郭强生
- 作品数：11 被引量：41H指数：3
- 供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所更多>>
- 发文基金：国家科技重大专项更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术电气工程金属学及工艺更多>>
- 300mm硅片精密化学机械抛光机几何参数优化(英文)被引量：1
- 2012年
- 对于评价用于极大规模集成电路(ULSI)生产的300 mm硅抛光片的表面质量,需要关注两个关键参数即:SFQR和GBIR。在中国电子科技集团第四十五研究所研发的中国第一台最终化学精密抛光机的验证过程中,我们发现为了提高硅片表面的几何参数,必须监控抛光前硅片的形貌,并根据不同的硅片表面形貌来改变抛光头的区域压力。通过深入分析抛光前硅片的表面形貌,我们发现当硅片形貌为凹陷形状时,抛光后的硅片表面将严重恶化。由此,根据每个硅片不同的形貌,我们用特殊设计的抛光头来调整背压的区域分布,然后再进行抛光。最终,经过抛光头区域压力调整后的硅片几何参数比调整前得到了大幅提升,并已经能够满足我们的产品指标并可以用于生产。
- 党宇星徐继平刘斌叶松芳肖清华闫志瑞石瑛张果虎周旗钢柳滨郭强生王东辉
- 关键词：硅片硅材料
- LED粘片机芯片拾取机构运动控制技术研究被引量：10
- 2005年
- LED全自动粘片机是基于视觉检测的全自动粘片控制,融合了图像处理、模式识别、光电检测、控制理论、机电一体化等多学科内容和技术。结合我们的实际工作,论述了就该机的核心机构的运动控制技术,给出了运动控制流程、综合控制逻辑和控制时序,采用高精度数字伺服控制方式,解决了粘片控制中多轴联动、多时序配合、高速、高精度运动控制问题。控制系统以Windows2000为平台,利用VisualC++6.0为工具进行上层软件开发。
- 郭强生
- 关键词：发光二极管粘片机运动控制伺服控制系统
- SW-I型36工位环行垂吊式电镀生产线
- 张继业郭强生廉军沈宏良金黎雷等
- 该生产线主要用于集成电路外引线锡铅合金、引线框架、接插件的电镀或金属零件的表面处理适用于大批量、多品种的集成电路后封装外引线和批量零件的表面处理。
- 关键词：
- 关键词：金属表面处理电镀生产流水线集成电路
- SWI型36工位环形垂吊式电镀生产线
- 张续业郭强生廉军沈宏良金黎雷等
- SWI型36工位环形垂吊式电镀生产线主要用于集成电路外引线锡铅合金、引线框架、接插件的电镀或金属零件的表面处理。适用于大批量、多品种的集成电路后封装外引线和批量零件的表面处理。全生产线温度、液压、气动、干燥及工艺设置均...
- 关键词：
- 关键词：生产线电镀电化学
- LED全自动粘片机拾放片控制系统研究
- LED(发光二极管)全自动粘片机是--7中用于LED生产中管芯与引线框架粘接的自动化设备，是LED自动化生产线上必备的关键设备之一;除适合各种高品质、高亮度LED生产外，还可用于部分半导体二极管、三极管、PCB及小型DI...
- 郭强生
- 关键词：粘片机运动控制视觉检测伺服控制系统发光二极管
- 文献传递
- 300mm硅片化学机械抛光压力控制技术研究被引量：1
- 2011年
- 介绍了一种应用于硅片化学机械抛光(CMP)设备的压力控制技术,综合利用在线检测方法和离线检测方法,借助于Matlab数值分析软件分析抛光主轴压力设定值、气缸气压值、传感器示值以及检测仪器测试值之间的关系,并建立了主轴压力闭环控制系统,达到精确控制主轴压力的目的。工艺实验证明,主轴压力闭环控制系统稳定、可靠、精确。
- 王东辉郭强生柳滨陈威王伟
- 关键词：化学机械抛光数据处理闭环控制
- QP—509型自动卧式内圆切片机被引量：2
- 1994年
- ＱＰ—５０９型自动卧式内圆切片机电子工业部第４５研究所王明权，郭强生，黄克飞概述随着国内电子工业的飞速发展，需要切割加工的贵重硬脆性晶体材料越来越多。而且，这些电子材料绝大多数要求切割片子的尺寸范围小，加工精度高，用国内已有的小直径切割设备加工，材料...
- 王明权郭强生黄克飞
- 关键词：切片机电子材料晶体
- CMP设备中抛光垫修整机构的研究被引量：1
- 2012年
- 介绍了一种新型抛光垫修整机构的功能、结构及运动原理,通过理论计算给出了修整力的计算公式,并介绍了一种原理简单,操作方便的气动控制系统。在工艺试验过程中,充分证明了其结构原理及控制系统的合理性,进而在理论和实践两个方面确定了该机构已达到设计要求。
- 高文泉李伟徐存良郭强生
- 关键词：气动控制系统
- 基于机器视觉的裸片表面缺陷在线检测研究
- 2018年
- 针对准确和实时检测裸片表面缺陷的需求,提出了一种基于线性判别分析(Linear Discriminant Analysis,LDA)和支持向量机(Support Vector Machine,SVM)的在线检测算法。首先,采用高斯滤波方法滤除裸片表面图像中的噪声;然后,提取裸片表面缺陷的Hu不变矩和方向梯度直方图(Histogram of Oriented Gradients,HOG)特征,采用LDA方法对特征进行降维;接着,在离线建模阶段,学习裸片表面正常模式的高斯混合模型(Gaussian Mixture Model,GMM),并学习各种缺陷模式的SVMs;最后,在线检测阶段使用GMM判断是否存在缺陷,使用K最近邻(K Nearest Neighbor,KNN)算法分类缺陷的模式。提出算法在采集的裸片数据库中得到了88.11%的检测准确率,单幅图像的平均检测时间为44.7 ms。实验结果表明,提出算法具有较高的检测准确性与实时性,可以应用到实际生产中的裸片表面缺陷在线检测。
- 林佳王海明郭强生刘晓斌周丹
- 关键词：线性判别分析支持向量机
- 集成电路粘片机视觉检测技术研究被引量：25
- 2005年
- 集成电路粘片机是将半导体晶圆上微芯片贴装到引线基架的半导体制造后工序关键性生产设备。基于视觉检测的全自动集成电路粘片机,其视觉检测技术是关键及核心技术。利用图像处理、模式识别技术,采用固定阈值分割、图像投影、像素统计、区域生长、边界坐标点提取、模板匹配等方法,完成了待检测芯片的定位与墨点、缺角、崩边、角度偏移等芯片缺陷的检测。实现了贴装过程中芯片识别检测功能。
- 郭强生靳卫国周庆亚
- 关键词：集成电路视觉检测粘片机
