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丁珂

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：北京大学更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文专利

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 2篇电子器件
  • 2篇悬臂
  • 2篇悬臂梁
  • 2篇光刻
  • 2篇光学
  • 2篇光学器件
  • 2篇感器
  • 2篇保护层
  • 2篇传感
  • 2篇传感器
  • 2篇传感器件

机构

  • 2篇北京大学

作者

  • 2篇吴文刚
  • 2篇徐军
  • 2篇李灿
  • 2篇王阳元
  • 2篇郝一龙
  • 2篇丁珂

年份

  • 1篇2013
  • 1篇2011
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
一种制备悬浮纳米结构的方法
本发明公开了一种制备悬浮纳米结构的方法。该方法，包括如下步骤：用聚焦离子束扫描两端固定在保护层上的悬臂梁，得到所述悬浮纳米结构。该方法不受常规光刻条件的限制，对设备的聚焦精度以及扫描精度等要求相对传统的刻蚀方式较低，更有...
李灿吴文刚丁珂徐军郝一龙王阳元
一种制备悬浮纳米结构的方法
本发明公开了一种制备悬浮纳米结构的方法。该方法，包括如下步骤：用聚焦离子束扫描两端固定在保护层上的悬臂梁，得到所述悬浮纳米结构。该方法不受常规光刻条件的限制，对设备的聚焦精度以及扫描精度等要求相对传统的刻蚀方式较低，更有...
李灿吴文刚丁珂徐军郝一龙王阳元
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