张强
- 作品数：2 被引量：2H指数：1
- 供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家科技重大专项更多>>
- 相关领域：电子电信理学机械工程更多>>
- 耦合波分析中任意二维光栅介电常数的傅里叶分析
- 2013年
- 严格耦合波分析(RCWA)法在测量二维周期光栅的关键尺寸(CD)和获得其剖面结构中有着较为广泛的应用。在这个应用过程中需要对二维光栅周期单元的相对介电常数分布表达式进行傅里叶级数展开,而在以往的研究中只提出了几种规则光栅的傅里叶系数求解公式,从而使得能够应用RCWA方法进行衍射分析的光栅在形状方面受到了一定的限制。针对这一局限,运用矩形网格细分的方法得到了计算二维周期光栅的相对介电常数傅里叶系数的通用公式,它能够对任意形状的二维周期光栅相对介电常数分布进行傅里叶级数展开,并运用于衍射问题的RCWA方法分析之中。
- 张强熊伟荣健
- 关键词：光栅傅里叶系数介电常数衍射
- 非制冷热敏二极管型红外焦平面阵列电压温度系数的分析与优化（英文）被引量：2
- 2018年
- 灵敏度是非制冷热敏二极管型红外焦平面阵列（IRFPA）的一项重要性能指标。二极管结构的电压温度系数（VTC）对灵敏度有很大的影响。分析了二极管结构的设计参数和工艺参数对其电压温度系数的影响,仿真结果表明二极管的串联个数和pn结结面积是两项重要因素。因此,设计出6个串联＂阱＂形pn结的二极管结构,并对具有该结构的热敏二极管型红外焦平面阵列进行了流片。测试结果表明,在10μA正向偏置电流下,二极管结构的电压温度系数为8.2 mV/K,单个像素的灵敏度为19.1μV/K。不同结面积结构的测试结果表明,增加结面积能有效提升二极管结构的电压温度系数和灵敏度。
- 张强张强吕文龙刘瑞文魏德波侯影薛惠琼傅剑宇王玮冰
- 关键词：PN结二极管
