时伯荣
- 作品数：3 被引量：4H指数：1
- 供职机构：山东大学物理学院物理系更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家教育部博士点基金更多>>
- 相关领域：理学更多>>
- MeV重离子在固体靶中的平均投影射程计算
- 1992年
- 根据Biersack角扩散模型,建立了计算MeV重离子在固体靶中的平均投影射程的方法。与新近发表的1.0MeV的In^+,Xe^+,Ta^+和1.0—2.0MeV的Pb^+在Si中的平均投影射程实验数据相比,本文计算值与实验值的最大偏离为8％,而Monte-Carlo(TRIM′86)和PRAL的计算值与实验值的最大偏离分别为23％和22％。这表明本文的计算在预言1.0—2.0MeV的重离子(In^+,Xe^+,Ta^+和 Pb^+)在固体靶(Si)中的平均投影射程是相当成功的。
- 王克明时伯荣曲保东王忠烈
- 关键词：离子注入高能
- 重离子在固体靶中的纵向和横向分布参数的计算
- 用离子束技术来改变固体表面及近表面层的性质是近代科学史上的一个重要发现。六十年代以来,离子束技术已成功地用于大规模集成电路,超大规模集成电路以及化合物半导体器件。随着科学技术的发展。离子注入已由半导体领域进入其它领域,如...
- 王克明时伯荣
- 文献传递
- Er注入Si的芦瑟夫背散射和发光研究被引量：4
- 1994年
- 用芦瑟夫背散射（ＲＢＳ）和光致发光（ＰＬ）研究了Ｅｒ注入Ｓｉ的退火性质。ＲＢＳ分析表明，退火时，损伤层再结晶的同时伴随着Ｅｒ向表面迁移。退火后，Ｅｒ浓度峰的深度与表面剩余损伤层的深度是一致的。Ｅｒ在Ｓｉ中主要占据非替位。大量间隙Ｅｒ的存在延缓了损伤层的再结晶。在７７Ｋ观察到了与Ｅｒ有关的位于１．５４６μｍ的ＰＬ。
- 李仪李菊生金亿鑫时伯荣蒋红翟宏营刘学彦刘向东
- 关键词：发光铒离子注入卢瑟福背散射
