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沈雷瑾
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上海大学机电工程与自动化学院机械自动化工程系
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理学
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侯利程
上海大学机电工程与自动化学院机...
刘谨
上海大学机电工程与自动化学院机...
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2006全国...
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硅微机械动平板表面粘附阻力
以MEMS动平板模型为研究对象,建立了微间隙动平板表面粘附阻力的理论模型,利用界面化学中表面能和粘附功的概念,推导出了光滑平板和开孔平板的表面粘附阻力公式,并探讨了影响表面粘附阻力的诸多因素.在此基础上还设计了拉簧-平板...
沈雷瑾
侯利程
刘谨
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表面能
界面化学
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