许嘉俊
- 作品数：30 被引量：32H指数：3
- 供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
- 发文基金：国防科技技术预先研究基金更多>>
- 相关领域：理学机械工程电子电信自动化与计算机技术更多>>
- 一种检测小孔衍射球面波光学面形的检测装置
- 本发明提供一种检测小孔衍射球面波光学面形的检测装置及方法，从激光器发射的光经过滤波孔、聚光镜、空间滤波器、扩束镜、λ/2波片、λ/4波片、半透半反镜后分成两路光，经过半透半反镜反射的第一路光照射第一小孔，第二路光经过半透...
- 贾辛许嘉俊邢廷文
- 文献传递
- 一种用于装调或检测光学元件的计算机生成全息元件
- 本发明提供一种用于装调或检测光学元件的计算机生成全息元件，其包含了一个或多个功能区域，不同功能区域为不同的光栅结构，它们分别是透射主全息区域（301）、反射对准全息区域（302）、基准全息区域（303）和投射全息区域（3...
- 邓超冯婕邢廷文许嘉俊
- 文献传递
- 一种方形基片夹持装置
- 本发明提供一种方形基片夹持装置，用于在方形基片表面旋转涂覆流动介质。该装置包括固定基片座和辅助定位盘。所述固定基片座底部为传动件，用于该装置与电机旋转轴之间的传动连接。传动件连接带有通孔的圆形托盘，圆形托盘上有定位台阶，...
- 许嘉俊贾辛刘志祥胡廷辉雷茸粮
- 光刻投影物镜最佳焦面检测装置及方法
- 本公开提供了一种光刻投影物镜最佳焦面检测装置及方法，其装置包括：照明装置、分光装置、透镜阵列、掩模板、反射器件、光电探测装置和控制器；照明装置产生准直的光束，经分光装置透射，透镜阵列聚焦至掩模板进行空间滤波至光刻投影物镜...
- 许嘉俊刘志祥邢廷文林妩媚
- 一种利用小孔衍射波进行待测件定位的装置及方法
- 本发明公开了一种利用小孔衍射波进行待测件定位的装置及方法，该装置中从激光器发射的光经过滤波孔、第一聚光镜、空间滤波器、扩束镜、λ/2波片、λ/4波片、经过衰减片后经照射到待测件侧面掩模版，掩模版包含小孔或小孔阵列，小孔周...
- 贾辛许嘉俊邢廷文
- 光刻投影物镜波像差与最佳焦面的检测方法
- 本发明提供一种光刻投影物镜波像差与最佳焦面的检测方法，所述方法首先测量光刻投影物镜若干视场点两个不同焦面位置的波像差，再将各视场点波像差拟合为多项式组合。通过分析拟合多项式各项系数随焦面位置变化的特性，计算出各视场点的最...
- 许嘉俊刘志祥邢廷文林妩媚
- 文献传递
- 一种对衍射孔的定位装置和定位方法
- 本发明公开了一种对衍射孔的定位装置和定位方法，定位装置包括聚透镜、衍射板、探测器、计算机和调整机构，其中：在聚透镜和探测器之间放置衍射板，入射光束经过聚透镜后在衍射板上形成聚焦斑，若聚焦斑落在衍射板的可透光区域，则在探测...
- 徐富超许嘉俊邢廷文
- 文献传递
- 一种检测小孔衍射球面波光学面形的检测装置及方法
- 本发明提供一种检测小孔衍射球面波光学面形的检测装置及方法，从激光器发射的光经过滤波孔、聚光镜、空间滤波器、扩束镜、λ/2波片、λ/4波片、半透半反镜后分成两路光，经过半透半反镜反射的第一路光照射第一小孔，第二路光经过半透...
- 贾辛许嘉俊邢廷文
- 一种显影装置及方法
- 本发明提供一种显影装置及方法，包括显影槽、储存槽和温度控制单元。显影过程中，显影槽进液管阀门开启，循环泵从储存槽中抽取显影液进入显影槽，使显影液逐渐覆盖待显影基片。当液面到达溢流管后，显影液从溢流管回到储存槽，并在显影槽...
- 许嘉俊贾辛刘志祥胡廷辉雷茸粮
- 三轴离子束抛光系统驻留时间算法被引量：7
- 2012年
- 在光学离子束抛光工艺中,驻留时间求解是一个关键问题。多数驻留时间求解算法要求离子束在工件表面的材料去除速率在加工过程中保持不变。然而,离子束在工件表面的材料去除速率与离子束入射角度有关。为此,在加工曲面工件时,通常采用精密五轴联动运动平台对离子源的运动及姿态进行实时控制,使得在加工曲面工件时离子束相对工件表面的入射角度始终保持不变,从而保证去除函数在整个离子束抛光过程中保持不变。提出了一种基于仿真加工的迭代驻留时间求解算法,在求解驻留时间的过程中考虑到入射角度带来的去除速率变化,从而使得在离子束抛光系统中只需采用三轴运动控制平台对离子源的运动进行控制,而不再需要对离子源的姿态进行实时控制。入射角度与去除速率曲线可以事先通过实验测得。与五轴运动平台相比,三轴平台更稳定、经济且易于控制。仿真结果表明,算法在三轴离子束抛光系统中具有较好的适用性。
- 李云邢廷文许嘉俊徐富超倪磊
- 关键词：光学加工
