孙凤玲
- 作品数：4 被引量：7H指数：2
- 供职机构：中华人民共和国工业和信息化部更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术机械工程更多>>
- 二线制带隔离膜片的扩散硅液位变送器被引量：4
- 2001年
- 由于液位与液体静压力有关 ,因此可以通过静压力测量得到液位的大小。二线制隔离膜片扩散硅液位变送器是利用单晶硅的压阻效应 ,通过电阻的变化 ,得到静压力的大小 ,再通过惠斯登电桥及功能模块电路将静压力转换成电流信号输出 ,从而建立起输出信号与液位的线性对应关系 ,实现对液体深度的测量。还介绍了该种变送器的基本结构。
- 李瑞李丹齐虹田雷王善慈孙凤玲
- 关键词：变送器液位测量扩散硅压力传感器密封
- 集成化触觉阵列传感器的研制被引量：3
- 2001年
- 介绍了一种集成化单晶硅触觉阵列传感器。该传感器共有 10 0个触觉单元 ,芯片尺寸为 2 5mm×2 5mm ,厚度小于 10mm。在制造工艺上 ,把CMOS工艺和半导体平面工艺融为一体 ,利用MEMS技术在每个触觉单元上制造了触觉受力点 ,易于感受所触物体 ,其测试、记录过程由计算机完成。该种传感器具有一定的开发价值和应用前景。
- 田雷孙凤玲寇文兵
- 关键词：机器人单晶硅传感器CMOS
- 多晶硅应变计及其应用
- 本文介绍了一种适用于特殊环境进行高温测量的多晶硅应变计以及粘贴方法,并进行了性能测试。该种应变计已用于检测电站锅炉焊缝的牢固程度,效果较为理想。
- 孙凤玲田雷王善慈
- 关键词：多晶硅应变计粘接
- 文献传递
- 集成化触觉传感器阵列
- 本文介绍了一种集成化单晶硅触觉阵列传感器。该传感器共有100个触觉单元,芯片尺寸为25mm×25mm。厚度小于10mm。在制造工艺上,把CMOS工艺和半导体平面工艺相兼容,利用MEMS技术在每个触觉单元上制造了触觉受力点...
- 田雷孙凤玲寇文兵
- 关键词：单晶硅
- 文献传递
