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郑树起
作品数:
1
被引量:19
H指数:1
供职机构:
中国石油大学(北京)理学院材料科学与工程系
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发文基金:
教育部科学技术研究重点项目
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
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合作作者
张国安
中国石油大学北京理学院材料科学...
姜瑞景
中国石油大学北京理学院材料科学...
陈长风
中国石油大学北京理学院材料科学...
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中国石油大学...
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陈长风
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姜瑞景
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郑树起
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张国安
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物理化学学报
年份
1篇
2009
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双极性半导体钝化膜空间电荷电容分析
被引量:19
2009年
钝化膜的空间电荷电容的测量(Mott-Schottky(M-S)曲线)是研究其半导体性质的重要手段,双极性半导体钝化膜在耗尽态电位区M-S曲线斜率往往会发生改变,首先建立了半导体富集态、耗尽态以及反型态空间电荷电容的统一计算公式,进而将双极性半导体钝化膜空间电荷电容等效为钝化膜/溶液界面处电容和内层钝化膜/外层钝化膜界面处的np结电容的串联,模拟计算结果能够很好地解释M-S曲线斜率发生改变这一实验现象.同时,计算结果表明,对于双极性半导体的M-S曲线,利用其直线部分的斜率、直线与电位坐标轴的截距来确定钝化膜的载流子浓度以及平带电位会产生一定的误差.
陈长风
姜瑞景
张国安
郑树起
关键词:
钝化膜
双极性
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