王淑云
- 作品数:28 被引量:135H指数:7
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- 发文基金:国家高技术研究发展计划国防科技技术预先研究基金国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域:理学电子电信电气工程自动化与计算机技术更多>>
- 碳化硼薄膜的激光法制备及性能被引量:3
- 2013年
- 采用KrF准分子激光器,在Si,Ge光学衬底上制备了碳化硼薄膜,研究了不同激光能量、靶材与衬底距离、衬底负偏压等条件对薄膜性能的影响。利用傅里叶变换红外光谱仪(FT-IR)和纳米压痕仪,并依据光学薄膜测试的通用标准,对样品的光学透过率、纳米硬度及膜层与衬底的结合性能进行了测试。结果表明:Si,Ge衬底单面镀碳化硼薄膜后最高透过率提高10%以上,纳米硬度提高到未镀膜的3倍以上,且膜层与衬底有较好的结合性能,表明制备的碳化硼薄膜可对光学材料起到较好的增透保护作用。
- 王淑云陆益敏刘旭黄国俊郭延龙万强田方涛
- 关键词:激光沉积透过率增透膜
- 金属掺杂类金刚石膜的研究进展被引量:10
- 2008年
- 金属掺杂类金刚石(Diamond—like Carbon,DLC)膜可以优化纯类金刚石膜的很多性能。金属掺杂DLC膜不仅在缓解薄膜应力方面具有良好的效果,而且还能改变薄膜的力学和摩擦磨损性能。目前,掺杂DLC膜正以单一掺杂向复合掺杂、均匀掺杂向梯度掺杂发展。文章对掺杂DLC膜的研究进展作了概括及分析。
- 郭延龙孙有文王淑云王小兵程勇卢常勇
- 关键词:类金刚石膜金属掺杂
- 激光法制备二氧化钒军事防护薄膜研究被引量:3
- 2012年
- 二氧化钒(VO_2)具有热致半导体—金属相变特性,其相变温度为68℃,最接近室温,可作为理想的光学功能材料,在军事上有广泛应用前景。脉冲激光沉积法作为一种新型的制膜方法,相比其他方法具有粒子能量高、可控性强等优点。介绍了VO_2薄膜的光电特性及其在军事上尤其是激光防护领域的应用前景,并重点探讨了激光法制备VO_2薄膜的相关问题及解决措施。
- 王淑云刘旭郭延龙陆益敏黄国俊程勇
- 关键词:二氧化钒激光沉积激光防护相变温度
- 激光在硅基底沉积类金刚石膜的光学应用被引量:8
- 2010年
- 研究了氧气氛和掺硅对类金刚石(DLC)膜性能的影响机理。采用飞秒激光烧蚀石墨靶材,通过氧气氛、掺硅和离轴平移旋转等技术,在硅基底上镀制出比传统工艺透过率、硬度、附着力和稳定性等性能更优的无氢DLC膜。实验验证了随着氧气氛压强的增大,样片透过率先增大后减小,存在一个最佳气压(2 Pa)。并且掺硅有助于改善DLC膜的性能,掺硅量也存在一个最佳值。在3-5μm波段,正面镀DLC膜、背面镀普通增透膜的硅红外窗口的平均透过率≥91.7%,DLC膜的纳米硬度高达40-50 GPa,且通过军标规定的高温、低温、湿热、盐雾、重摩擦等环境实验,满足光学窗口工程应用的要求。
- 程勇郭延龙王淑云米朝伟丁方正万强
- 关键词:激光沉积类金刚石膜硅基底光学应用
- 棱镜腔技术在1.57μm人眼安全OPO激光器中的应用被引量:6
- 2013年
