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沈雪瑾

作品数：6 被引量：0H指数：0
供职机构：河南工业大学更多>>

合作作者

文献类型

  • 6篇中文专利

主题

  • 6篇柔性铰链
  • 6篇微位移
  • 6篇杆机构
  • 4篇硅
  • 3篇读数装置
  • 3篇柔性连杆
  • 3篇柔性连杆机构
  • 3篇微平面
  • 3篇芯片
  • 3篇连杆
  • 3篇连杆机构
  • 3篇半导体
  • 3篇半导体芯片
  • 2篇致动器
  • 2篇微致动器
  • 2篇锚点
  • 1篇微加工
  • 1篇微加工工艺
  • 1篇五杆机构

机构

  • 6篇河南工业大学

作者

  • 6篇徐雪萌
  • 6篇沈雪瑾
  • 6篇唐静静
  • 6篇白晓丽
  • 6篇张映霞

年份

  • 2篇2017
  • 2篇2014
  • 2篇2013
共 6 条 记 录，以下是 1-6
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排序方式：
一种制作在半导体芯片上的硅微平面柔性连杆机构
本发明涉及一种制作在半导体芯片上的硅微平面柔性连杆机构，由兼作主动构件的电热硅微致动器(1)、硅微连杆(2)、从动构件(3)、柔性铰链(4)组成平面柔性连杆机构，读数标尺(5)用于微位移的观察和测量，锚点(6)用于外界控...
张永宇沈雪瑾徐雪萌张映霞白晓丽唐静静
文献传递
一种制作在半导体芯片上的硅微平面柔性连杆机构
本实用新型涉及一种制作在半导体芯片上的硅微平面柔性连杆机构，由兼作主动构件的电热硅微致动器(1)、硅微连杆(2)、从动构件(3)、柔性铰链(4)组成平面柔性连杆机构，读数标尺(5)用于微位移的观察和测量，锚点(6)用于外...
张永宇沈雪瑾徐雪萌张映霞白晓丽唐静静
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一种硅微并联五杆机构
本发明涉及一种采用硅微加工工艺制作的微并联五杆机构，由可以两两组成V梁型电热硅微致动器的硅微活动杆件(1)、(2)、(3)和(4)，以及柔性铰链(5)、锚点(6)、读数装置(7)组成。读数装置(7)用于硅微并联五杆机构不...
张永宇沈雪瑾白晓丽徐雪萌张映霞唐静静
一种制作在半导体芯片上的硅微平面柔性连杆机构
本发明涉及一种制作在半导体芯片上的硅微平面柔性连杆机构，由兼作主动构件的电热硅微致动器(1)、硅微连杆(2)、从动构件(3)、柔性铰链(4)组成平面柔性连杆机构，读数标尺(5)用于微位移的观察和测量，锚点(6)用于外界控...
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一种硅微并联五杆机构
本发明涉及一种采用硅微加工工艺制作的微并联五杆机构，由可以两两组成V梁型电热硅微致动器的硅微活动杆件(1)、(2)、(3)和(4)，以及柔性铰链(5)、锚点(6)、读数装置(7)组成。读数装置(7)用于硅微并联五杆机构不...
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一种硅微并联五杆机构
本实用新型涉及一种采用硅微加工工艺制作的微并联五杆机构，由可以两两组成V梁型电热硅微致动器的硅微活动杆件(1)、(2)、(3)和(4)，以及柔性铰链(5)、锚点(6)、读数装置(7)组成。读数装置(7)用于硅微并联五杆机...
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