃光学均匀性的绝对测量方法 ,并利用其中的一种方法研制了一台高精度光学玻璃材料光学均匀性测量仪 ,实验结果表明其对 40mm左右厚光学玻璃材料的光学均匀性检测精度可达 1× 10 - 6 。
- 郭培基余景池丁泽钊孙侠菲
- 关键词：光学玻璃
- 光学元件检测技术的研究被引量：11
- 2002年
- 介绍了光学非球面加工精磨阶段和抛光阶段的检测技术、柱面镜面形的测量方法、超高精度球面面形的测量方法和光学元件参数的高精度测量技术。
- 余景池孙侠菲郭培基丁泽钊
- 关键词：光学元件非球面面形测量
