您的位置： 专家智库 > >

周相杰

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：中国电子科技集团公司第五十五研究所更多>>
相关领域：轻工技术与工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文专利

领域

  • 1篇轻工技术与工...

主题

  • 2篇定位夹具
  • 2篇圆片
  • 2篇丝网印刷
  • 2篇微电子
  • 2篇微电子技术
  • 2篇晶圆
  • 2篇晶圆片
  • 2篇夹具
  • 2篇光刻
  • 2篇光刻机
  • 2篇厚膜
  • 2篇厚膜技术

机构

  • 2篇中国电子科技...

作者

  • 2篇贾世星
  • 2篇周相杰
  • 2篇吴璟
  • 2篇朱健

年份

  • 1篇2011
  • 1篇2010
共 2 条 记 录，以下是 1-2
全选 清除 导出
排序方式：
利用接触式光刻机提高丝网印刷精确对准装置及其方法
本发明是一种利用接触式光刻机提高丝网印刷精确对准装置及其方法，光刻时，将装有丝网印刷掩膜图形的定位夹具框插入到接触式光刻机里，通过辅助垫片调节高度，设置压缩空气将承片台向上运动，并通过传感感应实现X-Y-Z光刻预定位，通...
朱健周相杰贾世星吴璟
利用接触式光刻机提高丝网印刷精确对准装置及其方法
本发明是一种利用接触式光刻机提高丝网印刷精确对准装置及其方法，光刻时，将装有丝网印刷掩膜图形的定位夹具框插入到接触式光刻机里，通过辅助垫片调节高度，设置压缩空气将承片台向上运动，并通过传感感应实现X-Y-Z光刻预定位，通...
朱健周相杰贾世星吴璟
文献传递
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0