汪洪海
- 作品数：12 被引量：62H指数：5
- 供职机构：武汉大学物理科学与技术学院物理系更多>>
- 发文基金：中国工程物理研究院基金更多>>
- 相关领域：电子电信理学金属学及工艺一般工业技术更多>>
- 反应式脉冲激光溅射淀积AlN薄膜化学稳定性研究被引量：12
- 1998年
- 就反应式脉冲激光溅射淀积制备氮化铝（ＡｌＮ）薄膜的过程，讨论了激光脉冲能量密度及脉冲频率对所制备薄膜结构性能的影响，并对薄膜的化学稳定性作了比较详细的研究。结果表明，当薄膜中存在有未反应的单质铝时，薄膜的化学稳定性极差。比较而言，具有高取向性，择优生长的致密ＡＩＮ微晶膜的化学稳定性优于结构相对疏松的非晶膜。实验测试得到，在７５℃，８５％的Ｈ３ＰＯ４溶液和２０℃，０５Ｍ的ＮａＯＨ溶液中，ＡｌＮ微晶膜的溶解速度分别为２６５ｎｍ·ｍｉｎ－１和１４６ｎｍ·ｍｉｎ－１，激活能为２３２ＫＪ·ｍｏｌ－１和３６３ＫＪ·ｍｏｌ－１；在同样条件ＡｌＮ非晶膜的溶解速率分别为５５２ｎｍ·ｍｉｎ－１和３０６ｎｍ·ｍｉｎ－１，ＡｌＮ非晶膜在Ｈ３ＰＯ４中的激活能为１８４ＫＪ·ｍｏｌ－１。
- 汪洪海郑启光魏学勤丘军林
- 关键词：AIN薄膜化学稳定性
- 激光输出不稳定性对激光与物质热作用的影响被引量：5
- 1999年
- 研究了激光与物质相互作用中激光输出不稳定性对材料中温度场分布的影响以及减少这种影响的途径。首次在激光热传导方程中引入噪声项，推导了噪声影响下该激光热传导方程的解。研究发现，温度场的分布受噪声的影响，材料表面温度的涨落较大，而材料的深处涨落较小；温度场的涨落还和激光加热的过程有关，随激光加热时间的增长，温度场的涨落增大。此外，材料的热传导系数、热扩散率和发射率均对温度场的涨落有影响。文中还提出了减小激光输出不稳定性影响的几条途径。
- 魏学勤郑启光汪洪海李再光
- 关键词：激光热传导方程稳定性
- 等离子体辅助反应式脉冲激光熔蚀制备AlN薄膜的低温生长被引量：15
- 1999年
- 使用等离子体辅助反应式脉冲激光溅射沉积薄膜的方法在Ｓｉ（１１１）和Ｓｉ（１００）基片上已经成功地低温制备出ＡｌＮ多晶膜。实验表明，当脉冲能量密度ＤＥ＝１．０Ｊ·ｃｍ－２，脉冲频率ｆ＝５Ｈｚ，氮气气压ＰＮ２＝１．３３×１０４Ｐａ，基底温度ｔｓｕｂ＝２００℃，放电电压Ｖ＝６５０Ｖ，基靶距离ｄＳ－Ｔ＝４ｃｍ时薄膜的生长速度等于６ｎｍ／ｍｉｎ。ＡｌＮ薄膜的折射率为２．０５，和基底的取向关系分别为：ＡｌＮ（１１０）∥Ｓｉ（１１１）和ＡｌＮ（１００）∥Ｓｉ（１００）。
- 汪洪海郑启光魏学勤丘军林
- 关键词：等离子体辅助氮化铝PLD
- 激光熔蚀反应淀积AlN薄膜残余应力及热稳定性的研究被引量：4
- 2000年
- 激光熔蚀反应淀积于 Si(10 0 ) ,Si(111)基底上的 Al N薄膜是高质量高取向性的 Al N多晶膜 ,薄膜与基底的取向关系为 Al N(10 0 )∥ Si(10 0 ) ,Al N(110 )∥ Si(111)。薄膜具有较低的残余应力和较好的热稳定性。实验结果表明 ,当氮气压强和放电电压分别为 10 0× 133.33Pa和 6 50 V时 ,薄膜的残余应力低于 3GPa。此样品在纯氧环境 50 0℃时 ,经过 3h的退火 ,红外吸收谱检测未发现有Al2 O3 特征峰出现。对 Al N/Cu双层膜的研究表明所制备的 Al N薄膜在金属薄膜的防护上也有潜在的应用价值。
- 汪洪海郑启光丘军林熊贵光田德成
- 关键词：AIN薄膜残余应力热稳定性
- 大功率CO_2激光原位直接反应合成TiN/Ti复合材料的研究被引量：10
- 1999年
