赵树森
- 作品数：69 被引量：18H指数：2
- 供职机构：中国科学院半导体研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信金属学及工艺理学自动化与计算机技术更多>>
- 脉冲激光清洗方法
- 本公开提供一种脉冲激光清洗方法，包括分别对第一电机和第二电机施加第一周期信号和第二周期信号，以驱动第一振镜和第二振镜进行第一方向和第二方向扫描；第一周期信号周期为第二周期信号周期的两倍，在第二周期信号一个周期内，第一周期...
- 林学春余海军张志研赵树森王红洋董智勇
- 文献传递
- 一种利用聚合物形变对激光改质后脆硬材料剥离的方法
- 本发明公开了一种利用聚合物形变对激光改质后脆硬材料剥离的方法。本发明的方法采用聚合物来进行脆硬材料分离，利用聚合物热膨胀系数大的特性，使脆硬材料在低温时实现自动分离，具有分离效率高、成本低和分离厚度可控等优势。本发明的方...
- 林学春何宏智赵树森姜璐张志研刘燕楠
- 用于复合材料层板挖补修复的损伤层激光剥除方法
- 本发明公开了一种用于复合材料层板挖补修复的损伤层激光剥除方法，复合材料层板包括多层纤维丝复合而成，剥除方法包括：对复合材料层板进行探测，获得损伤区域的中心位置和损伤深度；根据复合材料层板单层的厚度和损伤深度计算获得复合材...
- 赵树森林学春梁晗张志研马文浩梁浩刘燕楠
- 一种脉宽可调的多脉冲激光退火系统及其控制方法
- 本申请提供了一种脉宽可调的多脉冲激光退火系统及其控制方法，该激光退火系统包括激光器组件和调制组件。激光器组件用于输出调制脉冲激光，以对半导体晶体进行退火，调制组件与激光器组件连接，用于向激光器组件输出射频信号，以对激光器...
- 王红洋张志研林学春赵树森梁晗何宏智刘燕楠
- 透明硬脆材料激光剥离关键问题研究(特邀)
- 2024年
- 透明硬脆材料由于其优异的力学性能、热稳定性、耐腐蚀性以及光电性能,广泛应用于半导体与电子领域。传统透明硬脆材料切片方法效率低、材料损耗大,制约了硬脆材料的推广应用。激光剥离技术是近年来新兴的一种透明硬脆材料切片新方法,较传统金刚线切割方法大幅提升硬脆材料的切片效率和材料利用率,目前已发展成为硬脆材料激光加工领域学术研究与产业应用的焦点。文中深入分析透明硬脆材料激光剥离物理过程,归纳激光剥离过程关键科学问题:透明硬脆材料对激光的非线性吸收、激光作用下材料内部微观结构演化与缺陷扩展规律,以及激光光场调控对材料改质影响机制等。基于这些科学问题,综述了近年来激光剥离不同类型透明硬脆材料的研究进展,目前用于激光剥离的材料已涵盖了SiC、Si、GaN、金刚石等半导体材料,蓝宝石、多晶Al_(2)O_(3)、氧化锆等陶瓷材料,激光剥离技术已发展出超快激光双脉冲诱导剥离、超快激光-化学辅助剥离、多激光复合剥离等。激光剥离物理过程是一个典型的激光-材料-热学-力学多学科交叉问题,尽管在实验结果方面获得了显著突破和迅猛发展,但目前对于工艺机理仍缺乏深入的理论与数值建模研究。未来透明硬脆材料激光剥离技术将会朝着百微米以下超薄厚度剥离、改质层低损伤、工艺自适应等方向发展,将为半导体与电子等领域快速发展提供更大的技术支撑。
- 赵树森何宏智韩世飞姜璐杜家宝于海娟于海娟张谷令
- 关键词：超快激光硬脆材料
- 直连空压机的激光清洗一体机
- 本公开提供了一种直连空压机的激光清洗一体机，所述激光清洗一体机与所述空压机相连，所述激光清洗一体机包括：气体干燥过滤系统，内置于所述激光清洗一体机机柜，将空压机输出的气体进行干燥、过滤后分为两路气体；第一路气体进入准连续...
- 王奕博林学春张志研梁浩刘燕楠赵树森
- 文献传递
- 采用多激光器进行激光熔覆的方法
- 一种采用多激光器进行激光熔覆的方法，包括以下步骤：用丙酮或酒精对基材表面进行除油和清洗处理；采用第一台激光器发射的激光束辐照在基材指定位置的表面，使基材表面预热；或者对基材不预热直接转为步骤3；采用第二或多台激光器发射的...
- 林学春赵树森刘发兰王奕博周春阳高文焱
- 文献传递
- 一种用于脆硬构件分离的激光系统和方法
- 本公开提出一种用于脆硬构件分离的激光系统和方法，其中，激光系统包括：载台，载台用于承载脆硬构件；第一光路，第一光路用于载台沿第一路径移动时出射聚焦激光束，以利用聚焦激光束在脆硬构件中形成多个位于同一平面内且间隔分布的空隙...
- 林学春姜璐赵树森何宏智梁晗张志研刘燕楠
- 用于薄板激光熔覆的工装底板、工装装置及熔覆方法
- 一种用于薄板激光熔覆的工装装置及熔覆方法，包括设计制造带有热交换通道的工装底板，工装底板可以是一体或者分体装配的。将待激光熔覆薄板置于工装底板上，将压板压在薄板上，压板通过螺栓与工装底板相连，对薄板实施夹紧。激光熔覆过程...
- 赵树森林学春张志研李敏王奕博李达梁浩刘燕楠马文浩
- 碳纤维复合材料激光热-机械剥蚀机制研究被引量：2
- 2022年
- 针对航空复合材料挖补修复工艺对损伤区高效高质量去除的需求,研究了碳纤维复合材料纳秒脉冲激光剥蚀机理、工艺优化和缺陷控制方法,基于各向异性传热原理研究了激光扫描角度对材料去除率的影响规律,探索了激光扫描速度和填充间距对非匀质材料的热-机械剥蚀的影响机制。结果表明:碳纤维复合材料显著的各向异性传热使得去除深度随激光扫描角度的增大而减小,激光扫描角度为0°时去除深度为220μm,激光扫描角度为90°时去除深度为150μm;由于热-机械剥蚀的混合作用,两个方向上的光斑搭接率存在临界值,在该临界值处材料去除效率出现峰值。进行了18层的阶梯形去除,精度控制在±20μm。通过实验测试与数据分析,优化了碳纤维复合材料逐层精细剥蚀扫描策略与工艺方案,为碳纤维激光精细制造提供了参考。
- 梁晗赵树森姜璐邹晨许杰张志研张志研
- 关键词：激光技术脉冲激光碳纤维复合材料
