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司丽娜

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：清华大学机械工程学院摩擦学国家重点实验室更多>>
发文基金：创新研究群体科学基金国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇单晶
  • 1篇单晶硅
  • 1篇动力学
  • 1篇动力学模拟
  • 1篇团簇
  • 1篇硅团簇
  • 1篇分子
  • 1篇分子动力学
  • 1篇分子动力学模...
  • 1篇超精
  • 1篇超精密
  • 1篇超精密加工

机构

  • 1篇清华大学

作者

  • 1篇雒建斌
  • 1篇司丽娜
  • 1篇郭丹

传媒

  • 1篇物理学报

年份

  • 1篇2012
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
氧化硅团簇切削单晶硅粗糙峰的分子动力学模拟研究
2012年
应用分子动力学模拟方法研究了氧化硅团簇在不同的切削深度下切削单晶硅粗糙峰的过程,考察了切削过程中粗糙峰和氧化硅团簇形态变化、团簇的受力状况、粗糙峰原子配位数和温度分布等.模拟结果表明:切削深度小于0.5 nm时,被去除的材料以原子或者原子簇形式存在,并黏附在颗粒表面被带走;当切削深度增大至1 nm,材料的去除率增大,并形成大的切屑.在切削过程中,由于压力和温度的升高,粗糙峰切削区域的单晶硅转变为类似Si-Ⅱ相和Bct5-Si相的过渡结构,在切削过程后的卸载阶段,过渡结构由于压力和温度的下降转变为非晶态结构.
司丽娜郭丹雒建斌
关键词：单晶硅分子动力学模拟超精密加工
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