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凌贵

作品数:5 被引量:16H指数:2
供职机构:华南理工大学更多>>
发文基金:广东省科技计划工业攻关项目广东省自然科学基金更多>>
相关领域:文化科学化学工程电子电信更多>>

文献类型

  • 4篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 3篇文化科学
  • 1篇化学工程
  • 1篇电子电信

主题

  • 2篇金刚石薄膜
  • 2篇类金刚石
  • 2篇类金刚石薄膜
  • 2篇RF-PEC...
  • 1篇等离子体
  • 1篇硬度计
  • 1篇射频等离子体
  • 1篇数对
  • 1篇自然科学
  • 1篇自然科学基金
  • 1篇自然科学基金...
  • 1篇显微硬度
  • 1篇显微硬度计
  • 1篇联合基金
  • 1篇面积积分
  • 1篇膜工艺
  • 1篇膜结构
  • 1篇科学基金
  • 1篇基金
  • 1篇积分

机构

  • 5篇华南理工大学
  • 2篇广东省技术经...
  • 1篇北京理工大学
  • 1篇广东省生产力...
  • 1篇广东省科学技...

作者

  • 5篇凌贵
  • 2篇邱莹
  • 1篇钟自然
  • 1篇朱正涛
  • 1篇吴国栋
  • 1篇谢红希
  • 1篇张衡
  • 1篇张玮
  • 1篇余亮

传媒

  • 1篇科技管理研究
  • 1篇中国科学基金
  • 1篇材料科学与工...
  • 1篇科技创新发展...

年份

  • 1篇2021
  • 1篇2019
  • 1篇2016
  • 2篇2009
5 条 记 录,以下是 1-5
排序方式:
NSFC—广东联合基金实施15年的效益评价
2021年
国家自然科学基金联合基金项目是国家自然科学基金委员会(以下简称"自然科学基金委")与有关部门、地方政府和企业共同投入经费设立,在商定的科学与技术领域内共同支持基础研究。NSFC—广东联合基金(以下简称"广东联合基金")作为自然科学基金委与地方政府设立的首个联合基金,15年来在提升广东基础与应用基础研究能力、加快人才队伍建设、促进学科发展、推动广东原始创新能力等方面发挥了举足轻重的作用。
段依竺邱莹吴国栋廖苏亮张衡刘倩郑思佳许佳琪于慧妍凌贵
关键词:联合基金
2018年广东省自然科学基金项目资助概况及分析被引量:2
2019年
2018年广东省自然科学基金项目资助总金额和资助项目数达历年新高,其中自由申请项目资助率高达43.71%。文章通过对2018年广东省自然科学基金项广东目受理和资助情况进行整理和研究,分析各类别项目资助的特点,使广大科技工作者了解2018年广东省自然科学基金资助概况,为往后的项目申报提供参考。
邱莹凌贵
关键词:自然科学基金
广东省建设国家实验室体系的若干思考被引量:7
2016年
国家实验室、国家重点实验室等科研基地作为源头创新和新知识、新技术、新发明的先导和源泉,是培养汇聚高层次科研人才、取得自主创新成果和核心技术的重要平台,是体现一个国家和地区科研创新能力强弱的一项重要指标。对广东省现有国家科研基地建设情况进行总结梳理和摸底分析,并对今后,特别是"十三五"期间广东省科研基地体系建设工作提出若干建议。加大力度推进以实验室为龙头的科研基地建设,加强协同创新,组建一批高水平科研创新基地和平台,形成基础研究、应用研究、试验开发直至产业化全过程创新链条的科研体系是广东实施创新驱动发展战略的必然路径和重要保障。
张玮凌贵钟自然余亮
RF-PECVD法制备掺硅类金刚石膜工艺及其性能的研究
本文利用射频等离子体增强化学气相沉积法制备了含硅类金刚石(Si-DLC)薄膜,选用C4H10和H2为源气体,聚二甲基硅氧烷作为掺杂源,载玻片、单晶硅片以及不锈钢片为基底。研究了不同工艺参数对Si-DLC薄膜的结构、表面形...
凌贵
关键词:类金刚石薄膜射频等离子体显微硬度计面积积分
文献传递
RF-PECVD工艺参数对DLC膜结构及性能的影响被引量:7
2009年
用射频等离子增强化学气相沉积(RF-PECVD)法,在常温下实现在载玻片和单晶硅基片上沉积类金刚石(DLC)薄膜。研究结果表明,工艺参数(功率密度、氩气分压、丁烷分压和极间距)的变化对薄膜硬度和透过率影响较大。薄膜硬度随着功率密度的增加而增加;随着氩气分压或丁烷分压的增加,薄膜硬度降低。薄膜的透过率随着氩气分压先增后减;丁烷分压为0.42~0.7Pa或板极间距为4.5~8cm时,薄膜的透过率均达到90%。
谢红希凌贵朱正涛
关键词:类金刚石薄膜
共1页<1>
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