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韩志涛

作品数：11 被引量：24H指数：3
供职机构：大连理工大学更多>>
发文基金：国家重点基础研究发展计划国家自然科学基金教育部“新世纪优秀人才支持计划”更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术一般工业技术理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 6篇专利
  • 4篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 3篇电子电信
  • 2篇自动化与计算...
  • 2篇一般工业技术
  • 1篇化学工程
  • 1篇机械工程
  • 1篇理学

主题

  • 5篇光电
  • 4篇埋层
  • 4篇刻蚀
  • 4篇刻蚀工艺
  • 3篇纳米
  • 2篇导航传感器
  • 2篇电极
  • 2篇亚波长
  • 2篇亚波长光栅
  • 2篇严格耦合波理...
  • 2篇氧化硅
  • 2篇软模板
  • 2篇耦合波
  • 2篇耦合波理论
  • 2篇网格
  • 2篇网格结构
  • 2篇纳米点
  • 2篇纳米压印
  • 2篇昆虫
  • 2篇昆虫复眼

机构

  • 11篇大连理工大学

作者

  • 11篇韩志涛
  • 10篇孟凡涛
  • 10篇褚金奎
  • 6篇王志文
  • 3篇郭庆
  • 2篇陈文静
  • 1篇赵开春

传媒

  • 1篇半导体技术
  • 1篇光子学报
  • 1篇半导体光电
  • 1篇纳米技术与精...

年份

  • 1篇2013
  • 3篇2012
  • 1篇2011
  • 2篇2010
  • 2篇2009
  • 1篇2008
  • 1篇2007
共 11 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
基于一维软模板纳米压印制作三维纳米网格结构的方法
本发明属于微纳制造技术领域，具体为基于一维软模板纳米压印技术制作大面积三维纳米网格结构的方法。其步骤包括：利用软模板进行第一次纳米压印，然后采用氧RIE刻蚀去除压印胶残留层。利用制作的压印胶图形为掩膜刻蚀基底材料，去胶后...
褚金奎孟凡涛王志文韩志涛
一种硅光电二极管的制作方法
本发明一种硅光电二极管的制作方法属于半导体器件制作领域，尤其涉及一种硅光电二极管的制作方法。本发明采用绝缘体上硅晶片作衬底，绝缘体上硅晶片包括支撑硅片、二氧化硅埋层和器件层。采用干法刻蚀工艺在器件层上先加工一个闭环的隔离...
褚金奎韩志涛孟凡涛王志文
面向光催化和光伏器件的氧化锌纳米线制备与集成
氧化锌(ZnO)是一种重要的Ⅱ-Ⅵ族直接带隙半导体材料，它具有较宽的带隙和较高的激子结合能。纳米结构的ZnO具有优异的电学、光学、气敏和光催化氧化等特性，在透明电极、发光二极管、太阳能电池、紫外探测器、压电器件、声表面波...
韩志涛
关键词：氧化锌纳米材料光催化微流体光伏器件
面形误差对亚波长金属光栅偏振器性能的影响被引量：8
2009年
基于严格耦合波理论分析了光栅面形误差对亚波长金属光栅偏振器偏振性能的影响.通过对数值结果的分析发现,光栅圆角误差、光栅侧壁倾斜误差和光栅表面粗糙误差对光栅的TM透射效率影响不大,但它们使得光栅的消光比明显降低.因此,面形误差使得光栅的偏振性能明显降低.理论分析表明,顶角为直角、侧壁垂直和表面光滑的理想矩形光栅结构的偏振性能最好.
孟凡涛褚金奎韩志涛郭庆
关键词：亚波长光栅面形误差严格耦合波理论消光比
亚波长金属光栅偏振器设计被引量：9
2007年
针对仿生微纳导航传感器敏感波段380～520nm的要求，基于严格耦合波理论，设计了一种适用于蓝紫光波段的金属光栅偏振器，并应用等效介质理论直观地分析了金属光栅偏振器的工作原理．所设计的金属光栅偏振器与传统的金属光栅偏振器的不同之处在于：在基底和金属线栅之间增加了氟化镁薄膜，并且刻蚀一部分氟化镁薄膜．在垂直入射条件下，在整个可见光波段，金属光栅偏振器TN透射效率大于61．5％，消光比大于370；数值计算和理论分析表明，所设计的金属光栅偏振器是一种宽带宽、高TN透射效率和高消光比的偏振器件．
孟凡涛褚金奎韩志涛赵开春
关键词：亚波长光栅严格耦合波理论
导航传感器的微型偏振光检测装置
本发明导航传感器的微型偏振光检测装置属于传感器设计领域，特别涉及了一种仿照昆虫复眼结构设计的导航传感器的微型偏振光检测装置。检测装置有三个通道，每个通道由两个单元组，共六个单元。每个单元都具有一个微型光栅和一个光电薄膜来...
褚金奎孟凡涛陈文静韩志涛王志文
文献传递
基于一维软模板纳米压印制作三维纳米网格结构的方法
本发明属于微纳制造技术领域，具体为基于一维软模板纳米压印技术制作大面积三维纳米网格结构的方法。其步骤包括：利用软模板进行第一次纳米压印，然后采用氧RIE刻蚀去除压印胶残留层。利用制作的压印胶图形为掩膜刻蚀基底材料，去胶后...
褚金奎孟凡涛王志文韩志涛
文献传递
热压印中聚合物填充过程的仿真分析被引量：6
2008年
基于有限元方法并借助ANSYS软件对热压印过程中二维的聚合物填充过程进行模拟。聚合物加热温度高于剥离转化温度时,采用Mooney-Rivlin模型表示聚合物的机械性能。详细分析了深宽比、凹槽宽度、占空比、摩擦系数对聚合物变形的影响。数值计算结果表明,深宽比对聚合物高度影响显著;凹槽宽度对聚合物形成单、双峰结构影响较大;占空比影响残留比率;摩擦系数对聚合物高度的影响较小。在制作高质量的热压印图形中,该数值分析结果有助于优化过程参数。
褚金奎郭庆孟凡涛韩志涛
关键词：热压印占空比
一种硅光电二极管的制作方法
本发明一种硅光电二极管的制作方法属于半导体器件制作领域，尤其涉及一种硅光电二极管的制作方法。本发明采用绝缘体上硅晶片作衬底，绝缘体上硅晶片包括支撑硅片、二氧化硅埋层和器件层。采用干法刻蚀工艺在器件层上先加工一个闭环的隔离...
褚金奎韩志涛孟凡涛王志文
文献传递
导航传感器的微型偏振光检测装置
本发明导航传感器的微型偏振光检测装置属于传感器设计领域，特别涉及了一种仿照昆虫复眼结构设计的导航传感器的微型偏振光检测装置。检测装置有三个通道，每个通道由两个单元组，共六个单元。每个单元都具有一个微型光栅和一个光电薄膜来...
褚金奎孟凡涛陈文静韩志涛王志文
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