- 使用大功率ＣＯ２激光原位直接反应合成ＴｉＮ／Ｔｉ复合材料，分析了材料的微观结构、物相组成、成分及显微硬度分布。结果发现：氮化层是富钛结构的，由ＴｉＮ相和α－Ｔｉ构成，ＴｉＮ以枝晶形式在氮化层均匀分布。材料横截面显微硬度连续变化。氮化层的氮化程度随激光作用时间的增加而增加，辐照的激光能量密度越高，氮化层的厚度越大。激光功率密度，激光扫描速度，氮气喷射压强分别为３．３５×１０５Ｗｃｍ－２，３００ｍｍｍｉｎ－１，０．３５ＭＰａ时，材料表面硬度值达到Ｈｖ１６００，氮化层的厚度有３５０μｍ。
- 汪洪海郑启光陶星之王涛王涛王涛辜建辉
- 关键词：复合材料氮化钛
- 反应淀积氮化铝薄膜及其性质的研究被引量：14
- 1999年
- 实验使用脉冲激光熔蚀金属铝靶，使溅射的物质粒子和真空室中的氮气反应以淀积氮化铝（ＡｌＮ）薄膜，淀积时引入氮气直流放电以促使Ａｌ和Ｎ发生完全反应制备高质量符合化学计量比的ＡｌＮ薄膜。讨论了脉冲能量密度、基底温度、气体放电对所沉积薄膜组织结构的影响。实验结果表明，当ＤＥ＝１．０Ｊ·ｃｍ－２，ＰＮ２＝１３．３３３ｋＰａ，Ｔｓｕｂ＝２００℃，Ｖ＝６５０Ｖ，ｆ＝５Ｈｚ，ｄＳ－Ｔ＝４ｃｍ时，高质量的ＡｌＮ薄膜被成功地沉积于Ｓｉ（１００）基片上。分析表明薄膜是具有高取向性的ＡｌＮ（１００）多晶膜，薄膜的能带间隙约为６．２ｅＶ，其电阻率和击穿电场分别为２×１０１３Ω·ｃｍ和３×１０６Ｖ·ｃｍ－１。
- 汪洪海郑启光丘军林
- 关键词：准分子激光ALN薄膜激光器氮化铝
- TiAl合金的激光气相氮化被引量：9
- 1998年
- 使用激光气相合金化方法，氮气气氛下在铝钛合金表面进行氮化处理。结果发现：氮化层由ＴｉＮ和ＴｉＡｌ相构成，ＴｉＮ以枝晶形式在氮化层均匀分布。材料横截面显微硬度连续变化。氮化程度随作用时间的增加而增加，辐照的激光能量密度越高，氮化层的厚度越大。当激光功率密度、扫描速度、氮气喷射压强分别为３．３５×１０５Ｗ·ｃｍ－２，３００ｍｍ·ｍｉｎ－１，０．３５ＭＰａ时，表面显微硬度为ＨＶ７００，氮化层的厚度达到２００μｍ。比较表明，相同条件时，铝钛合金的氮化程度和氮化层厚度均小于金属钛。
- 汪洪海郑启光辜建辉辜建辉何秀丽王涛
- 关键词：铝钛合金氮化钛
- 激光与等离子体相互作用中离子声波的特征
- 1995年
- 采用Ｃａｕｃｈｙ－Ｇｒｅｅｎ积分公式和鞍点法，分析了激光与等离子体相互作用中ＳＢＢＳ的非稳定性．并数字模拟了在这种相互作用中离子声波的奇异相干特征．
- 熊贵光姚端正汪洪海梅启庸赵雪薇
- 关键词：激光等离子体相互作用离子声波
- 激光熔蚀反应淀积AlN薄膜残余应力及热稳定性的研究
- 激光熔蚀反应淀积于Si(100),Si(111)基底上的AlN薄膜是高质量高取向性的AlN多晶膜,薄膜与基底的取向关系为AlN(100)∥Si(100),AlN(110)∥Si(111)。薄膜具有较低的残余应力和较好的热...
- 汪洪海郑启光丘军林熊贵光田德成
- 关键词：AIN薄膜残余应力热稳定性
- 文献传递
- 高功率连续波CO_2激光辐照加载铝板的研究被引量：5
- 1998年
- 对受拉、受压和扭曲加载的ＬＹ１２铝合金板被连续ＣＯ２激光辐照后的热力机械响应、应力状态、变形及破坏等进行了研究，同时研究了各种不同加载形式下的激光辐照破坏的工艺参数范围，分析了激光辐照破坏区的微观结构。研究表明，在激光辐照和机械加载的联合作用下，激光辐照烧斑区产生部分熔化和凹陷，在辐照区的边缘产生裂纹和皱折，最终导致破坏。另外，还具体分析了几种试件的破坏特征。
- 郑启光辜建辉陶星之王涛汪洪海李思忠刘绪发孙承伟
- 关键词：LY12铝合金二氧化碳激光激光辐照
