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遆文新

作品数：3 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院物理研究所更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇中文专利

主题

  • 3篇单晶
  • 3篇籽晶
  • 2篇晶面
  • 2篇晶体
  • 2篇晶体生长
  • 2篇夹具
  • 1篇单晶炉
  • 1篇调节装置
  • 1篇专用夹具
  • 1篇控制方法
  • 1篇控制装置

机构

  • 3篇中国科学院

作者

  • 3篇吴祖安
  • 3篇熊季午
  • 3篇周放
  • 3篇遆文新
  • 3篇赵忠贤

年份

  • 1篇2005
  • 1篇2004
  • 1篇2003
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
晶体生长工艺中的籽晶方位的控制方法
本发明涉及一种用于晶体生长工艺中的籽晶方位的控制方法其方法包括下述步骤：(1)选择经晶体定向和加工的籽晶端面为预期生长晶面；(2)将籽晶固定在籽晶夹具的籽晶杆上；再将籽晶夹具固定在单晶生长设备的轴杆上；(3)调节籽晶杆相...
周放吴祖安遆文新熊季午赵忠贤
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晶体生长工艺中的籽晶方位的控制方法及其专用夹具
本发明涉及一种用于晶体生长工艺中的籽晶方位的控制方法及其专用装置；其方法包括下述步骤：(1)选择经晶体定向和加工的籽晶端面为预期生长晶面；(2)将籽晶固定在籽晶夹具的籽晶杆上；再将籽晶夹具固定在单晶生长设备的轴杆上；(3...
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用于晶体生长工艺中的籽晶方位的控制装置
本实用新型涉及一种用于晶体生长工艺中籽晶方位的控制装置，包括籽晶杆，籽晶杆用于固定籽晶；其中还包括：一X－Y二维位移调节装置；一Z轴倾角调节装置；及所述的X－Y二维位移调节装置的任一端与所述的Z轴倾角调节装置相连，构成X...
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