王淑云
- 作品数：27 被引量：125H指数：7
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- 相关领域：理学电子电信电气工程自动化与计算机技术更多>>
- 碳化硼薄膜的激光法制备及性能被引量：3
- 2013年
- 采用KrF准分子激光器,在Si,Ge光学衬底上制备了碳化硼薄膜,研究了不同激光能量、靶材与衬底距离、衬底负偏压等条件对薄膜性能的影响。利用傅里叶变换红外光谱仪(FT-IR)和纳米压痕仪,并依据光学薄膜测试的通用标准,对样品的光学透过率、纳米硬度及膜层与衬底的结合性能进行了测试。结果表明:Si,Ge衬底单面镀碳化硼薄膜后最高透过率提高10%以上,纳米硬度提高到未镀膜的3倍以上,且膜层与衬底有较好的结合性能,表明制备的碳化硼薄膜可对光学材料起到较好的增透保护作用。
- 王淑云陆益敏刘旭黄国俊郭延龙万强田方涛
- 关键词：激光沉积透过率增透膜
- 金属掺杂类金刚石膜的研究进展被引量：10
- 2008年
- 金属掺杂类金刚石（Diamond—like Carbon，DLC）膜可以优化纯类金刚石膜的很多性能。金属掺杂DLC膜不仅在缓解薄膜应力方面具有良好的效果，而且还能改变薄膜的力学和摩擦磨损性能。目前，掺杂DLC膜正以单一掺杂向复合掺杂、均匀掺杂向梯度掺杂发展。文章对掺杂DLC膜的研究进展作了概括及分析。
- 郭延龙孙有文王淑云王小兵程勇卢常勇
- 关键词：类金刚石膜金属掺杂
- 激光法制备二氧化钒军事防护薄膜研究被引量：3
- 2012年
- 二氧化钒(VO_2)具有热致半导体—金属相变特性,其相变温度为68℃,最接近室温,可作为理想的光学功能材料,在军事上有广泛应用前景。脉冲激光沉积法作为一种新型的制膜方法,相比其他方法具有粒子能量高、可控性强等优点。介绍了VO_2薄膜的光电特性及其在军事上尤其是激光防护领域的应用前景,并重点探讨了激光法制备VO_2薄膜的相关问题及解决措施。
- 王淑云刘旭郭延龙陆益敏黄国俊程勇
- 关键词：二氧化钒激光沉积激光防护相变温度
- 激光在硅基底沉积类金刚石膜的光学应用被引量：8
- 2010年
- 研究了氧气氛和掺硅对类金刚石（DLC）膜性能的影响机理。采用飞秒激光烧蚀石墨靶材,通过氧气氛、掺硅和离轴平移旋转等技术,在硅基底上镀制出比传统工艺透过率、硬度、附着力和稳定性等性能更优的无氢DLC膜。实验验证了随着氧气氛压强的增大,样片透过率先增大后减小,存在一个最佳气压（2 Pa）。并且掺硅有助于改善DLC膜的性能,掺硅量也存在一个最佳值。在3-5μm波段,正面镀DLC膜、背面镀普通增透膜的硅红外窗口的平均透过率≥91.7%,DLC膜的纳米硬度高达40-50 GPa,且通过军标规定的高温、低温、湿热、盐雾、重摩擦等环境实验,满足光学窗口工程应用的要求。
- 程勇郭延龙王淑云米朝伟丁方正万强
- 关键词：激光沉积类金刚石膜硅基底光学应用
- 棱镜腔技术在1.57μm人眼安全OPO激光器中的应用被引量：6
- 2013年
