范湘军
- 作品数：90 被引量：263H指数：9
- 供职机构：武汉大学物理科学与技术学院加速器实验室更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金教育部留学回国人员科研启动基金湖北省科技计划项目更多>>
- 相关领域：理学电子电信金属学及工艺一般工业技术更多>>
- PECVD法氮化硅薄膜的研究被引量：18
- 1997年
- 本文采用射频等离子体增强化学气相生长法（ＰＥＣＶＤ），在单晶硅衬底上生长氮化硅薄膜，经Ｘ射线衍射测试发现，在（１００）晶向硅片上生长的氮化硅薄膜为（１０１）晶向的外延生长膜。还用红外吸收光谱拉曼光谱和Ｘ射线光电子能谱测试了β－Ｓｉ３Ｎ４的特性，讨论了它在微电子学中的应用。
- 吴大维范湘军郭怀喜张志宏李世宁
- 关键词：PECVD氮化硅
- 氮化碳刀具在硬质面加工中的应用被引量：8
- 2000年
- 分析当前各种刀具材料的优缺点 ,回顾氮化碳的历史 ,分析氮化碳涂层在刀具上应用的可行性 。
- 彭友贵黎明锴范湘军祝增荣殷世英
- 关键词：涂层刀具
- 高速钢镀氮化碳超硬涂层及其应用研究被引量：22
- 2003年
- 本文采用DC 反应磁控溅射和电弧离子镀相结合的方法在高速钢上沉积氮化碳-氮化钛复合膜,经X射线衍射分析,复合膜中存在a-C3N4和b-C3N4的硬质相。复合膜的显微硬度 HK=50.5—54.1GPa,它与高速钢基体的附着力,用划痕试验测得临界载荷Lc=40—80N。多种刀具试用证实,该涂层具有很高的耐磨性,与未涂层和镀TiN的刀具相比,大幅度提高了刀具的耐用度。
- 吴大维曾昭元刘传胜张友珍彭友贵范湘军
- 关键词：氮化碳超硬薄膜高速工具钢涂层刀具电弧离子镀
- 共价固体氮化碳的电弧法制备
- 1994年
- <正>β-C_3N_4是一种首先运用固体量子理论和计算机技术,通过人工设计具有理想成分和结构以及预期优异性能的新材料,Liu和Cohen的理论计算表明:一种晶体结构类似β-Si_3N_4的 C—N化合物具有非常短的共价键(平均键长0.147nm),其体变模量为4.27×10~5MPa,接近金刚石的4.43×10~5MPa。这预示它具有可与金刚石相媲美的硬度。此外,它的结合能计算值 (81.5eV/cell)大于β-Si_3N_4(74.8eV/cell),表明可能存在亚稳态结构。近年来,人们采用了 CH_4和H_2的等离子体分解,C—N—H有机物热解和冲击波压缩等方法,以期合成这种 C—N共价键固体。但是由于C—H和N—H键的稳定性,阻碍了β-C_3N-4的形成。直到1993年,哈佛大学的Niu等人首先用激光蒸发和原子束喷注相结合的方法,成功地获得了这种共价固体氮化碳薄膜。作者尝试采用高纯石墨电极在氮气中电弧放电的方法,代替激光蒸发法,也获得了这种材料。用X光电子能谱(XPS)证实了C—N共价键的生成,用X射线衍射 (XRD)和透射电镜选区电子衍射(TED)检验其结构,和Niu等人的结果基本相符。
- 郭怀喜李爱国张志宏范湘军王仁卉
- 关键词：氮化碳电弧法X光电子能谱
- 一种薄膜离子束冶金学研究用多功能靶室
- 1989年
- 在200keV离子注入机上设计和建造了一个多功能靶室,它装有:(1)四源真空蒸发沉积系统;(2)石英晶体膜厚计;(3)高低温度温靶;(4)“原位”四探针电阻测量系统。用本装置制备了离子束混合非晶态Al-Mn合金薄膜,并“原位”测量了薄膜的电特性。
- 范湘军郭怀喜刘昌王叔琪余全华
- 关键词：离子束混合靶室电阻测量非晶态合金石英晶体离子注入机
- 氮化碳超硬涂层技术应用研究
- 范湘军吴大维彭友贵曾昭元叶明生付强张友珍刘传胜
- 氮化碳是九十年代开发的新型超硬材料，其硬度接近或超过金刚石，化学稳定性和热稳定性更加优异，可以克服金刚石涂层刀具不能切削钢铁和易热氧化的缺点，具有广阔的应用前景。该项目在国家自然科学基金、国家教委、湖北省和武汉市科技攻关...
