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武咏琴
作品数:
2
被引量:20
H指数:2
供职机构:
北京航空航天大学机械工程及自动化学院
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
一般工业技术
金属学及工艺
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合作作者
李刘合
北京航空航天大学机械工程及自动...
张彦华
北京航空航天大学机械工程及自动...
刘佑铭
上海交通大学
蔡荀
上海交通大学
胡亚伟
上海交通大学
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文献类型
2篇
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金属学及工艺
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一般工业技术
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碳膜
1篇
偏流
1篇
力学性能
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类金刚石
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工艺参
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TIN膜
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上海交通大学
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香港城市大学
作者
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张彦华
2篇
武咏琴
2篇
李刘合
1篇
崔旭明
1篇
张海泉
1篇
胡亚伟
1篇
蔡荀
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夏立芳
1篇
朱剑豪
1篇
刘佑铭
传媒
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金属学报
1篇
新技术新工艺
年份
2篇
2004
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真空阴极弧离子镀类金刚石碳膜Raman光谱研究
被引量:6
2004年
分别采用带有和不带有弯曲弧磁过滤器的真空阴极弧离子镀方法,在不同镀膜电流以及不同基片偏流下分别制备了类金刚石碳膜,对比了不同结构下类金刚石碳膜的Raman光谱特点。对其Raman光谱的D峰和G峰采用Gaussian-Lorentzion的几率分布进行了分峰,并着重讨论了基片偏流、弯曲磁场等沉积参数对膜结构的影响。结果表明,氩分压对膜结构影响不大,较大的偏流以及弯曲磁场的加入均有利于sp^3杂化碳键的形成。
李刘合
武咏琴
崔旭明
张海泉
张彦华
夏立芳
朱剑豪
关键词:
RAMAN光谱
类金刚石碳膜
偏流
TiN膜的制备和进展
被引量:14
2004年
论述了TiN薄膜的常用制备方法,工艺参数对膜结构、性能等的影响,展望了TiN薄膜制备的进一步发展趋势。
武咏琴
李刘合
张彦华
胡亚伟
刘佑铭
蔡荀
关键词:
TIN薄膜
力学性能
工艺参数
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