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赵强
作品数:
1
被引量:4
H指数:1
供职机构:
信州大学
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合作作者
松本光功
兰州大学物理科学与技术学院磁性...
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机构
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松本光功
1篇
赵强
传媒
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功能材料
年份
1篇
1999
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用组合靶溅射制备Nd_2Fe_(14)B薄膜的研究
被引量:4
1999年
采用单质Fe、Nd、B组成的靶,用对向靶溅射系统制备出了含有Nd2Fe14B相的薄膜。发现Nd2Fe14B相能够较好地形成的基板温度范围是500℃~600℃。并且相对于热氧化硅基板(SiO2/Si)。
赵强
松本光功
森迫昭光
关键词:
ND2FE14B
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