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马英仁

作品数：2 被引量：9H指数：2
供职机构：黑龙江大学更多>>
发文基金：黑龙江省自然科学基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 2篇电子电信
  • 2篇自动化与计算...

主题

  • 2篇气体传感
  • 2篇气体传感器
  • 2篇感器
  • 2篇传感
  • 2篇传感器
  • 1篇氧化物
  • 1篇氧化物半导体
  • 1篇氧化物薄膜
  • 1篇氧敏特性
  • 1篇射频溅射
  • 1篇射频溅射法
  • 1篇气敏
  • 1篇气敏器件
  • 1篇溅射
  • 1篇溅射法
  • 1篇半导体
  • 1篇GA

机构

  • 1篇黑龙江大学

作者

  • 2篇马英仁
  • 1篇孟娟
  • 1篇张振辉
  • 1篇徐晓峰

传媒

  • 1篇黑龙江大学自...
  • 1篇哈尔滨理工大...

年份

  • 2篇1997
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
Ga_2O_3薄膜气体传感器工作机理的研究被引量：7
1997年
根据缺陷化学理论和半导体表面化学吸附理论，对体电导和表面电导分别提出了两个简化模型──单电离氧空位模型和一维积累层模型，解释了Ｇａ２Ｏ３薄膜在两个不同温区的不同的气体敏感特性。理论与实验结果的一致，表明了这两个简化模型的正确性和有效性。
马英仁孟娟徐晓峰徐晓峰
关键词：气体传感器氧化物半导体气敏器件
氧化镓薄膜的氧敏特性研究被引量：3
1997年
使用射频溅射法制作了Ｇａ２Ｏ３薄膜并对其氧敏特性和温度特性进进了测试和研究，结果表明薄膜电阻与环境气氛中的氧分压的１／４次方成比例而与温度呈指数律关系。使用单电离氧空位模型成功地解决了实验结果。
马英仁徐晓峰孟娟雷鸣亮
关键词：氧化物薄膜氧敏特性气体传感器射频溅射法
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共1页<1>
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