华一磊
- 作品数：8 被引量：0H指数：0
- 供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
- 相关领域：理学电子电信机械工程更多>>
- 具有准单级聚焦特性的梯形波带片（英文）
- 2017年
- 为改进用于X射线聚焦的二值化Gabor波带片目前所存在的结构复杂、不利于加工制作的问题,在不改变梯形透过率函数的前提下,通过将传统的梯形孔基元变为平行四边形基元应用于波带片的设计之中,提出了一种聚焦效率更高的具有准单级聚焦特性的波带片。理论推导显示,该波带片除了像Fresnel波带片一样能够消除偶数级的焦点外,还可以消除3q级(q为整数)的焦点,1/m^4(m为焦点级数)的效率衰减系数也使得高级衍射得到了很好的抑制。MATLAB数值模拟的结果证明,该波带片的特性不仅满足以上推论,还具有比Fresnel波带片和环带扇形基元阵列波带片更低的背景噪声,可以看作是一种准单级聚焦的新型波带片。此外,在同一波带内,这种基于平行四边形基元孔的波带片设计的透光区始终保持各处的径向宽度为该波带的一半,且扇区结构简单一致,能够降低不少加工难度,易于推广应用。
- 彭倩范全平王心怡魏来张强强华一磊易有根曹磊峰
- 关键词：衍射效率
- 复合光子筛投影式光刻系统
- 本发明涉及微纳加工技术领域，公开了一种复合光子筛投影式光刻系统，该系统包括依次放置的照明系统、掩模板、复合光子筛和衬底，其中：照明系统，用于产生入射光，并将该入射光照射至掩模板；掩模板，用于提供复合光子筛成像的物方，入射...
- 谢常青高南华一磊朱效立李海亮史丽娜李冬梅刘明
- 反射式单级衍射光栅及其制造方法
- 本发明提供一种反射式单级衍射光栅及其制造方法。所述反射式单级衍射光栅在基底上随机分布光栅图形，所述光栅图形为由两层材料组成的深槽结构，所述深槽结构的下层材料为硅基底，上层材料为高反射率膜层，所述深槽结构的深度和宽度之比值...
- 朱效立谢常青刘明牛洁斌华一磊施百龄
- 文献传递
- 一种纳米阵列结构件、制备方法以及光电器件
- 本发明公开了一种纳米阵列结构件、制备方法以及光电器件，纳米阵列结构件包括衬底；所述衬底上加工有两种阵列层，所述两种阵列层的尺寸不同，所述两层阵列孔叠加设置于所述衬底表层，构成金属辅助化学刻蚀孔阵列层。本发明提供的纳米阵列...
- 郑君华一磊谢常青
- 复合光子筛投影式光刻系统
- 本发明涉及微纳加工技术领域，公开了一种复合光子筛投影式光刻系统，该系统包括依次放置的照明系统、掩模板、复合光子筛和衬底，其中：照明系统，用于产生入射光，并将该入射光照射至掩模板；掩模板，用于提供复合光子筛成像的物方，入射...
- 谢常青高南华一磊朱效立李海亮史丽娜李冬梅刘明
- 文献传递
- 厚体硅反射式单级衍射光栅的制作方法
- 本发明提供一种厚体硅反射式单级衍射光栅的制作方法。所述方法是先利用电子束直写光刻制备薄硅反射式单级衍射光栅，再利用晶圆低温键合工艺，把薄硅反射式单级衍射光栅与厚体硅键合，形成厚体硅反射式单级衍射光栅。本发明解决了现有技术...
- 朱效立施百龄谢常青华一磊
- 文献传递
- 脉冲电镀金的方法及形成的金镀层
- 本发明提供一种脉冲电镀金的方法及形成的金镀层。所述方法包括：采用亚硫酸金盐溶液作为电镀液；采用镀铂金的钛网作为阳极；将制备有金种子层的衬底作为阴极，所述制备有金种子层的衬底上形成有电镀区域图像；在所述阳极和所述阴极之间施...
- 朱效立谢常青华一磊李海亮刘明施百龄
- 文献传递
- 厚体硅反射式单级衍射光栅的制作方法
- 本发明提供一种厚体硅反射式单级衍射光栅的制作方法。所述方法是先利用电子束直写光刻制备薄硅反射式单级衍射光栅，再利用晶圆低温键合工艺，把薄硅反射式单级衍射光栅与厚体硅键合，形成厚体硅反射式单级衍射光栅。本发明解决了现有技术...
- 朱效立施百龄谢常青华一磊
