赖起邦
- 作品数：3 被引量：9H指数：2
- 供职机构：厦门大学物理与机电工程学院物理学系更多>>
- 相关领域：理学一般工业技术更多>>
- 类金刚石薄膜的制备和光学性质研究
- 类金刚石薄膜(Diamond—likecarbonfilms)发现于20世纪70年代，是一系列含有sp3和sp2键的非晶碳膜，它有着和金刚石膜非常接近的性质——高硬度、高弹性模量、耐磨损、低摩擦系数、高电阻率、高透光率和...
- 赖起邦
- 关键词：类金刚石薄膜掺杂改性光学性质
- 文献传递
- 拉曼光谱表征无氢类金刚石薄膜的新方法被引量：5
- 2010年
- DLC薄膜的拉曼光谱表征主要依靠D峰和G峰的强度比值(ID/IG)来定性判断sp3含量,但当sp3所占百分比高于20%时,ID/IG值对sp3含量的变化不敏感,判断的误差很大。采用直流磁控溅射和多弧离子镀制备了一系列无氢DLC薄膜样品,并测量了样品的拉曼光谱和维氏硬度。通过数据分析,发现薄膜硬度和拉曼光谱中的G峰半峰宽具有很好的相关性,因而提出通过G峰半峰宽来定量判断DLC薄膜中sp3含量的拉曼光谱表征新方法。
- 张玲赖起邦崔万国王辅明
- 关键词：类金刚石薄膜拉曼光谱
- 射频、直流磁控溅射和多弧离子镀沉积类金刚石薄膜的拉曼光谱分析被引量：1
- 2008年
- 用射频、直流磁控溅射和多弧离子镀制备一系列类金刚石(DLC)薄膜样品,并测量了样品的拉曼光谱。通过数据分析发现三种沉积方式中多弧离子镀沉积得到的薄膜含有更高的sp3含量。采用多弧离子镀设备,在不同的溅射负偏压下沉积了一系列的DLC薄膜样品,对样品进行拉曼光谱测试,通过对比分析发现随着沉积负偏压的提高,薄膜内sp3的含量不断提高。表明可以通过提高多弧离子镀的负偏压来提高DLC薄膜的质量。
- 赖起邦
- 关键词：类金刚石拉曼光谱
