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武凌祺

作品数：3 被引量：0H指数：0
供职机构：清华大学更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇专利
  • 1篇学位论文

主题

  • 3篇扭摆
  • 3篇扭摆式
  • 2篇调制
  • 2篇阳极键合
  • 2篇阻尼
  • 2篇阻尼孔
  • 2篇敏感器
  • 2篇键合
  • 2篇高频调制
  • 2篇玻璃基
  • 1篇电容检测
  • 1篇MEMS
  • 1篇MICRO
  • 1篇MAGNET...

机构

  • 3篇清华大学

作者

  • 3篇武凌祺
  • 2篇尤政
  • 2篇阎梅芝
  • 2篇任大海
  • 2篇戴震宇

年份

  • 1篇2011
  • 2篇2009
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
一种扭摆式微型磁敏感器
本发明公开了传感器制造技术领域中的一种扭摆式微型磁敏感器。技术方案是，扭摆式微型磁敏感器包括表头芯片和检测控制电路；表头芯片由低阻硅片和玻璃基底键合而成；检测控制电路包括高频调制模块、一次同步解调模块、锁相环、二次同步解...
任大海尤政武凌祺阎梅芝戴震宇
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微型扭摆式磁敏感器研究
武凌祺
关键词：MEMS扭摆电容检测
一种扭摆式微型磁敏感器
本发明公开了传感器制造技术领域中的一种扭摆式微型磁敏感器。技术方案是，扭摆式微型磁敏感器包括表头芯片和检测控制电路；表头芯片由低阻硅片和玻璃基底键合而成；检测控制电路包括高频调制模块、一次同步解调模块、锁相环、二次同步解...
任大海尤政武凌祺阎梅芝戴震宇
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