- 介绍了棱镜腔技术在1.57μm人眼安全OPO激光器中应用的理论基础、技术方案和实验结果,为高可靠性OPO激光器的研究提供了一种新的思路和方法。通过对角锥腔本征模式的讨论,发现了腔内的偏振特性满足OPO相位匹配条件,获得了内腔式OPO激光器稳定运转;通过对角锥腔退偏输出性能的分析,研究了角锥腔电光调Q外腔式OPO激光器;介绍了正交波罗棱镜腔OPO激光器。研究结果表明,采用棱镜腔技术的OPO激光器是获得高稳定性1.57μm人眼安全激光输出的有效新途径。
- 刘旭程勇王淑云丁方正谭朝勇朱孟真米朝伟
- 关键词:光参量振荡高可靠性
- 非金属掺杂类金刚石膜的研究进展被引量:11
- 2009年
- 非金属掺杂类金刚石(DLC)膜可以优化纯类金刚石膜的一些性能。例如:掺磷DLC膜电阻率小,还可以明显提高其血液相容性;掺氮DLC膜不仅电阻率小,可作为半导体材料,还具有热稳定性好的优点;掺氟DLC膜在憎水性、耐蚀性、热稳定性和降低介电常数等方面更为优异;硅掺杂使膜中氢含量减少、内应力减小、粗糙度和摩擦系数降低。对非金属掺杂DLC膜的进展做了概括及分析,展现出其广泛的应用前景。
- 郭延龙孙有文王淑云王小兵程勇卢常勇
- 关键词:类金刚石膜保护膜
- 高重复频率人眼安全内腔式光参量振荡器
- 2015年
- 开展了连续激光二极管抽运声光调Q高重复频率人眼安全内腔式KTP光参量振荡器(KTP-OPO)的实验研究,研究了在相同二极管抽运功率下,基频光和信号光输出功率和脉冲宽度随调制频率的变化关系,获得了平均功率为1.6W,脉冲宽度为6~10ns,M2因子为5,重复频率为5~20kHz的人眼安全激光输出,光光转换效率为5.3%。
- 卢常勇李莉刘旭陈霞王淑云张玺付东浩王博李哲
- 关键词:激光器光参量振荡器高重复频率
- 激光沉积掺锗类金刚石膜实验研究
- 采用准分子激光沉积出高红外透过率、高硬度的纯DLC膜,但该膜的内应力较大,在锗等衬底上易脱落,限制了其工程应用。为解决此难题,将锗片粘在石墨靶材表面组成复合石墨靶材,在国际上首次采用准分子激光聚焦烧蚀真空中的复合靶材,在...
- 郭延龙陆益敏吴杰黄国俊王淑云程勇王会升万强
- 金刚石膜及类金刚石膜的光学应用研究进展被引量:13
- 2008年
- 金刚石膜及类金刚石(DLC)膜由于具有宽光谱透过率高、硬度高、摩擦系数小、化学稳定性好等优点,可以作为多种光学材料如硅、锗、玻璃、硫化锌、MgF2,HgCdTe,KCl等的增透/保护膜,起到抗磨损、抗腐蚀、抗潮解和抗氧化的作用。金刚石膜及类金刚石膜已被应用于太阳能硅电池、高功率CO2激光器窗口、潜望镜红外(IR)窗口、飞机前视红外窗口、导弹头罩窗口和宇航探测器等。总结了这一方面的应用和研究进展,展示了金刚石膜及类金刚石膜巨大的优越性与广阔的应用前景。
- 郭延龙王淑云袁孝王小兵卢常勇刘洋程勇
- 关键词:金刚石膜类金刚石膜增透膜保护膜
- 激光制备类金刚石膜技术研究被引量:3
- 2011年
- 现有技术制备的类金刚石(DLC)膜由于含氢、硬度低、内应力大、附着力差等特点,严重限制了其光学工程应用。激光法是近年发展的一种制备DLC膜的新方法,相比其他制备方法具有诸多优点。综合分析了激光制备DLC膜过程中,激光波长、脉宽、功率密度、衬底温度和偏压等因素对薄膜质量的影响规律。采用氧气氛辅助沉积、元素掺杂和双波长激光复合沉积等关键改进技术,实现了在Si、Ge等基底上激光制备DLC膜光学工程化应用。
- 程勇王淑云郭延龙杨雪陆益敏
- 关键词:类金刚石膜激光沉积掺杂