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江文龙

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：广东工业大学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文专利

主题

  • 1篇识别方法
  • 1篇投影光刻
  • 1篇投影光刻系统
  • 1篇紫外激光
  • 1篇物象
  • 1篇模式识别
  • 1篇模式识别方法
  • 1篇激光
  • 1篇激光器
  • 1篇光刻
  • 1篇光刻系统
  • 1篇硅片
  • 1篇分子激光器

机构

  • 1篇广东工业大学

作者

  • 1篇雷亮
  • 1篇江文龙
  • 1篇魏威
  • 1篇周金运
  • 1篇陈丽

年份

  • 1篇2012
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
一种大面积投影光刻系统
本实用新型是一种大面积投影光刻系统。本实用新型大面积投影光刻系统，包括准分子激光器、照明系统、平移台、掩模板、投影系统、硅片基板，其中掩模板及硅片基板分别装设在平移台的两端，准分子激光器通过照明系统进行光路调制与光束质量...
雷亮周金运陈丽魏威江文龙
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