- 介绍了棱镜腔技术在1.57μm人眼安全OPO激光器中应用的理论基础、技术方案和实验结果,为高可靠性OPO激光器的研究提供了一种新的思路和方法。通过对角锥腔本征模式的讨论,发现了腔内的偏振特性满足OPO相位匹配条件,获得了内腔式OPO激光器稳定运转;通过对角锥腔退偏输出性能的分析,研究了角锥腔电光调Q外腔式OPO激光器;介绍了正交波罗棱镜腔OPO激光器。研究结果表明,采用棱镜腔技术的OPO激光器是获得高稳定性1.57μm人眼安全激光输出的有效新途径。
- 刘旭程勇王淑云丁方正谭朝勇朱孟真米朝伟
- 关键词：光参量振荡高可靠性
- 非金属掺杂类金刚石膜的研究进展被引量：11
- 2009年
- 非金属掺杂类金刚石(DLC)膜可以优化纯类金刚石膜的一些性能。例如:掺磷DLC膜电阻率小,还可以明显提高其血液相容性;掺氮DLC膜不仅电阻率小,可作为半导体材料,还具有热稳定性好的优点;掺氟DLC膜在憎水性、耐蚀性、热稳定性和降低介电常数等方面更为优异;硅掺杂使膜中氢含量减少、内应力减小、粗糙度和摩擦系数降低。对非金属掺杂DLC膜的进展做了概括及分析,展现出其广泛的应用前景。
- 郭延龙孙有文王淑云王小兵程勇卢常勇
- 关键词：类金刚石膜保护膜
- 高重复频率人眼安全内腔式光参量振荡器
- 2015年
- 开展了连续激光二极管抽运声光调Q高重复频率人眼安全内腔式KTP光参量振荡器（KTP-OPO）的实验研究，研究了在相同二极管抽运功率下，基频光和信号光输出功率和脉冲宽度随调制频率的变化关系，获得了平均功率为1．6W，脉冲宽度为6～10ns，M2因子为5，重复频率为5～20kHz的人眼安全激光输出，光光转换效率为5．3％。
- 卢常勇李莉刘旭陈霞王淑云张玺付东浩王博李哲
- 关键词：激光器光参量振荡器高重复频率
- 激光沉积掺锗类金刚石膜实验研究
- 采用准分子激光沉积出高红外透过率、高硬度的纯DLC膜,但该膜的内应力较大,在锗等衬底上易脱落,限制了其工程应用。为解决此难题,将锗片粘在石墨靶材表面组成复合石墨靶材,在国际上首次采用准分子激光聚焦烧蚀真空中的复合靶材,在...
- 郭延龙陆益敏吴杰黄国俊王淑云程勇王会升万强
- 金刚石膜及类金刚石膜的光学应用研究进展被引量：13
- 2008年
- 金刚石膜及类金刚石(DLC)膜由于具有宽光谱透过率高、硬度高、摩擦系数小、化学稳定性好等优点,可以作为多种光学材料如硅、锗、玻璃、硫化锌、MgF2,HgCdTe,KCl等的增透/保护膜,起到抗磨损、抗腐蚀、抗潮解和抗氧化的作用。金刚石膜及类金刚石膜已被应用于太阳能硅电池、高功率CO2激光器窗口、潜望镜红外(IR)窗口、飞机前视红外窗口、导弹头罩窗口和宇航探测器等。总结了这一方面的应用和研究进展,展示了金刚石膜及类金刚石膜巨大的优越性与广阔的应用前景。
- 郭延龙王淑云袁孝王小兵卢常勇刘洋程勇
- 关键词：金刚石膜类金刚石膜增透膜保护膜
- 激光制备类金刚石膜技术研究被引量：3
- 2011年
- 现有技术制备的类金刚石(DLC)膜由于含氢、硬度低、内应力大、附着力差等特点,严重限制了其光学工程应用。激光法是近年发展的一种制备DLC膜的新方法,相比其他制备方法具有诸多优点。综合分析了激光制备DLC膜过程中,激光波长、脉宽、功率密度、衬底温度和偏压等因素对薄膜质量的影响规律。采用氧气氛辅助沉积、元素掺杂和双波长激光复合沉积等关键改进技术,实现了在Si、Ge等基底上激光制备DLC膜光学工程化应用。
- 程勇王淑云郭延龙杨雪陆益敏
- 关键词：类金刚石膜激光沉积掺杂
