黑鸿君
- 作品数:160 被引量:79H指数:5
- 供职机构:太原理工大学更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金山西省科技重大专项山西省自然科学基金更多>>
- 相关领域:金属学及工艺一般工业技术化学工程理学更多>>
- Cu离子注入/退火增强微米金刚石膜的场发射性能
- Cu离子注入对微米金刚石(MCD)膜的结构和场发射性能有重要影响,我们对此做了深入研究.将1.0×l017 ions/cm2 Cu离子注入MCD膜,经过N2氛围下600℃退火且保温2小时之后,MCD膜可获得良好的导电性,...
- 祁婷乔瑜于盛望黑鸿君贺志勇张一新贾钰欣申艳艳
- 关键词:离子注入表面形貌场发射性能
- 新型MPCVD装置在高功率密度下高速沉积金刚石膜被引量:9
- 2011年
- 使用自行研制的新型MPCVD装置,以H2-CH4为气源,在输入功率为5kW,沉积压力分别为13.33、26.66kPa和不同的甲烷浓度下制备了金刚石膜。利用等离子体发射光谱法对等离子体中的H原子和含碳的活性基团浓度进行了分析。用扫描电镜、激光拉曼谱对金刚石膜的表面和断口形貌、金刚石膜的品质等进行了表征。实验结果表明,使用新型MPCVD装置能够在较高的功率密度下进行金刚石膜的沉积;提高功率密度能使等离子体中H原子和含碳活性基团的浓度明显增加,这将提高金刚石膜的沉积速度,并保证金刚石膜具有较高的质量。
- 于盛旺李晓静张思凯范朋伟黑鸿君唐伟忠吕反修
- 关键词:金刚石膜功率密度生长速率
- 一种钛硅共掺杂非晶碳氮复合薄膜的制备方法
- 本发明公开了一种钛硅共掺杂非晶碳氮复合薄膜的制备方法,首先将基体材料用金刚石微粉超声预处理后固定在真空镀膜室的旋转样品台上,调节基体与溅射靶之间距离;将镀膜室抽至本底真空后通入惰性气体或氮气,对基体表面进行离子溅射清洗;...
- 周兵刘竹波王永胜马永吴艳霞高洁黑鸿君于盛旺
- 掺β-Ga<Sub>2</Sub>O<Sub>3</Sub>和P型金刚石的紫外探测器的制备方法
- 掺β‑Ga<Sub>2</Sub>O<Sub>3</Sub>和P型金刚石的紫外探测器,属于半导体应用领域,它包括衬底、P型金刚石膜、薄膜、掺杂层和Ti/Ag电路;所述衬底为金刚石;所述衬底上表面设置P型金刚石膜,P型金刚...
- 于盛旺王永胜张宁陈子豪周兵马永吴艳霞高洁黑鸿君
- 一种高品质自支撑金刚石厚膜的制备方法
- 本发明公开了一种高品质自支撑金刚石厚膜的制备方法,该方法包括:先使用化学气相沉积法制备厚度为0.5~0.7 mm的高品质自支撑金刚石膜;然后研磨、抛光膜的形核面,去除残留的碳化物,将其作为基体,在形核面上制备厚度为1~3...
- 于盛旺王荣高洁黑鸿君张阿莉刘小萍贺志勇
- 文献传递
- 一种用于集成芯片散热的金刚石微流道结构及其制备方法
- 一种用于集成芯片散热的金刚石微流道结构及其制备方法,属于金刚石芯片散热领域,金刚石微流道结构包括集成芯片、单晶金刚石、微流道和多晶金刚石层;微流道结构通过先行预置长条形金属棒,在生长多晶金刚石后再腐蚀掉金属的方法制备获得...
- 于盛旺王永胜陈子豪周兵郑可马永黑鸿君高洁吴艳霞
- 一种提高硬质合金表面钛铝氮涂层强韧性的方法
- 本发明公开了一种提高硬质合金表面钛铝氮涂层强韧性的方法,包括下列步骤:将预处理好的硬质合金试样放入双辉等离子渗金属炉样品台上,悬挂好自制靶材并放置好辅助阴极;抽真空后通入氩气,对阴极与源极施加高电压并维持一定压差,反溅射...
- 周兵刘竹波于盛旺吴玉程马永黑鸿君徐斌王雪松王钰鹏
- 文献传递
- 钛合金表面纳米金刚石颗粒增强耐磨涂层的制备方法
- 本发明为一种钛合金表面纳米金刚石颗粒增强耐磨涂层的制备方法,属于金属材料表面改性技术领域。该方法先采用砂纸将钛合金基体材料表面打磨粗化,然后刷涂一层有机胶粘剂,将纳米尺度的金刚石粉末和含Ti的金属/合金粉末进行混合并撒在...
- 于盛旺屈帅武高洁郑可马永黑鸿君王永胜
- 一种扩大单晶金刚石籽晶尺寸及数量的方法
- 本发明为一种扩大单晶金刚石籽晶尺寸及数量的方法,解决了大尺寸金刚石单晶制备技术难度高的问题。本发明采用取向为(100)的单晶金刚石作为籽晶,首先通过一次沉积将单晶金刚石生长为方形,然后沿对角线切割为两个等腰三角柱体,将切...
- 于盛旺高洁郑可黑鸿君马永周兵
- 文献传递
- 一种改善Cu基体与碳基薄膜结合力的方法
- 本发明公开一种提高Cu基体与碳基薄膜结合力的方法。该方法是通过以下步骤实现的:采用双辉渗金属技术在覆有模板的Cu基体表面制备亲碳金属过渡层骨架,去除模板后采用该技术对基体及骨架表面进行高密度Ar<Sup>+</Sup>轰...
- 吴艳霞于盛旺高洁刘颖郑可黑鸿君周兵马永王永胜
- 文献传递