2024年8月28日
星期三
|
欢迎来到维普•公共文化服务平台
登录
|
进入后台
[
APP下载]
[
APP下载]
扫一扫,既下载
全民阅读
职业技能
专家智库
参考咨询
您的位置:
专家智库
>
>
张罗莎
作品数:
85
被引量:7
H指数:1
供职机构:
中国科学院光电研究院
更多>>
相关领域:
自动化与计算机技术
一般工业技术
文化科学
理学
更多>>
合作作者
罗艳
中国科学院光电研究院
吴晓斌
中国科学院光电研究院
王魁波
中国科学院光电研究院
陈进新
中国科学院光电研究院
王宇
中国科学院光电研究院
作品列表
供职机构
相关作者
所获基金
研究领域
题名
作者
机构
关键词
文摘
任意字段
作者
题名
机构
关键词
文摘
任意字段
在结果中检索
文献类型
84篇
专利
1篇
期刊文章
领域
4篇
自动化与计算...
2篇
一般工业技术
2篇
文化科学
1篇
金属学及工艺
1篇
电子电信
1篇
理学
主题
17篇
密封
15篇
分压
13篇
辐照
12篇
质谱
12篇
质谱计
12篇
紫外
12篇
紫外辐照
10篇
液滴
10篇
紫外光刻
10篇
金属
10篇
光刻
10篇
法兰
9篇
真空
9篇
质谱仪
9篇
散热
9篇
碎屑
9篇
漏率
9篇
极紫外
7篇
光源
6篇
真空密封
机构
85篇
中国科学院光...
作者
85篇
王魁波
85篇
张罗莎
85篇
吴晓斌
85篇
罗艳
75篇
陈进新
67篇
王宇
26篇
周翊
18篇
崔惠绒
9篇
张立佳
1篇
徐向宇
1篇
张鑫
1篇
王宇
传媒
1篇
真空科学与技...
年份
3篇
2023
1篇
2021
4篇
2019
13篇
2018
13篇
2017
20篇
2016
9篇
2015
11篇
2014
11篇
2013
共
85
条 记 录,以下是 1-10
全选
清除
导出
排序方式:
相关度排序
被引量排序
时效排序
一种真空密封性能测量装置及方法
本发明公开了一种真空密封性能测量装置及方法,该装置包括第一标准漏孔(1)、第二标准漏孔(2)、第三标准漏孔(3)、吸气剂泵(4)、密封容器(5)、角阀(6)、限流小孔(7)、分子泵组(8)、第一干式机械泵(9)、插板阀(...
吴晓斌
张罗莎
王魁波
陈进新
罗艳
谢婉露
周翊
王宇
崔惠绒
一种动态气体锁
本发明公开了一种动态气体锁,用于阻止第二腔室内的物质进入第一腔室,所述动态气体锁包括一两端开口的筒身,筒身具有一宽口端和一窄口端,所述宽口端连接所述第一腔室,所述窄口端连接所述第二腔室;所述筒身上还开有多个喷口,该多个喷...
陈进新
王魁波
王宇
吴晓斌
谢婉露
张罗莎
罗艳
文献传递
一种真空环境中的矩形密封装置和密封方法
本发明公开了一种真空环境中的矩形密封装置和密封方法,该装置包括矩形上法兰(1)、矩形下法兰(2)、矩形密封盒体(3)、矩形整体轮廓的密封结构(4)、压紧螺钉(5)、待密封系统安装螺钉(6)、矩形截面待密封系统(7),其中...
吴晓斌
张罗莎
王魁波
陈进新
罗艳
谢婉露
周翊
王宇
崔惠绒
真空密封件分压漏率测量装置
本实用新型公开了一种真空密封件分压漏率测量装置,该测量装置包括超高真空室(2)、测试室(6)、样品室(7),超高真空室(2)与测试室(6)通过小孔(4)相连通,测试室(6)通过气体管道(14)与样品室(7)相连接。第一抽...
王魁波
吴晓斌
王宇
陈进新
张罗莎
罗艳
谢婉露
文献传递
一种电子系统的自散热结构
本发明公开了一种电子系统的自散热结构,包括电子系统、密封底板,其中,所述电子系统包括金属基板和电子元器件,所述金属基板上表面布线、焊接所述电子元器件,所述金属基板下表面加工出弯曲的冷却槽,所述冷却槽外侧加工单层或者双层密...
吴晓斌
张罗莎
王魁波
陈进新
罗艳
谢婉露
周翊
王宇
崔惠绒
文献传递
多元合金薄膜的制备装置及其制备方法
本发明涉及多元合金薄膜的制备装置及其制备方法,制备装置包括连接有真空泵组的腔室、多个用于盛放高纯金属液的金属液容器、用于放置沉积基片的可转动基座、多个产生双脉冲激光的激光器组、基座控制器和数据采集控制单元,数据采集控制单...
吴晓斌
罗艳
王宇
王魁波
谢婉露
张罗莎
张立佳
一种电子学系统的真空密封散热装置
本实用新型公开了一种电子学系统的真空密封散热装置,用于电子学系统中电子学系统的真空密封散热,该装置包括上法兰(1)、电子学系统(4)、下法兰(8),其中,上法兰(1)上开有第一密封槽(3),下法兰(8)上开有双密封槽结构...
张罗莎
王魁波
吴晓斌
陈进新
罗艳
谢婉露
周翊
王宇
文献传递
一种极紫外辐照损伤测试设备
本实用新型公开了一种极紫外辐照损伤测试设备,EUV光源室用于容纳EUV光源,EUV光源用于辐射出宽谱近软X射线;滤波片室用于放置滤波片,滤波片用于将宽谱近软X射线滤波成窄谱EUV辐照;收集镜室用于放置收集镜,收集镜用于将...
陈进新
吴晓斌
谢婉露
张罗莎
罗艳
王魁波
文献传递
一种材料分压放气率测量装置
本实用新型公开了一种材料分压放气率测量装置,装置包括抽气泵组、超高真空室、两个测试室、两个质谱计、两个角阀和样品室,抽气泵组用于对超高真空室抽真空,样品室用于放置样品,两个测试室分别通过小孔与超高真空室连接,两个质谱计分...
王魁波
吴晓斌
王宇
陈进新
罗艳
谢婉露
张罗莎
文献传递
一种聚合物辐照损伤测试装置
本实用新型公开了一种聚合物辐照损伤的测试装置,所述装置包括相互独立的光源室、光路室和样品室;所述光路室内设置有光路传输部件和光学检测部件;所述光路传输部件包括:光束衰减器、匀束器、快门、聚焦透镜、第一分束镜和第二分束镜;...
罗艳
吴晓斌
周翊
陈进新
王魁波
谢婉露
张罗莎
全选
清除
导出
共9页
<
1
2
3
4
5
6
7
8
9
>
聚类工具
0
执行
隐藏
清空
用户登录
用户反馈
标题:
*标题长度不超过50
邮箱:
*
反馈意见:
反馈意见字数长度不超过255
验证码:
看不清楚?点击换一张