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赵时峰
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周丰
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韩民
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王广厚
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宋凤麒
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一种制备具有密堆积结构的纳米超薄晶片的方法
制备具有密堆积结构的纳米超薄晶片的方法,采用气相团簇束流源产生颗粒直径在1-50纳米之间尺寸分布集中的纳米团簇束流,以纳米晶片的材料压制成为溅射靶材,并将其电离,加速,使得从其出发到衬底时的纳米颗粒能量在接近或刚超过颗粒...
宋凤麒
周丰
韩民
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赵时峰
万建国
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一种制备具有密堆积结构的纳米超薄晶片的方法
制备具有密堆积结构的纳米超薄晶片的方法,采用气相团簇束流源产生颗粒直径在1-50纳米之间尺寸分布集中的纳米团簇束流,以纳米晶片的材料压制成为溅射靶材,并将其电离,加速,使得从其出发到衬底时的纳米颗粒能量在接近或刚超过颗粒...
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