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丁珂
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2
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供职机构:
北京大学
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相关领域:
电子电信
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合作作者
郝一龙
北京大学
王阳元
北京大学
李灿
北京大学
徐军
北京大学
吴文刚
北京大学
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2篇
中文专利
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传感器
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传感器件
机构
2篇
北京大学
作者
2篇
吴文刚
2篇
徐军
2篇
李灿
2篇
王阳元
2篇
郝一龙
2篇
丁珂
年份
1篇
2013
1篇
2011
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2
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一种制备悬浮纳米结构的方法
本发明公开了一种制备悬浮纳米结构的方法。该方法,包括如下步骤:用聚焦离子束扫描两端固定在保护层上的悬臂梁,得到所述悬浮纳米结构。该方法不受常规光刻条件的限制,对设备的聚焦精度以及扫描精度等要求相对传统的刻蚀方式较低,更有...
李灿
吴文刚
丁珂
徐军
郝一龙
王阳元
一种制备悬浮纳米结构的方法
本发明公开了一种制备悬浮纳米结构的方法。该方法,包括如下步骤:用聚焦离子束扫描两端固定在保护层上的悬臂梁,得到所述悬浮纳米结构。该方法不受常规光刻条件的限制,对设备的聚焦精度以及扫描精度等要求相对传统的刻蚀方式较低,更有...
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