李昆
- 作品数:9 被引量:9H指数:2
- 供职机构:昆明冶研新材料股份有限公司更多>>
- 相关领域:电子电信理学金属学及工艺更多>>
- 硅芯制备技术及对沉积多晶硅棒杂质的影响被引量:4
- 2016年
- 本文介绍了改良西门子法多晶硅生产中的硅芯制备技术,包括区熔法硅芯制备技术和切割法硅芯制备技术。简要介绍了两种硅芯制备技术的工艺流程,并对两种不同技术路线制备硅芯过程中的杂质分凝、挥发及坩埚污染进行了比较。根据分析结果,采用区熔硅芯能在一定程度上降低硅芯对硅棒的杂质贡献。
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- 多晶硅直拉棒切割制备硅芯工艺研究及应用
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- 主要技术内容:硅芯是生产多晶硅时还原炉内作为电阻加热和沉积核心的细硅棒。国内外主流的硅芯制备工艺主要是区熔拉制法,该工艺存在原料棒要求高、产品尺寸精度差、生产率较低等问题。该项目在业内独创采用了直拉棒切割制备硅芯工艺。该...
- 关键词:
- 关键词:多晶硅
- 定向凝固法制备铸造多晶硅技术现状及发展综述被引量:3
- 2014年
- 光生伏特效应是将太阳能转化为电能的重要途径之一。提高电池效率和降低生产成本,是光伏产业大规模发展面临的核心课题。铸造多晶硅技术因其相对低的生产成本和较高的转化效率,市场份额迅速增长。对定向凝固法制备铸造多晶硅的工艺原理进行了简介,对铸造多晶硅制备技术的发展进行了回顾,并对当前的准单晶铸造、计算机模拟、高效多晶等研究热点的发展现状进行了综述。
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- 关键词:计算机模拟
- 一种含硅粉废水的过滤净化处理方法
- 本发明主要用于一种含硅粉废水的过滤净化处理,装置利用厢式压滤机,添加珍珠岩或硅藻土絮凝剂压滤净化含硅废水的处理方法,系统由厢式压滤机机组、渣浆泵、珍珠岩或硅藻土清水混合箱和搅拌机构成过滤系统,主要工艺步骤包括:添加珍珠岩...
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- 文献传递
- 直拉硅单晶制备中来自于石英坩埚的受主杂质污染定量分析被引量:2
- 2016年
- 半导体硅单晶制备中一般要求掺入一定量的杂质以控制其电阻率。但是,由于坩埚受熔体侵蚀引入杂质污染,影响硅棒的实际电阻率,降低产品合格率。特别对于连续拉晶过程中,长时间的熔体侵蚀造成硅棒尾部杂质含量急剧升高。讨论了由于石英坩埚中受主杂质污染对硅单晶棒电学性能的影响,并对杂质渗入量进行了定量分析。结果表明,随着晶体生长时间的延长,石英坩埚的Ba涂层被破坏,杂质的渗入速率快速增加。试验中杂质总渗入量超过700μg。
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- 关键词:硅单晶电阻率
- 用于制作化学气相沉积生长多晶硅的硅芯专用切割设备
- 本实用新型涉及的一种<B>用于制作化学气相沉积生长多晶硅的硅芯专用切割设备</B>。属新能源及新材料技术领域。本实用新型将多晶硅棒料安装固定在金刚石外圆切割机中,同时对多根多晶硅棒料进行切割制取硅芯,先将多晶硅棒料切割成...
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- 文献传递
- 用于制作化学气相沉积生长多晶硅的硅芯专用切割设备及加工方法
- 本发明涉及的一种用于制作化学气相反应沉积生长多晶硅的硅芯专用金刚石外圆切割机及其加工方法。属新能源及新材料技术领域。本发明将多晶硅棒料安装固定在金刚石外圆切割机中,同时对多根多晶硅棒料进行切割制取硅芯,先将多晶硅棒料切割...
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- 用于制作化学气相沉积生长多晶硅的硅芯专用切割设备及加工方法
- 本发明涉及的一种用于制作化学气相反应沉积生长多晶硅的硅芯专用金刚石外圆切割机及其加工方法。属新能源及新材料技术领域。本发明将多晶硅棒料安装固定在金刚石外圆切割机中,同时对多根多晶硅棒料进行切割制取硅芯,先将多晶硅棒料切割...
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- 一种含硅粉废水的过滤净化处理方法
- 本发明主要用于一种含硅粉废水的过滤净化处理,装置利用厢式压滤机,添加珍珠岩或硅藻土絮凝剂压滤净化含硅废水的处理方法,系统由厢式压滤机机组、渣浆泵、珍珠岩或硅藻土清水混合箱和搅拌机构成过滤系统,主要工艺步骤包括:添加珍珠岩...
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