区仲荣
- 作品数：8 被引量：17H指数：3
- 供职机构：广东工业大学更多>>
- 发文基金：广州市科技计划项目广东省科技计划工业攻关项目广东省自然科学基金更多>>
- 相关领域：机械工程电子电信医药卫生一般工业技术更多>>
- 液体驱动式超微小位移控制装置
- 本实用新型公开了一种液体驱动式超微小位移控制装置，该装置由弹性微位移机构与液体驱动控制机构通过连接链相连接组成，上述弹性微位移机构的弹簧和弹性微位移梁的一端分别固定于机体上，弹簧另一端与弹性微位移梁的另一端相连接，工作台...
- 傅惠南王晓红区仲荣陈东升
- 文献传递
- 液体驱动式超微小位移控制装置及控制方法
- 本发明公开了一种液体驱动式超微小位移控制装置及控制方法，该装置由弹性微位移机构与液体驱动控制机构通过连接链相连接组成，上述弹性微位移机构的弹簧和弹性微位移梁的一端分别固定于机体上，弹簧另一端与弹性微位移梁的另一端相连接，...
- 傅惠南王晓红区仲荣陈东升
- 文献传递
- 纳米操作加工过程定位检测问题研究
- 2006年
- 微纳米操作、加工、检测和控制在各个领域获得广泛的研究和应用,在微纳米层次上进行原位、定位的操作、检测、加工是经常遇到的问题。扫描探针显微镜技术(Scanningprobemicroscope,SPM)提供强有力的工具,人们利用其不同类型的针尖与相应样品表面产生的化学或物理作用达到目的。但扫描探针显微镜针尖同时用于检测、加工和成像,会因为针尖磨损、状态的改变,影响检测信息的准确性、可靠性,直接影响结果的判定。本文提出一种在微操作加工过程的定位检测技术,即操作过程工具和探针承担不同任务,工具负责加工操作,探针用于检测并定位于操作加工位置,进行了实验并分析讨论定位过程相关问题。
- 区仲荣傅惠南夏继盛
- 关键词：扫描探针显微镜
- 扫描探针制备技术的研究现状及发展被引量：5
- 2005年
- 探讨了近几年来探针制备技术的发展和趋势,分别就探针检测性能的改进、探针结构、探针检测功能拓展及多通道信息采集组合探针等几方面,对相关制备技术的方法、特点以及相应检测条件、适用环境展开讨论,这些方面反映探针制备技术正朝着尖锐化、多样化、功能化和组合方向发展。
- 傅惠南王宏霞区仲荣
- 关键词：扫描探针显微镜微悬臂针尖
- 基于AFM实时可控纳米加工技术的研究
- 基于原子力显微镜(Atomic Force Microscopy，AFM)的纳米加工技术是目前制备纳米结构最重要的方法之一，可用于制备各种纳米结构和纳米器件，如单电子晶体管、纳米样板等。一般来说，现有的AFM纳米加工技术...
- 区仲荣
- 关键词：原子力显微镜纳米加工技术
- 文献传递
- 液体驱动式超微小位移控制装置及控制方法
- 本发明公开了一种液体驱动式超微小位移控制装置及控制方法，该装置由弹性微位移机构与液体驱动控制机构通过连接链相连接组成，上述弹性微位移机构的弹簧和弹性微位移梁的一端分别固定于机体上，弹簧另一端与弹性微位移梁的另一端相连接，...
- 傅惠南王晓红区仲荣陈东升
- 文献传递
- SPM探针制备的新进展被引量：6
- 2005年
- 扫描探针显微技术应用越来越广泛 ,其探针制备技术也不断得到开发。从探针结构的改进和探针功能的扩展等方面对近几年来探针制备技术的相关发展进行了阐述 ,探讨了 SPM技术的拓展和新应用 ,同时也讨论各种制备方法的特点和适用条件。
- 王宏霞傅惠南区仲荣
- 关键词：显微技术SPM
- SPM探针制造技术的研究和发展被引量：7
- 2005年
- 探针是扫描探针显微镜的核心部分,结构及针尖的表面状态会影响此类仪器的操作性、可控制性、工作稳定性、可靠性以及其它性能的发挥。探针及其相关技术的研究进展成为人们十分关注的问题。探针对表面物理信息的检测是一个针尖与试样表面相互作用的过程,包含物理、几何关系,还包含表面微观化学作用及其它微观因素的影响。本文探讨探针与表面相互作用关系,并就近些年探针技术发展讨论探针性能、针尖及相应结构的改进,探针功能的拓展以及功能的组合,讨论相关制备技术方法、特点和相应检测条件、适用环境等。
- 傅惠南王宏霞王晓红区仲荣
- 关键词：扫描探针显微镜微悬臂针尖
