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刘西钉
作品数:
13
被引量:30
H指数:3
供职机构:
中国科学院上海技术物理研究所
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刘恩科
西安交通大学电子与信息工程学院...
李国正
西安交通大学电子与信息工程学院...
高勇
西安理工大学
赵策洲
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沈学础
中国科学院上海技术物理研究所
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刘西钉
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1篇
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2篇
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3篇
1996
7篇
1995
共
13
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Ge_(0.1)Si_(0.9)/Si近红外探测器的结构设计与试验
被引量:2
1995年
设计了一种新结构的Ge_xSi_(1-x)/Si近红外探测器,它是在p-Si衬底上分子束外延生长2μm厚的Ge_(0.1)Si_(0.9)本征层,再在其表面离子注入形成一薄层n+层,腐蚀成台面后,构成Ge_(0.1)Si_(0.9)/Sip-i-n型的近红外探测器。试验表明,它具有良好的I-V特性和光电特性。
李国正
张浩
高勇
刘西钉
刘恩科
张翔九
卢学坤
王迅
关键词:
红外探测器
分子束外延
离子注入
Si_(1-x)Ge_x/Si定向耦合器的研制
被引量:1
1996年
在运用SiGe脊形波导单模条件和有效折射率法分析SiGe/Si定向耦合器结构参数的基础上,采用分子束外延和各向异性腐蚀技术制备出Si1-xGex/Si(x=0.05)单模定向耦合器.在波长为1.3μm时,平均串音小于-18.1dB,输出功率耦合效率达到98.1%
高勇
李国正
刘恩科
赵策洲
刘西钉
张翔九
卢学坤
王迅
关键词:
定向耦合器
Si_(1-x)Ge_x/Si脊形波导X型分支器的研制
被引量:3
1995年
采用分子束外延方法制作低损耗Si1-xGe/Si异质结脊形光波导,在X型交叉波导上实现了Si1-xGex/Si光分支器的功能.设计中采用了SiGe大截面脊形波导的单模条件和交叉波导传输特性分析的结果.X型光分支器的实现为进一步研制Si1-xGex/Si光开关和光电调制器积累了经验.
高勇
刘恩科
李国正
李国正
关键词:
异质结
脊形波导
波导
分支器
锗
SOI波长信号分离器的研制
被引量:1
1995年
根据大截面单模脊形波导理论和双模干涉机制,在硅片直接键合、背面抛光减薄的SOI材料上,通过氢氧化钾各向异性腐蚀的方法,成功地研制出SOI波长信号分离器,在波长为1.3μm时,其插入损耗为4.81dB,串音小于-18.6dB。
赵策洲
李国正
刘恩科
刘西钉
高勇
关键词:
集成光学
光通讯
Ge_xSi_(1-_x)等离子体色散效应及电光调制器
被引量:1
1996年
在研究了Si的等离子体色散效应之后,我们预计GexSi1-x也会有这一效应。理论分析和实践的结果都表明GexSi1-x具有比Si更强的等离子体色散效应。
李国正
高勇
刘西钉
刘恩科
关键词:
电光器件
电光调制器
硅
锗
非致冷红外微测辐射热计的自热效应分析及重要参数测定
被引量:7
1999年
在考虑器件自热效应的情况下,对微测辐射热计的性能进行了深入地理论分析,应用了微测辐射热计的有效热导Geff概念,得出对于一定的热导的器件,存在着最佳工作偏置电流I0opt这一重要结论,并找到一种通过电学测量确定微测辐射热计有效热导Geff和有效时间常数τeff的方法.试验结果与理论分析符合.
刘西钉
梁平治
沈学础
关键词:
微测辐射热计
自热效应
电学测量
非致冷
非制冷红外微测辐射热计的研制
被引量:10
1997年
采用多晶硅薄膜材料作为热敏电阻材料,以普通的IC工艺及微机械加工技术研制成功了在室温下工作的红外微测辐射热计,其多晶硅电阻温度系数为-2%℃-1,探测率D*达2×108cm·Hz1/2·W-1.
刘西钉
江美玲
冯晓梅
丁爱娣
梁平治
沈学础
关键词:
多晶硅
非制冷
微测辐射热计
红外
SOI定向耦合器研制
被引量:1
1995年
本文根据大截面单模脊形波导条件和有效折射率法,在硅片直接键合后背面抛光减薄的SOI材料上,通过氢氧化钾各向异性腐蚀的方法,成功地研制出SOI定向耦合器,在波长为1.3μm时,其平均插入损耗为4.8dB,平均串音小于-18.6dD.
赵策洲
李国正
刘恩科
刘西钉
高勇
关键词:
定向耦合器
SOI
耦合器
SOI结构M-z型调制器的有限元法分析
被引量:1
1997年
本文提出了采用有限元法分析SOI(Silicon on Insulator)结构M-Z(Mach-Zehnder)干涉型调制器的新方法。该方法在大截面单模SOI脊形波导理论的基础上,根据等离子体色散效应分析了这种调制器的电光调制机理;根据有限元法分析了p^+n结大注入时该调制器的电学性质,从而为实际研制成这种干涉型调制器打下了理论基础。
赵策洲
刘恩科
李国正
高勇
刘西钉
关键词:
集成光学
调制器
有限元法
波长1.3umGeSi电光开关的研制
刘西钉
关键词:
光开关
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