- 关键词：
- 关键词：氮化碳超硬材料镀膜技术
- YBCO超导薄膜的O^+辐照效应被引量：1
- 1993年
- 离子辐照能引起超导薄膜的成分、原子环境、电子组态以及相结构的变化,从而导致材料性能的改变,因此离子辐照效应为超导材料的耐辐照能力以及超导器件的研制提供了重要的依据和手段,同时也为探索超导机理提供了重要的实验结果. 1 实验所采用的YBCO超导薄膜样品是在中空阴极环形磁控溅射仪中原位制备的,此装置避免了负离子对薄膜的再溅射,保证了薄膜的均匀性.所用衬底为（100）SrTiO3单晶,衬底温度为780℃,溅射气体为氩氧混合气体（Ar:O2=2 : 1）,对沉积膜原位进行一个大气压纯氧中、400℃、30min的处理,得到厚250nm,零电阻温度85K,C轴织构的YBCO超导薄膜.
- 彭治林蒋昌忠范湘军蔡凤鑫
- 关键词：YBCO超导薄膜氧离子辐照效应
- C_3N_4薄膜的结构与性能研究被引量：17
- 1997年
- 用射频等离子体增强化学汽相沉积技术合成Ｃ３Ｎ４薄膜，并采用强迫晶化技术，经透射电子衍射观测，薄膜具有多晶结构．用Ｘ射线光电子能谱测试了Ｃ，Ｎ原子结合能及含氮量．傅里叶变换红外光谱曲线表明薄膜中不含石墨相．测得薄膜的维氏硬度为２９．２—５０．
- 吴大维何孟兵郭怀喜罗海林张志宏傅德君范湘军
- 关键词：C3N4氮化碳
- CNx/TiN多层复合膜的摩擦磨损特性研究
- 利用一台直流磁控溅射和多弧沉积设备在高速钢(HSS)衬底上沉积CNx/TiN多层复合膜,涂层的硬度超过50 GPa。销-盘式摩擦试验研究了涂层的滑动摩擦性能,观察并分析了薄膜的磨损模式。实验表明交替涂层在高速和大载荷的条...
- 刘传胜范湘军曾昭元吴大维叶明生高鹏彭友贵
- 关键词：磨损
- 文献传递
- Cu离子注入石英玻璃及退火后的透射率研究被引量：3
- 2001年
- 将剂量分别为 1× 10 16,3× 10 16,5× 10 16,10× 10 16个 /cm2 的Cu离子注入石英玻璃 ,注入后在可见光区域均可观察到明显的吸收增强效应 ,当注入剂量达到 5× 10 16个 /cm2 及以上时可以观察到位于 5 70nm附近的吸收峰 ,吸收强度随剂量的增加而增加 .将 4个样品经退火处理后 ,吸收普遍增加且吸收峰向长波方向移动 ,注入 3×10 16个 /cm2 的样品也出现了吸收峰 .吸收峰的存在表明注入后有Cu的纳米晶体生成 ,且退火后Cu的纳米晶体成核生长导致共振吸收加强 .
- 曹旸蒋昌忠王取泉范湘军
- 关键词：离子注入透射率铜石英玻璃金属纳米颗粒退火
