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沈雪瑾
作品数:
6
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供职机构:
河南工业大学
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合作作者
张映霞
河南工业大学
白晓丽
河南工业大学
唐静静
河南工业大学
徐雪萌
河南工业大学
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中文专利
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柔性铰链
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杆机构
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读数装置
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连杆机构
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3篇
半导体芯片
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致动器
2篇
微致动器
2篇
锚点
1篇
微加工
1篇
微加工工艺
1篇
五杆机构
机构
6篇
河南工业大学
作者
6篇
徐雪萌
6篇
沈雪瑾
6篇
唐静静
6篇
白晓丽
6篇
张映霞
年份
2篇
2017
2篇
2014
2篇
2013
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一种制作在半导体芯片上的硅微平面柔性连杆机构
本发明涉及一种制作在半导体芯片上的硅微平面柔性连杆机构,由兼作主动构件的电热硅微致动器(1)、硅微连杆(2)、从动构件(3)、柔性铰链(4)组成平面柔性连杆机构,读数标尺(5)用于微位移的观察和测量,锚点(6)用于外界控...
张永宇
沈雪瑾
徐雪萌
张映霞
白晓丽
唐静静
文献传递
一种制作在半导体芯片上的硅微平面柔性连杆机构
本实用新型涉及一种制作在半导体芯片上的硅微平面柔性连杆机构,由兼作主动构件的电热硅微致动器(1)、硅微连杆(2)、从动构件(3)、柔性铰链(4)组成平面柔性连杆机构,读数标尺(5)用于微位移的观察和测量,锚点(6)用于外...
张永宇
沈雪瑾
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张映霞
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唐静静
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一种硅微并联五杆机构
本发明涉及一种采用硅微加工工艺制作的微并联五杆机构,由可以两两组成V梁型电热硅微致动器的硅微活动杆件(1)、(2)、(3)和(4),以及柔性铰链(5)、锚点(6)、读数装置(7)组成。读数装置(7)用于硅微并联五杆机构不...
张永宇
沈雪瑾
白晓丽
徐雪萌
张映霞
唐静静
一种制作在半导体芯片上的硅微平面柔性连杆机构
本发明涉及一种制作在半导体芯片上的硅微平面柔性连杆机构,由兼作主动构件的电热硅微致动器(1)、硅微连杆(2)、从动构件(3)、柔性铰链(4)组成平面柔性连杆机构,读数标尺(5)用于微位移的观察和测量,锚点(6)用于外界控...
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一种硅微并联五杆机构
本发明涉及一种采用硅微加工工艺制作的微并联五杆机构,由可以两两组成V梁型电热硅微致动器的硅微活动杆件(1)、(2)、(3)和(4),以及柔性铰链(5)、锚点(6)、读数装置(7)组成。读数装置(7)用于硅微并联五杆机构不...
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一种硅微并联五杆机构
本实用新型涉及一种采用硅微加工工艺制作的微并联五杆机构,由可以两两组成V梁型电热硅微致动器的硅微活动杆件(1)、(2)、(3)和(4),以及柔性铰链(5)、锚点(6)、读数装置(7)组成。读数装置(7)用于硅微并联五杆机...
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