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翟厚明

作品数：25 被引量：23H指数：2
供职机构：中国科学院上海技术物理研究所更多>>
发文基金：中国航空科学基金更多>>
相关领域：电子电信航空宇航科学技术文化科学更多>>

合作作者

文献类型

  • 14篇专利
  • 7篇会议论文
  • 4篇期刊文章

领域

  • 11篇电子电信
  • 1篇航空宇航科学...
  • 1篇文化科学

主题

  • 13篇红外
  • 8篇探测器
  • 8篇红外探测
  • 8篇红外探测器
  • 7篇电路
  • 7篇读出电路
  • 7篇非制冷
  • 7篇非制冷红外
  • 7篇非制冷红外探...
  • 5篇牺牲层
  • 4篇致冷
  • 4篇衬底
  • 3篇电流镜
  • 3篇电阻
  • 3篇电阻阵列
  • 3篇针尖
  • 3篇神经元
  • 3篇互连
  • 3篇工艺方法
  • 3篇硅衬底

机构

  • 25篇中国科学院
  • 1篇上海大学
  • 1篇中国科学院大...

作者

  • 25篇翟厚明
  • 18篇马斌
  • 16篇张学敏
  • 16篇程正喜
  • 10篇施永明
  • 8篇陈永平
  • 6篇陈世军
  • 6篇袁红辉
  • 4篇刘强
  • 3篇庄佚溦
  • 2篇丁毅
  • 2篇郭中原
  • 2篇陈瑶
  • 1篇金晶
  • 1篇邱宇峰

传媒

  • 3篇红外与激光工...
  • 1篇激光与红外
  • 1篇第九届成像光...

年份

  • 1篇2023
  • 1篇2017
  • 2篇2015
  • 5篇2014
  • 1篇2013
  • 5篇2012
  • 4篇2011
  • 2篇2010
  • 2篇2009
  • 2篇2008
共 25 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种疏松化聚酰亚胺红外吸收薄膜的制备方法
本发明公开了一种疏松化聚酰亚胺红外吸收薄膜的制备方法。聚酰亚胺薄膜由光敏型聚酰亚胺树脂旋涂在基底表面，经亚胺化后获得；亚胺化使聚酰亚胺薄膜与基底形成良好粘附；采用光刻、显影工艺使聚酰亚胺在像元表面成型；疏松化通过腐蚀并去...
翟厚明马斌程正喜张学敏
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一种以锡为牺牲层的微机械结构器件制备方法
本发明公开了一种以锡为牺牲层的微机械结构器件制备方法。该方法以锡为牺牲层，采用加热基底熔化锡的方法实现牺牲层表面平坦化；采用湿法腐蚀方法腐蚀锡牺牲层，使牺牲层成形；在牺牲层表面制作各种微机械结构图形后，将基底置于干冰液体...
翟厚明马斌程正喜张学敏
热导可变的高速微测辐射热计
给出一种高速的测辐射热计的原型结构。该结构结合RF MEMS开关和常规非致冷微桥结构,吸收桥面同时也是RF MEMS开关的上电极,衬底上的反射镜同时也是RF MEMS开关的下电极。吸收辐射阶段,桥面由热导很小的细长桥腿支...
程正喜马斌张学敏翟厚明施永明
关键词：微测辐射热计非致冷焦平面相关双采样射频开关
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混成式三维神经元探针阵列
本发明公开了一种混成式三维神经元探针阵列，它包括：信号读出电路衬底，与所述信号读出电路衬底倒焊互连的探针阵列；所述探针阵列的每个探针包括：针尖，针身，以及针底座；相邻探针之间的针底座之间相互分离；相邻所述探针的所述针底座...
程正喜庄佚溦张学敏翟厚明施永明马斌
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TCR矫正对非制冷探测器微桥热导测试的影响
2014年
VO2薄膜的电阻温度系数TCR(Temperature Coefficient of Resistance,用α表示)随温度改变会发生显著变化。因此,以VO2薄膜为热敏材料的非制冷探测器微桥像元采用1/R—(-αI2)曲线来测量微桥热导时,如果使用固定TCR数值,必然会对测量结果带来偏差。本文采用TCR逐点矫正的方法测量了非制冷微桥热导,并分析了有效热导,实验中的最大热导矫正率达到20.08%。采用本方法可使非制冷探测器微桥的热导测试结果更为准确,也更具有实际应用价值。
邱宇峰金晶翟厚明
关键词：电阻温度系数
薄膜转移工艺中快速释放牺牲层的方法
本发明公开了一种薄膜转移工艺中快速释放牺牲层的方法，通过划片机在微桥阵列背面划出深槽，达到快速去除牺牲层目的。本发明工艺方法大大减少牺牲层的释放时间，避免采用常规牺牲层释放过程因时间过程太长出现的问题，进一步完善薄膜转移...
程正喜马斌翟厚明施永明张学敏
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国产电阻阵列的发展:历史、现状和未来技术探讨
本文回顾和总结了国产电阻阵列三个发展阶段的主要技术方案、优缺点和最终结果。第一代64×64电阻阵列采用了体材料微机械加工的单晶硅薄膜微型电阻，电阻成品率较高但与CMOS工艺不兼容、均匀性差、功耗大、占空比极低、规模小;第...
马斌程正喜翟厚明郭中原刘强张学敏丁毅陈瑶
关键词：红外器件电阻阵列CMOS工艺
快速释放边长毫米级的大面积薄膜的工艺方法
本发明公开了一种快速释放边长毫米级的大面积薄膜的工艺方法，本发明通过先腐蚀牺牲层来增大衬底和腐蚀剂的接触面积，提高衬底的腐蚀速率，来快速架空所需的薄膜，特别是面积较大的薄膜，例如边长为毫米级的薄膜。该方法可用于快速释放红...
程正喜马斌翟厚明施永明张学敏
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一种混成式三维神经元探针阵列结构
本专利公开了一种混成式三维神经元探针阵列结构，它包括：信号读出电路衬底，与所述信号读出电路衬底倒焊互连的探针阵列；所述探针阵列的每个探针包括：针尖，针身，以及针底座；相邻探针之间的针底座之间相互分离；相邻所述探针的所述针...
程正喜庄佚溦张学敏翟厚明施永明马斌
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一种电流镜方式的非制冷红外探测器读出电路
本发明公开了一种电流镜方式的非制冷红外探测器读出电路，该电路为CTIA读出电路，输入电路采用电流镜方式，电流镜布局在线列电路的左右两端，电流镜地线采用宽度大于100微米的金属线，电流镜调节端设计有粗调和微调两个调节端口；...
袁红辉陈永平陈世军翟厚明
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